中建高洁净芯片厂房项目技术策划及关键施工技术要点总结

中建四局深圳总承包公司汇报人：肖诗凯中建四局深圳总承包公司5技术总结和反思中建四局深圳总承包公司1.1行业背景中建四局深圳总承包公司1.1行业背景2021年中国芯片进口金额为4397亿美元，2022年为4156亿美元，同比出现-5.48%的下滑，是至2017年以来增长率下降最明显的。中国芯片进口额大幅度下滑，一方面是由于芯片受制于人的影响，另一方面说明了芯片正逐步进行国产替代。国家在2020年《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》中明确了要聚焦高端芯片、集成电路装备的关键核心技术研发，到2025年实现70%国产芯片自给率。因此，越来越多的国产芯片巨头站出来，生产芯片的电子洁净厂房也将如雨后春笋般快速、大量拔地而起。2021年2021年中建四局深圳总承包公司由于芯片产品功能化、微型化、集成化和精密化的要求，制造生产的洁净芯片厂房与一般厂房的设计需求存在明气密要求：减少构造缝隙、加强缝隙构造的气密性，把空气泄漏或污染的影响降至最晶防微振要求：芯片加工精度要求高，需要减少振动对设备的影响厂务系统要求：特殊动力及机电系统满足工艺机台的需求，如特空间要求：厂房平面形状简洁，功能分区明确，管线隐蔽、中建四局深圳总承包公司工工艺输入及生产计1123传统芯片厂芯片厂做法品圆尺寸线宽要求常见40~60K/常见40~60K/FAB例如中苎国际、积塔、华虹.12”Logic:常见30~40K/FAB,例如：中芯国际、华力、台积电BramNamd:-50~78KPAB一例州：三星、长篮一长-<7nm,新工艺、新材料市场信息新技术新趋势工艺及产能决定机台布置[DensepackJ/工艺动线一—生产环境满足洁净室及颗粒控制要求4工艺及产能决定机台布置[DensepackJ/工艺动线一—生产环境满足洁净室及颗粒控制要求4微振要求局部VC-C,BallRoomVC-A局部VC-D,BallRoomVC-B5结构体系混凝土框架+(华夫板)+钢桁架混凝土框架+剪力墙+华夫板+大跨度柱网+钢桁架洁净等级ISO6~4(1000~10))盘管(MAU+FFU+DCC)6洁净室空调系统洁净新风风机过磨干冷盘管大体量新风系统+水洗/湿膜/填料MAUfFLDCCCFD气流组织模拟局部VC-D或E,BallRoomVC-B单向气流(层流)全区域采用高架地板(高度600mm单向气流(层流)全区域采用高架地板(高度600mm~1200mm)仅单层洁净动力下夹层(Hookup距离)静压箱形式需考虑AMC控制关键分区为独立隔间关键区域需考虑AMC与EM控制设计优化(造价/进度/1.优化结构体系2.优化洁净室理念3.优化机电系统及输送管道布局4.能回收再利用7洁净室做法非关键区域可省略高架地板需要动力下夹层(洁净与非洁净)可为非静压箱形式静压箱形式仅光刻区域采用独立隔间需考虑AMC控制关键分区为独立隔间帆台动力需求表UtlityMatriw)决定机电配要求二一二一一一机台布置foolayout-&动力动力及机电配套9气体化学品系统纯废水系统纯废水系统动力系统电力系统消防系统所需高纯特种气体50种以上，化学品30种以上对储存、站房规划、供应管路提出较高要求减排，废水回用和制程废液的回收利用：废水处理考虑金属工艺影响芯片尺寸的增大，对材料消耗、储存和供应提出更高要求，工程的法规体系和造价，将会成为来为高端芯片工厂建厂时的重要挑战需要更先进的膜材料、树脂以及高纯高洁净管理等材料应对未来高端芯片工厂的苛刻挑战冷热水，CDA,工艺/清扫真空，工艺排风(酸、破有机排),柴油，天然气，锅炉/蒸汽供配电、照明、防雷接地(特殊区域考虑防静电接地),E-电和U-电，生命安全系统(门禁、广播、火宅报警),IT,有毒有害气体和化学品侦测系统(GMS),全厂控制系统FMCS喷淋+消防栓+CO2灭火器，洁净室Vesda系统，消防排烟、补风、正压送风中建四局深圳总承包公司根据摩尔定律，平均每18～24个月芯片集成密度会增加一倍，随电子产品的更新迭代，对生产厂房的需求随之更新；由于电子产品的快速更新，使得电子洁净厂房的实际使用寿命只有10～15年。