CN115031928B 光学检测系统及其操作方法 （业成光电（深圳）有限公司）

道富康社区东环二路2号富士康工业一种光学检测系统配置以检测具有第一线圆偏振光计算待测组件的第一线偏振片的吸收轴与待测组件的四分之一波片的快轴之间的相2检测单元，位于该待测组件背对该偏光调整组件的一侧，且算该待测组件的该第一线偏振片的吸收轴与该待测组件的该四分之一波片的快轴之间的3.如权利要求1所述的光学检测系统，其中该四分之一波片的中心波长相同于该光线通过该偏光调整组件的消偏器将该光线转换为非偏振光并发射至该偏光调整组件的通过该偏光调整组件的该第二线偏振片将该偏振光转换为该线性偏振光并发射至该根据该圆偏振光计算该待测组件的该第一线偏振片的吸收轴与该待测组件的该四分根据该光强度与该旋光强度计算该待测组件的根据该光强度与该旋光强度计算该待测组件的8.如权利要求5所述的操作方法，其中通过该待测组件将该线性偏振光转换为该圆偏通过缩束镜将经过该待测组件的该圆偏振光的光斑直径缩小至0.1毫米与5毫米之间3元配置以根据圆偏振光计算待测组件的第一线偏振片的吸收轴与待测组件的四分之一波振光计算待测组件的第一线偏振片的吸收轴与待测组件的四分之一波片的快轴之间的相4振光计算待测组件的第一线偏振片的吸收轴与待测组件的四分之一波片的快轴之间的相差角度。当相差角度趋近于0时，光学检测系统可判定待测组件的第一线偏振片的吸收轴5[0060]以下揭示的实施方式内容提供了用于实施所提供的目标的不同特征的许多不同6统100配置以检测具有第一线偏振片210以及四分之一波片220的待测组件200。举例来说，第二线偏振片124之间。偏光调整组件120的第二线偏振片124位于消偏器122与待测组件200的第一线偏振片210之间。待测组件200的第一线偏振片210位于偏光调整组件120的第二线偏振片124与待测组件200的四分之一波片220之间。第二线偏振片124与待测组件200对两侧，并且待测组件200的第一线偏振片210较四分之一波片220靠近偏光调整组件120，待测组件200的四分之一波片220较第一线偏振片210靠近检测单[0064]在一些实施方式中，待测组件200可包括基板230。待测组件200的第一线偏振片可减少发生穿透轴倾斜或是串扰(Crosstalk[0066]图2绘示根据本揭露一实施方式的光学检测系统的操作方法的流程图。光学检测7[0069]在一些实施方式中，检测单元130可包括具有默认电路布局或内建应用程序的处过转动系统旋转承载待测组件200的载台(图未示)以获得待测组件200各处的光强度与旋光强度，并且检测单元130可根据待测组件200的光强度与旋光强度计算待测组件200的最的数值转换为待测组件200的第一线偏振片210的吸收轴(见图3)与待测组件200的四分之夹的角度a减去方位角与第一线偏振片210的吸收轴所夹的角度b(负数)后，再减去理论数偏振片210的吸收轴(亦即线偏振方向)以及四分之一波片220的快轴(亦即圆偏振方向)并无产生偏移，可确保每一经由光学检测系统100检测的待测组件200皆具有相同质量表现。[0072]图4A至图7绘示根据本揭露不同实施方式的相差角度与椭圆偏振率的关系图。请成的量测线段410以及实验线段420可得知当椭圆偏振率(Ellipticity)越大时，则相差角片220的快轴(亦即圆偏振方向)对准得越准确。举例来说，可通过数学仿真软件(例如LightTools)得到实验线段420。在真实的量测线段410以及实验数据模型的实验线段420对值越小。此外，可通过量测线段410计算R平方(Rsquared)。R平方也可称为判定系数8直轴为椭圆偏振率的数值。根据量测线段510以及实验线段520可得知当椭圆偏振率(Ellipticity)越大时，则相差角度越小，代表待测组件200的第一线偏振片210的吸收轴可通过数学仿真软件(例如Zemax)得到实验线段520大则相差角度的绝对值越小。此外，在本实施方式中，真实的量测线段410的R平方可为实验线段520的椭圆偏振率与相差角度依然呈现[0074]图6A的实验线段610绘示相差角度在1度至1.5度与椭圆偏振率之间的数值变化。图6B的实验线段620绘示相差角度在1.6度至5度与椭圆偏振率之[0075]图7的理想线段710绘示光源110无雷射光斑时待测组件200的椭圆偏振率与相差角度的数值变化。图7的量测线段720绘示光源110的雷射光斑为3毫米(mm)时待测组件200有最大的I参数及V参数。在待测组件200具有最大的光强度(即具有最大的I参数及V参数)待测组件200的I参数及V参数将影响待测组件200的椭圆偏振率9待测组件200与检测单元130之间。当圆偏振光P3经过表面为曲面的待测组件200后可能会放大光斑直径，可通过缩束镜140将经过待测组件200的圆偏振光P3的光斑直径缩小至度趋近于0时，光学检测系统可判定待测组件的第一线偏振片的吸收轴(亦即线偏振方向)