电力设备与新能源行业六氟化钨行业深度：供需矛盾持续演绎看好国产企业份额、盈利提升

图表17：中芯业入 13图表18：中芯母利润 13一、需求：芯片扩产+技术迭代共驱需求高增CVD式实现气相输送，而钨原子与氟结合形成的六氟化钨沸点仅17.5℃6纯度≤99.9纯度≥99.99）4N5N实际沉积主要采用钨CVDWF₆0和H₂GPUWF₆图表1：六氟化钨不同等级工业级 纯度标准≤99.，允许较高含量挥发性杂质及非挥发性金属氟化物电子级-4N 纯度标准99.99，金属离子及挥发性气体控制在ppb级别，严格限制水分电子级-5N 纯度标准99.999，杂质含量进一步降低至更严格的ppb级别，金属离子及挥发性杂质控制精度更高电子级-6N 纯度标准99.9999，ppb级杂质控制，金属离子含量极低，水分含量严格控制来源：智研咨询芯片扩产+951）3DNANDWF₆：属于高性能堆叠DRAM，单耗高于标准DRAM但不及3DNAND；3）TGV955，TOPConOLED/MiniLED2020-2025953DNANDHBMChinaIOL2020年的4620吨长至2025年的8901年近倍年复增约14存储片整求60以据，20243810，20254200ChinaIOL，25/308901/15050，25-3011。图表2：全球WF6需求预测，25-30年预计复合增长率110

全球WF₆需求量（吨） 同比增速2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026 2027 2028 2029

25%20%15%10%5%0%来源：产业在线ChinaIOLAIFoosung2025150300/HBM、高堆叠3DNANDP4工厂HBMDRAM2030年前后将DRAM月投料产能提升至接近100万片，并宣布投资约514亿美元在清州新建NAND晶圆工厂，预计202720292026年7月41.5万亿日元约93亿美元）聚焦HBMHBM5000亿日元补贴，新产线规划2028DRAM2027Id2计划20282030NAND与HBM先进封装配AI2026年建成投产IPO拟募资295DRAM产线扩建与HBM2026年三季度逐步爬坡至8.3万片12122026至2028核心驱动二：芯片工艺迭代下六氟化钨用量提升。伴随芯片工艺持续迭代，逻辑芯片、3DNAND、HBM三大主流赛道六氟化钨单晶圆用量呈现差异化上行趋势。对比来看，未来市场拉动弹性方面，从大到小排序依次为：3DNAND、HBM、逻辑芯片、其他。WF₆128232层、300AIDDRDRAM7nm5nm3nm二、供给：日本WF6产能收缩+新玩家验证周期长，国产企业迎份额提升机遇“”100002000上韩国SKSpecialtyFoosung计能约25-30余能由中及量美业据且图表3：六氟化钨全球产能构成（吨）2,5002,0001,5001,0005000SKSpecialty 中船特气 关东电化 Foosung 中巨芯 中央硝子 昊华科技 欧中电子来源：氟化工产业圈80224“”TheElec（KantoDenkaKogyo）（CentralGlass）DBHiTek56SK2026716N20002200TheSpecialtyFoosungCo.,LtdWF6SKSpecialtyFoosungPericWF6SpecialtyFoosungSKSpecialty和Foosung于4月至52026年的产7090。图表4：全球六氟化钨核心企业企业 成立时间 总部 中国布局 行业地位/亮点国内唯一电子特气收入进入全球前十中船特气(中船邯郸派 2016年(前身2000瑞) 七一八所特气部)SKSpecialty 1982KantoDenka（关东电

河北邯郸道荣州

产品出口15国,境外收入占比27,服务客户超200家西安(2011)、镇江(2011)、上海(2019)设法人,爱思开新材料(西安)为危化品经营主体TSMC

(第9),科创板上市(688146),2025年22.6军(NF3)2025年被韩国Hahn&Co.以约2.7万亿韩元收购85股份;韩国特气头,AI日本电子特气三巨头之一,深耕1938年 日本东京化）

厂 CVD/ALD用高纯氟化物数十年韩国三大特气企业之一,产品覆盖Foosung(厚成) 1953年 韩国华城市 韩国本土为主,面向美日海外市场

洁/蚀刻/沉积全链条CentralGlass(中央硝子)

1936

日本山口县宇部市德国达姆施

通过商标注册(2005市场19332022

日本老牌氟化工企业,电子级氟化物细分供应商全球高纯WF6核心供应商,2025年全MerckKGaA(德国默克) 1668年

56塔特大市场

球销售额222亿欧元,电子科技为三大支柱之一。来源：共研产业研究院262-526年326年2-5+27/+435/+197，1-5合计比+197，2-5月口量比别+212。图表5：中国六氟化钨进口金额和数量0

中国六氟化钨进口金额（美元） 中国六氟化钨进口数量（kg）

90,00080,00070,00060,00050,00040,00030,00020,00010,0002022-012022-032022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-012024-032024-052024-072024-092024-112025-012025-032025-052025-072025-092025-112026-012026-032026-05来源： ，关计据台图表6：中国六氟化钨出口金额和数量0

中国六氟化钨出口金额（美元） 中国六氟化钨出口数量（kg）

90,00080,00070,00060,00050,00040,00030,00020,00010,0002022-012022-032022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-012024-032024-052024-072024-092024-112025-012025-032025-052025-072025-092025-112026-012026-032026-05来源： ，关计据台120265比国比8.45国湾区借晶圆造能为要费区之马西地半体2026426522202510202610202626.6图表7：2025年1月-2026年5月中国大陆六氟化钨出口地区占比中国台湾马来西亚日本韩国美国法国以色列来源：隆众外贸大数据库5N-6NppbF2（FFW+F2=F+2NF3WF63N2W+32+6F=WF66H。NaCrHFNaF300℃到99.999上纯化艺响氟钨品纯及格对氟钨销影巨，以大生公力BANDGAP7185N6Nppb（）2-5图表8：六氟化钨产业链分布产业链环节 生产流程 成本占比 核心行业壁垒上游原料端中游制造端