资源组织要求更高电子洁净厂房一般建设体量大、工期紧、工序穿插紧密、资源周转难度大、主材消耗更集中，如此紧密的资源组织造成总平面管理压力大、资源组织要求高。在基础及主体阶段主要体现在劳动力、钢筋、混凝土、架体材料、起重机械等；在机电、装饰及设备安装阶段主要体现在场地需求、施工机械各类管材辅材、特殊设备等。施工品质要求高主要体现在平整度、气密性和低尘施工三个方面。精密设备除防环境、外界振动和环境共振外，设备自身的平稳性同样重要，因此地面的平整度要求达2mm/2m;气密性的保证对不同洁净区保持压差继而控制污染源的作用巨大；严格控制空气过滤和调节设备安装前对洁净室的清洁以及安装后对施工准备和施工过程中易产生灰尘的环节进行控制电子洁净厂房施工工序复杂、专业化程度高、涉及特殊分包商多，各专业交叉作业面广，因此需要协调好各专业的工序与工作面、减少交叉，掌握各专业间界面移交的切实需求，做好总包的协调管理工作。中建四局深圳总承包公司工程规模工程规模建筑面积约81万m²地上：约21万m²建筑概况建筑概况人才公寓由9栋19层人才房住宅、2栋商业配套、1层地下室、1栋垃圾收集站、1栋冷却塔(含地下室)组成。792天792天测试楼35F、H=33.6m测试楼1测试楼1中建四局深圳总承包公司地下：约33.2万m²建筑概况配置2栋生产厂房(单栋总建筑面积约21.4万m²)8号动力中心 封顶24.3.308号动力中心 封顶24.3.306号、7号封测楼1栋动力中心(总建筑面积约22.4万m²)并配套大宗气体供应及辅助用房总工期623天总工期623天中建四局深圳总承包公司钢桁架屋盖具有较大高度和跨度，DH项目钢桁架最大高度为9.02m,跨长可达204m。华夫板楼层有均匀的预留大量孔洞，使上下楼层形成回风通道，以达到车间所需洁净度要求。华夫楼板地坪控制精度要求平整度2m范围内靠尺检测误差不大于3mm。高洁净厂房有部分地下室(1层或2层),且含有3m高低跨结构。CUB动力厂房地下室有大量水池和水泵房，且部分水池为6面双层板结构。回风夹道3m高低跨水池和泵房，部分水池为6面双层板结构设计特点-PY项目主要产品工艺内容FAB3(预留)产品方案晶圆直径待定特种光纤工艺节点1待定产品类型/3F:M量产业务及中试线业务1F:先进封测和晶圆后加工3F:H/Y/G业务Si-on-GaN(射频器件)1F:LAB和预留(按照12寸CMOS预留)特种光纤k片/月待定9万公里/年洁净室面积中建四局深圳总承包公司洁净区的洁净度要求高，业主要求建设洁净度为干级纯/废水系统对管道系统的密闭性有更高的要求，从而确保水源不污染、废水不泄漏，达到使用要求。危化品、特殊气体等专业包处理工艺多，且存在较多的中建四局深圳总承包公司3.1项目组织架构及管理思路中建四局深圳总承包公司3.1项目组织架构及管理思路两级分离管理两级分离管理王龙达总树协猛总包管理部土建项目部实施层企业保障层指再部城员材料供滴甲指9包以PY科技园项目为例，项目采用部门与组团形成矩阵式的管理框架，组团管理相对独立，又与部门业务交叉，既发挥了组团管理小兵团作战的灵活性，又体现了业务部门相互以技术管理为例，组团专人负责跟踪，及时、快速对接和解决现场问题，同时组团人员兼顾业务线条，形成业务小组拉通管理避免工作的重复性B维团：黄厅3.1项目组织架构及管理思路中建四局深圳总承包公司3.1项目组织架构及管理思路组团划分思路：◆交通运输相对独立◆施工作业互不交叉◆材料堆场均衡合理劳务划分思路：◆施工面积相对合理、区域相对集中◆全周期资源投入均衡合理◆关联区域统筹施工厂房分段思路：◆每小段按1000～1500m²划分◆按塔楼、地下室等功能分段3.1项目组织架构及管理思路中建四局深圳总承包公司3.1项目组织架构及管理思路结合业态和交付时间，室外独立成团，单独攻坚，主体结构移交区域同步进行，实现：主体阶段：资源、劳动力按照项目部划分单独配置，做到“质量与安全并进，效率与速度同行”装修阶段：合理穿插施工，重点部位优先移交劳务1劳务2劳务3项目部3项目部4项目部4项目部5劳务5劳务6劳务7劳务9劳务12中建四局深圳总承包公司逆向思维，管网先行，构筑物先行，提前穿插室外管线预埋，施工道路以永临结合为主、临时道路为辅的思路进行修筑。