GB/T 47902-2026金刚石单晶抛光片

ICS29045

CCSH.82

中华人民共和国国家标准

GB/T47902—2026

金刚石单晶抛光片

Polishedsingle-crystaldiamondwafers

2026-07-02发布2027-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47902—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位安徽光智科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司中国石油集团

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工程材料研究院有限公司浙江先导微电子科技有限公司河南碳真芯材科技有限公司哈尔滨工业大

、、、

学中国科学院半导体研究所中国电子科技集团公司第十三研究所德州学院北京大学东莞光电研究

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院云南鑫耀半导体材料有限公司北京特思迪半导体设备有限公司河北蓝思泰克光电科技有限公司

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河南鸿泰钻石科技有限公司河南平煤神马超硬材料股份有限公司河南路纳尔新材料有限公司湖北

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碳六科技有限公司河南省惠丰金刚石有限公司昊远精测光电科技上海有限公司深圳市常兴技术

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股份有限公司广东先导稀材股份有限公司

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本文件主要起草人刘留尹士平耿方娟欧琳芳贺东江王少龙李素青于金凤赵继文朱嘉琦

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金鹏王阳霍晓迪王琦惠峰寇明虎王希杰冯参军彭献伟高礼明吕继磊王来福孙方远刘永

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朱赞芳付安庆王志强

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Ⅰ

GB/T47902—2026

金刚石单晶抛光片

1范围

本文件规定了金刚石单晶抛光片的分类和牌号技术要求试验方法检验规则标志包装运输

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贮存及随行文件和订货单内容

。

本文件适用于微波等离子化学气相沉积制备的金刚石单晶抛光片的生产检验与质量

(MPCVD)、

评价

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体单晶晶向测定方法

GB/T1555

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样

GB/T2828.1—20121:(AQL)

计划

金属材料热膨胀特征参数的测定

GB/T4339

硅片厚度和总厚度变化测试方法

GB/T6618

硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T6624

半导体材料术语

GB/T14264

闪光法测量热扩散系数或导热系数

GB/T22588

硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

GB/T29505

半导体单晶材料透过率测试方法

GB/T46227

金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

GB/T47080

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

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热沉级金刚石单晶thermal-gradesingle-crystaldiamond

具有较高的热导率并应用在散热领域的高性能散热金刚石单晶材料

。

32

.

光学级金刚石单晶optical-gradesingle-crystaldiamond

具有较高的可见红外光学透过率并应用在远红外激光光学领域的金刚石单晶材料

、、。

33

.

电子级金刚石单晶electronic-gradesingle-crystaldiamond