CN115176329B 真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法 （爱德华兹真空泵有限责任公司）_第1页
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2022.09.05PCT/IB2021/05150220WO2021/176300EN2021.09.10DE102015120212A1,201真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂用于在具有容积吸气剂泵和离子吸气剂泵根据离子吸气剂泵的电流控制NEG的加热元件，2中将所述离子吸气剂泵的操作电压降低至下述电压，在该电压处，所述记录通过所述离子吸气剂泵的电流以确定所述真空设备根据通过所述离子吸气剂泵的电流来控制所述NEG的加热元件，目2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述离子吸气剂泵的所述操作电压降低至小于7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第一预被设计用于执行根据权利要求1至9中的一述控制单元被设计用于执行根据权利要求1至9中的一3气剂真空泵和离子吸气剂泵的真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的[0002]大量的工业和科学仪器和系统需要具有低于10-7毫巴的压力的超高空泵相结合，以产生低于10-3毫巴至104产生任何泵输出。这意味着防止了在NEG材料的烘烤/再生期间从NEG逸出的气体粒子对离用于测量真空设备内的压力以及永久监测以防止[0008]本发明的技术问题是设计一种方法，由此可以安全地和可靠地再生NEG的NEG材[0009]该问题借助于根据权利要求1所述的方法以及根据权利要求7所述的真空模块或[0010]用于容积吸气剂泵('不可蒸发吸气剂泵'-NEG)的再生的根据本发明的方法应用于具有NEG和离子吸气剂泵的真空模块，或者应用于具有NEG和离子吸气剂泵的真空设备。[0012]优选地，离子吸气剂泵的操作电压至少降低到基本上不再有任何泵送作用的5[0017]本发明还涉及一种具有容积吸气剂泵(NEG)和离子吸气剂泵的真空模块，其中，[0018]本发明还涉及一种具有容积吸气剂泵(NEG)和离子吸气剂泵的真空设备，其中，[0027]凸缘12还具有公共导通部22，用于离子吸气剂泵18的操作的高电压和用于NEG的再生的加热元件的低电压借助于该公共导通部22被引导通过。这意味着仅需要一个导通[0028]由于凸缘的直径或直接位于真空中的凸缘面24的直径精确地对应于或略大于离6的操作电压下，通过离子吸气剂泵的电流与离子吸气剂泵和NEG所连接到的真空设备内部[0030]图3是在由离子吸气剂泵确定并对应于真空设备内部的压力的电流和用于NEG材料的再生的NEG材料烘烤温度之间的关系的第一压力的压力下存在第二烘烤温度44，该温度高于NEG20的加热元件的第一烘烤温度7

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