开工后快速形成整体大环路+小组团小环路，保证各施工区域间交通顺畅且相对独立。同时设置交通管理小组，在交通易堵期及关键路口设置专员，疏导交通压力；设置人车分流、减速带、限速提示牌等措施，保障现场交通安全。?钢结构吊装区#大门1钢结构拼装场钢结构吊装区连路主体施工阶段永临路铺排图首开区环形永临路铺排图(5~6月)主体施工阶段永临路铺排图首开区环形永临路铺排图(5~6月)(7~8月)大门中建四局深圳总承包公司高洁净工业厂房精细化计划管理模式思路层级管理、节点分级、进度细化▶航拍图或效果图+节点目标、现场进展一图一表路径日/周/月计划管理日报/周报/月报链接业主/分包计划管理成果超大型洁净厂房类精细化计划管理模型中建四局深圳总承包公司根据各个分部分项工程，形成作战地图，严格按照策划的顺序、时间移交工作面；同时应弱化结构正负零、封顶的节点，强化工作面高质量移交节点，“关注面子更要里子”,实现后续专业快速穿插，一个专业快不叫快，项目交付快才叫快。首开区+食堂幕墙工作面移交(二级节点)首开区+食堂幕墙工作面移交(二级节点)中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司华夫筒简介：PY和DH项目FAB主厂房三层和局部一层楼层采用华夫板模板结构，梁板为1150mm厚，通风孔直径350mm。华夫板作为高洁净度要求无尘车间的通风通道和表面材料，预留大量孔洞形成回风通道，利用气压排出悬浮颗粒，满足洁DH项目的F3、F4两栋封测厂房二层采用chess筒模板结构，chess筒通风孔直径350mm,800mm高。封测厂核心生产区结构对防微震要求高，通常采用刚度大的密肋交叉梁及钢筋混凝土墙组成的楼层结构防微震体系，以减弱微振影响，采用chess筒用来减轻结构重量。华夫筒为四个一组空腔梯形构造中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司结构形式：华夫筒与chess筒均采用玻璃钢SMC材质，性能稳定、低烟阻燃、耐高温、耐酸碱，造型上chess筒是四个一组空腔盲筒构造，本身刚性强度更大，华夫孔板则是四桶合一的梯形构造。施工方式：华夫筒和Chess桶在施工方式上基本一致，但华夫筒在梯形区域增设了内支撑，以防止混凝土在施工过程中受到适用范围：华夫筒和Chess桶适用于不同的楼板厚度。Chess桶主要用于核心生产区等关键区域，华夫筒主要用于洁净车间等中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司排版布置：先安装最外侧华夫桶作为基准，再安装中间区域华夫桶，避免误差模板铺设：在保证架体顶部平整度的条件下，模板采用密拼通铺。板柱模板交桶身固定：在华夫筒和Chess筒定位后，自攻螺丝连接相邻模板，每相邻边中间最少固定3颗螺丝，底部自粘膜固定到木板上，华夫筒和chess筒间缝隙用密埋件预埋：预埋的哈芬槽均按机电管线走向进行单向布置，从而确保后续机电管道安装的顺利进行。使用自攻螺丝穿过哈芬槽螺丝孔位，固定到木模板。有一定的脆性，施工过程中需要采用夹板便道避免踩踏，垫设模板木方等措施中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司华夫筒盖边缘收平华夫筒底模板拆除中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司结构精平“六步法”:初平控制：6m重型刮尺横竖刮，注意柱脚和边角。圆盘打磨：严格控制收面质量，采用圆盘磨光机进行压实提浆，务必在初凝前完成全面磨光处理。