钨矿开采→仲钨酸铵(APT)精炼→高纯钨粉、电子级氟气制备钨粉与高纯氟气化合反应→多级精馏、深度吸附提纯→6N/7N级高纯六氟化钨成品

60—7020—25

全球钨资源储量稀缺、6N度大ppb高精度产业链环节 生产流程 成本占比 核心行业壁垒下游应用端

特种合金高压容器封装→危化品专业供气配套→晶圆厂芯片沉积工艺使用

5—

2—5应商认证周期来源：中国制造公众号5N520006N3DNANDHBMe5N、6N20006N100020275005002025724202762583500包括电子级六氟化硫、电子级六氟化钨、电子级氟碳混合气及4种提纯气体等7类含氟特种气体。图表9：中国大陆企业六氟化钨产能布局情况国内企业 产能情况中船特气 当前2000吨产能，27年预计扩产1000昊华科技 当前600吨产能中巨芯 当前600吨产能和远气体 27年预计投产500吨产能贵州泉鑫 27年预计投产500顿产能湖北绿菱 已有产能布局来源：公司公告，科创板日报，智研咨询，投资宜昌三、价格与成本：受益供需失衡+上游钨粉涨价，六氟化钨价格迎大幅上行价格：26Q1六氟化钨海关出口价格已有明显上行。 海关数据显示，26年1-5月的六氟化钨出口均价分别为69/69/117/150/211美/kg，比+37/+204/+312，出均自3起显升。图表10：中国六氟化钨进口单价、出口单价在26年显著提升0

中国六氟化钨进口单价（美元/kg） 中国六氟化钨出口单价（美元/kg）

250200150100500来源：iFinD，海关统计数据平台20262026699.999（5N级氟钨场价达1670-1810/较2025期523元公斤涨232.7品报达220-300万吨较4月上超过190级7N产长约价达330-360元20261-370度显增于粉本占氟钨产的60-70直促日和韩的产率提500-600900-100070。4-5200SK56SKSpecialtyFoosung202670-90150051600-1700/220。65N1670-1810/490220-30026WF₆60至7010.6225740元/263240267100/125/14962APT2026年APT25725-26/263140-150/60-70纳入两用物项出口管6APTAPT相较普通工业APT图表11：钨粉价格（元/公斤）0来源：百川盈孚图表12：仲钨酸铵（APT）价格（元/吨）仲钨酸铵APT长单价均价(元/吨) 仲钨酸铵APT散货价均价(元/吨)0来源：百川盈孚四、投资标的：重点关注兼具产能+全球客户的企业中船特气、昊华科技、中巨芯4.1中船特气：电子特气领军企业，六氟化钨供货台积电、美光、海力士、英飞凌、铠侠等半导前体业2025年现业入22.60亿比+15.88归净润3.46比+12.43电子19.27亿元，营收占比86.57年营收亿元毛率46.08主面锂添剂精细工域25持拓展纯属务持推进驱产859518500（7,00LGD20005N55N5N4N830ASMLCymerGIGAPHOTON6N、5N5、5N，主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。公司高纯乙烯、乙炔产品纯度分别可达5N3N5图表13：中船特气营业收入 图表14：中船特气归母净利润收入（亿元） yoy252015105020202021202220232024202526Q1

50%40%30%20%10%0%-10%-20%-30%

4.54.03.53.02.52.01.51.00.50.0

归母净利润（亿元） yoy20202021202220232024202526Q1

60%50%40%30%20%10%0%-10%-20%600“3+1”2025166.89+19.4914.44+37.0799.39亿元，同比增长30.83入5955产涵环制冷含聚锂电端造工料板营收2933亿占比7.518.92亿元，占比11.34，依托PSA气11.38亿元，占总营收6.821,000/6,000/1,0002,000//6,000/3,000267拥有六氟化钨产能600吨。图表15：昊华科技营业收入 图表16：昊华科技归母净利润0

收入（亿元） yoy20202021202220232024202526Q1

100%80%60%40%20%0%-20%

归母净利润（亿元） yoy161412108642020202021202220232024202526Q1

80%60%40%20%0%-20%-40%600/公司聚焦半导体电子化学材料，主营电子湿化学品、电子特种气体、半导体前驱体材料三大品类，产品应用于集成电示板光洗膜刻环年实营入12.12元比+17.68归利润-1659.628.792.89电子湿化学品。凭借丰富的产品组合和优良的产品品质，公司已成为国内规模化生产电子湿化学品的主要12121Xnm（10-20nm）12SEMIG5“”液等四个产品均被浙江省经济和信息化厅认定达到“技术水平国内领先，打破国际垄断，实现重点领域精准替代且在知名用户应用”。首批配方型清洗液实现量供，标志着该类正式迈入规模化运营新阶段。6N6N4N55N5N4N5N5”HCDS、TDMAT图表17：中巨芯营业收入 图表18：中巨芯归母净利润收入（亿元） yoy1412108642020202021202220232024202526Q1

45%40%35%30%25%20%15%10%5%0%

0.10.0(0.1)(0.2)

归母净利润（亿元）

100%20202021202220232024202526Q10%20202021202220232024202526Q1-100%-200%-300%-400%-500%-600%-700%五、风险提示160，钨粉价格跟随APT2343DNANDDRAMHBM5场乐观预期存在无法兑现可能。6“”行业投资评级的说明：买入：预期未来3－6个月内该行业上涨幅度超过大盘在15以上；3－63－63－65特别声