中建四局深圳总承包公司对于高洁净芯片厂房工期紧的特点，往往是三边工程，管线开洞需求不明确，因此采用横装方式便于后期管线开洞，降低安全风险对于层高低于6m、管线不多的区域，采用竖装的方式对于墙板开洞多、卫生间潮湿、管线多、短肢交叉墙等区域，不建议采用ALC墙板外墙转角位置是ALC结构较为薄弱的节点，转角采用300长，φ6mm的销钉进行连接加固中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司钢结构施工施工工艺和机械选型厂房跨度PY项目2#厂房2300吨(8榀)DH项目4#厂房2000吨(6榀)由于华夫板楼面不能上大型机械且工期短，采取原位拼装、整体提升等安装方法不可行，厂房钢结构屋盖均采用室外地面分段拼装、吊装、分块滑移的施工方法。以PY科技园项目2#厂房为例：桁架单片重量达235-350t,根据大型机械选型，每个山墙端2台300吨履带吊，分5段吊装，支撑胎架从3层华夫板楼面起。中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司由于结构部分有局部地下室和高低跨结构，因进度存在时间差，分为左右两块不等面积的滑移区块，由两端向中间滑移的施工方式施工。厂房分为32榀主桁架，采用四条滑移轨道，在控制合理滑移重量和后补杆件数量的前提下，整个钢屋盖分五个滑移分区。分区滑移到位后可穿插楼板施工，将分块间的装次梁带着滑移，减少补杆。原位拼装区中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司为实现滑移到位后钢桁架免卸载，在柱子底部和预埋钢板间留设15mm间距，在滑移沟槽位置左右各开孔130×100mm,在柱侧面留设400×400mm的焊接操作孔，钢柱滑移到位后直接进行焊接和补板。滑移到位断辅资粉位改置她左在备开孔中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司原柱脚节点为4根紧固连接后二次灌浆，优化节点后，将钢柱底板在施件形式同土建一同施工，锚栓不冒头，使得板面平整同混凝土柱顶标高。采用卧拼法进行拼装，在拼装前根据分段大小制作高1.25m、长2m、8m、9.05m等多个规格的拼装马凳，马凳位置在滑移梁的延长线上，钢桁架在地面进行预拼装，保证中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司滑移到位后，与滑靴连接的顶推器可直接拆除。屋盖按设计标高进行滑移，到位后与预埋板全熔透焊接成型，无卸载过程。免卸载滑移安装顺序如下：钢桁架滑移就位→拆除顶推装置→切除钢柱内轨道→焊接十字加劲板→切除滑靴(即卸载)→焊接外围矩形钢柱板→切除钢柱外轨道→开孔位置补板。中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司现场情况及施工成果钢桁架吊装钢桁架吊装托梁支撑滑移完成的钢桁架托梁支撑滑移完成的钢桁架柱脚补板开孔细部图柱脚补板开孔细部图中建四局深圳总承包公司洁净工程概况回风夹道回风夹道中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司洁净工程的核心是创造一个满足芯片生成需求的室内环境，需对室内的温度、湿度、压力、洁净度等指标进行控制，并且会根据不同的指标选择不同的净化方案使得洁净环境顺利达标。FFU(风机过滤器机组):保证洁净度DCC(干式冷却盘管):控制温度洁净室新风(洁净室新风(MAU系统)洁净室的循环/过梁系统洁净区配电支干线工程环境送风量压力消防水系统生产给水系统(W/PW)ROW供水系统1、进行共用管道支吊架的二次设计2、管道隔震措施满足相关要求干式冷盘管系统洗涤塔补水海防弱电系统0中建四局深圳总承包公司符合GB50073-2013《洁净厂房设计规范》规定空气洁净度等级(N)122438456789等级100级1000级10000级100000级中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司洁净工程相关平行包管理要点1:平行包管理●动力机电工程包●工艺排气工程包●●动力机电工程包●工艺排气工程包●纯水工程包●废水处理工程包●FMCS工程包中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司管理要点2:洁净管制●清洁的安全鞋(小白鞋)求中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司管理要点3:空间管理●公共管架区域管路数量多，管路进出走道的衔接，需后续深化时预留出穿越空间与管路检修空间。●Truss层有DCC平台可穿越空间、检修马道净高、钢构自身斜撑的避让、DCC管道共架等问题，同时作为排气管线和新风管下至回风道的主要穿越层，还有排烟系统等其他管线的穿越，需配合回风夹道钢构斜撑的规划，着重进行空间管理。●下夹层主管共架为双层，主管与Submain管路(次干管)的衔接，为空管重点。共同管架共同管架中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司管理要点4:防微震措施洁净区的微振控制是重点，根据前期项目微振分析报告，在深化设计阶段需对设备、管道等振动源头设置隔离措施，对工艺洁净区的微振控制是重点，根据前期项目微振分析报告，在深化设计阶段需对设备、管道等振动源头设置隔离措施，对工艺关键设备，如光刻、测试设备配置采取主动/被动减振台座等措施。防微振等级),对应该区域深化设计时核对有防微震等级区域管道路和管径，确保管道支架型式满足15240抗振要求，对于大口径管路尽量避开VC-E要求区域。在选购设备时，选择具有防振功能的设备，如具有防震垫、减震器等装置的设备。可以有效地减少振动对设备的影响。在安装设备时采用防振装置，如减震器、防震垫等，以减少振动对设备的影响。防振装置应根据设备的重量和振动特性进行选择和安装中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司4.5纯水系统施工和设备安装技术中建四局深圳总承包公司4.5纯水系统施工和设备安装技术高纯水的应用是集成电路生产的必要条件之一，电子洁净厂房所需的高纯水一般为超纯水，超纯水系统一般分为超纯水制造区、超纯水抛光循环区、超纯水输送管网以及超纯水回收系统四部分，其中超纯水制造区是最重要也是最为复杂的部分。PY科技园项目纯水系统主要包含CUB前处理系统、FAB1、FAB2、FAB3抛光区及LOOP管路系统及其相关配套系统。其中FAB1一期供水200m³/h,FAB2一期供水120m³/h。4.5纯水系统施工和设备安装技术中建四局深圳总承包公司4.5纯水系统施工和设备安装技术纯水系统施工技术重难点：重难点1:水池FRP防腐施工混凝土与FRP防腐材料基层要求高，未妥善处理易导致材应对措施●施工人员必须佩戴好防护用具，并利用送风机保证水池无间断通风，保持水池底部的氧气含量，有限空间作业须有专人监护；●地下室水池区域粉尘作业应与防腐作业错开，防止地下室的粉尘通过送风进入到水池，污染FRP防腐涂料，导致其洁净度、导电性无法满足要求；●土建移交前进行基层检查，FRP防腐涂料固化前检查纤维布有无浮起、鼓胀或剥落，施工完成后再次进行空鼓检查4.5纯水系统施工和设备安装技术中建四局深圳总承包公司4.5纯水系统施工和设备安装技术纯水系统施工技术重难点：重难点2:管道安装管道的材质采用PVDF等高纯管材，管道的施工环境要达到较高的洁净程度；管道安装时洁净度、管道粘结和支架间距不符合要求导致洁净度不达标、管道漏水、变形应对措施●在地下室设立临时洁净间，作业前经过临时洁净间进行除尘处理；●使用管道厂商提供的清洗剂或丙酮清洗承口和插口，需戴洁净手套进行管道粘接；4.5废水系统施工和设备安装技术中建四局深圳总承包公司4.5废水系统施工和设备安装技术废水系统高洁净芯片厂房在生产过程中会产生大量的废水，通过废水系统的处理工艺，达到排放标准，部分废水可再次利用，提高资源利用率。PY科技园项目废水系统主要包含：FAB1厂房的PDS管路及地下室废水提升及外载系统，FAB2厂房的PDS管路及FAB1外载系统，CUB动力厂房地下室、1F、2F废水处理系统。4.5废水系统施工和设备安装技术废水系统序号系统名称系统内容简介1FBA1废水收集系统和FAB2废水收集系统(主要有废水收集管路及废水提升系统、废酸、有机废液外载系统)2酸碱处理系统1400m³/h(酸碱废水采用三段式pH反应调整，最后通过放流池放流。)3格产水进入到放流池放流)4CMP处理系统140m³/h(CMP处理系统以1段化混进行处理，透过ph调节，PAC、PAM等药剂，达到SS去除，合格产水进入到放流池放流，具备能力短时间备用含氟系统。)5氨氮废水系统氨氮处理系统60m³/h(系统以调整pH达到吹脱罪加pH,透过锰砂塔去除双氧水，并经过二段式加热后进行氨氮吹脱工艺)6含氟含氨废水系统8含铜废水系统含Cu处理系统20m³/h(采用化混沉淀工艺+MMF+ACF+重金属离子交换树脂进行处理)9有机废水系统有机处理系统90m³/h(有机废水采用AO工艺，经MBR过滤后，内部仪表检测达标后排放至中和系统)含Ni废水系统含Ni处理系统20m³/h(采用化混沉淀工艺+MMF+ACF+重金属离子交换树脂进行处理)含Ag/Sn废水系统含Ag/Sn处理系统20m³/h(采用化混沉淀工艺+MMF+ACF+重金属离子交换树脂进行处理)含TMAH前处理系统10m³/h(TMAH废水经过原水泵打入到调整pH调整槽，调整至酸性，使废液由液态变成悬浮态，以气浮池进行固液分离，上清液溢流到产水池经转运水泵打到有机系统，继续进行生化处理)4.5废水系统施工和设备安装技术中建四局深圳总承包公司4.5废水系统施工和设备安装技术废水系统-重难点重难点1:FRP防腐施工FRP防腐施工量大，施工难度高，安全风险高●FRP施工事先制定FRP专项施工方案报业主、监理、总包审核，施工过程中依照施工方案管控，定期做安全疏散演练●合理安排工程施工工序，禁止FRP作业隔离区域内有动火及电气作业●对施工队伍做技术交底，在施工中施工后通过空鼓检查，复返工重难点2:金属桶槽焊接，大型储罐、设备安装金属桶槽数量多，焊接工作量大大型储罐，大型设备多，吊装搬运难度大应对措施●桶槽尺寸符合运输条件的优先选择工厂预制；●合理规划施工工序，禁止焊接动火作业与FRP施工交叉作业●同一区域大型储罐数量多，需依照布置图及搬运动线先内后外对桶槽编号，协调厂商依照编号安排制造和出货顺序●设备进场前提前勘察吊装搬运动线，与平行包协调错峰吊装中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司化学品供应系统是指以中央供应方式提供工艺生产过程中所需化学品的生产辅助工艺系统，其提供种类繁多的化学试剂是芯片生产中必要的用品。在FAB厂房一层、二层一侧布有甲类溶剂间、酸氟供应间、碱供应间等化学品及设备间，化学品仓库布置综合考虑生产工艺流程、运输条件、材料设备选用及安中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司化学品供应系统是指以中央供应方式提供工艺生产过程中所需化学品的生产辅助工艺系统，其提供种类繁多的化学试剂是芯片生产中必要的用品。在FAB厂房一层、二层一侧布有甲类溶剂间、酸氟供应间、碱供应间等化学品及设备间，化学品仓库布置综合考虑生产工艺流程、运输条件、材料设备选用及安中建四局深圳总承包公司中建四局深圳总承包公司CDS(中央供酸系统)系统的组成目前我们正在施工的目前我们正在施工的FAB1芯片厂房CDS系统高精度的化学试剂要达到的目标：6.清洗制程设备零配件…NH4OH+H202+H20→4HCI+H202+H2O→H3PO4+SiN4→67M946.1-48.1二1学蚀刻用3证氧花鼠H2024化学槽车充填衔◎可依实际用量需求选择使用适合使用量中可依实际用量需求选择使用适合使用量中S中建四局深圳总承包公司中建四