半导体FAB厂设备安全验收制度及分阶段验收表

【北京XXX半导体有限公司】半导体行业FAB厂设备安全验收管理制度及分阶段验收表文件编号版本/修订编制部门批准人实施日期文件审批与修订记录环节部门/岗位姓名日期签字编制设备管理部门/EHS部门审核工艺、厂务、质量、消防、信息化等部门会签使用部门/项目部门批准分管负责人版本修订日期修订章节修订内容摘要批准人A/0____年__月__日首次发布建立FAB设备分阶段安全验收要求及配套表单

目录正文一、总则 4二、适用范围 5三、编制依据 5四、术语和定义 7五、职责分工 8六、设备风险分级 10七、分阶段验收流程 11八、各阶段验收要求 12九、专项安全技术验收要点 20十、验收测试管理 22十一、验收结论与否决项 23十二、问题整改与复验 25十三、变更与重新验收 25十四、资料归档与状态管理 26十五、监督与考核 27十六、附则 27附表附件1设备安全验收总表 28附件2G0立项/采购安全技术审查表 29附件3G1设计评审及FAT验收表 32附件4G2到货开箱验收表 35附件5G3安装及Hook-up验收表 37附件6G4通能/通介质前安全审查（PSSR）表 40附件7G5SAT及安全功能验证表 43附件8G6试运行及G7最终安全验收表 46附件9设备安全验收问题整改闭环表 49附件10设备专项安全验收适用性确认表 51

一、总则（一）目的为规范半导体行业晶圆制造厂（以下简称“FAB厂”）新购、改造、搬迁及重新投用设备的安全验收工作，将安全要求前置到设备规划、设计、制造、安装、调试和试运行全过程，防止设备带病投入生产，控制中毒、窒息、火灾、爆炸、化学灼伤、触电、机械伤害、辐射伤害、灼烫和环境污染等风险，制定本制度。（二）基本原则（一）安全验收与工艺验收、质量验收、产能验收相互衔接，但安全条件未确认前不得以进度、产能或交付节点替代安全验收。（二）坚持“风险分级、关口前移、分段把关、问题闭环、责任可追溯”的原则。（三）设备本体、辅助单元、厂务接口、控制软件、作业空间、配套安全设施和文件资料应作为完整系统进行验收。（四）未经验收、验收不合格或否决项未关闭的设备，不得通电、通气、通化学品、导入工艺配方或投入生产。（五）涉及特种设备、辐射装置、危险化学品、消防、环保等法定许可、检验或备案事项的，应先满足法定条件。二、适用范围本制度适用于FAB厂用于晶圆制造、研发、测量、检测、搬运、储存、辅助生产和污染治理的设备及其附属系统，包括但不限于光刻、涂胶显影、刻蚀、薄膜沉积、扩散/氧化、离子注入、清洗、湿法处理、电镀、化学机械抛光（CMP）、研磨减薄、清洗干燥、量测检测、缺陷检测、真空系统、AMHS/机器人、特气柜/VMB、化学品供应单元、废气处理设备、废液收集单元、冷却水机、真空泵及其他厂务辅助设备。下列情形应执行本制度：新设备购置；二手设备导入；设备技术改造；设备跨厂区或跨楼层搬迁；停用超过十二个月后恢复使用；影响安全功能的控制系统、联锁逻辑、工艺介质或产能参数重大变更；发生事故、险情或重大故障后的恢复运行。办公设备、普通低风险仪器可按照设备风险分级结果执行简化验收，但不得免除电气安全、接地、稳定性和基本防护检查。三、编制依据—《中华人民共和国安全生产法》；—《中华人民共和国特种设备安全法》；—《危险化学品安全管理条例》；—GB/T15706—2012《机械安全设计通则风险评估与风险减小》；—GB/T5226.1—2019《机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件》；—GB/T16855.1—2025《机械安全安全控制系统第1部分：设计通则》；—GB/T16855.2—2015《机械安全控制系统安全相关部件第2部分：确认》；—GB/T8196—2018《机械安全防护装置固定式和活动式防护装置的设计与制造一般要求》；—GB/T18831—2017《机械安全与防护装置相关的联锁装置设计和选择原则》；—GB/T23821—2022《机械安全防止上下肢触及危险区的安全距离》；—GB/T4208—2017《外壳防护等级（IP代码）》；—GB2894—2025《安全色和安全标志》；—GB/T50493—2019《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》（适用时）；—国家现行消防、电气、压力容器与压力管道、辐射安全、职业卫生、生态环境及建设工程相关标准；—SEMIS2《半导体制造设备环境、健康与安全指南》、SEMIS6、S8、S10、S13、S14、S19、S22、S28等适用的现行版本；—设备采购技术规格书、合同、安全需求规格书、设计图纸、风险评估报告、设备说明书及厂内EHS标准。当上述依据更新或与所在地强制性规定不一致时，应执行最新、最严格且适用的要求。SEMI安全指南用于补充半导体设备专业要求，不替代中国法律法规、强制性标准和行政许可要求。四、术语和定义设备安全验收：对设备本体、附属装置、厂务接口、安全功能、安装质量、文件资料和人员准备情况进行验证，并形成是否允许进入下一阶段或投入使用结论的活动。FAB厂：从事晶圆制造或相关研发试制、工艺验证的洁净生产厂房及其配套区域。FAT：FactoryAcceptanceTest，设备出厂前在供应商制造地点开展的工厂验收测试。SAT：SiteAcceptanceTest，设备安装于使用现场后开展的现场验收测试。Hook-up：设备与电力、工艺冷却水、压缩空气、真空、排风、特气、化学品、废液、废气、网络和消防等厂务系统的接口连接。安全功能：由急停、防护门联锁、气体监测、排风低流量联锁、火焰探测、过温/过压保护、泄漏检测、机器人区域防护等实现风险降低的功能。否决项：一旦不符合即不得进入下一阶段或投入运行，且不得以条件验收方式放行的安全项目。条件通过：不存在否决项和重大风险，少量一般问题已采取临时控制措施并明确责任、期限和复验要求，允许受控进入下一阶段的结论。五、职责分工设备使用部门：提出设备用途、工艺介质、运行模式和人员操作需求；参与风险识别、FAT、SAT、试运行和最终验收；落实操作规程、点检维护、培训授权及问题整改。项目/工程部门：统筹设备建设进度、安装施工、接口协调和承包商管理；确保基础、吊装、搬入、锚固、Hook-up和工程质量符合设计及安全要求。设备管理部门：牵头建立设备台账和验收计划；组织技术资料审查、设备分级、分阶段验收、故障测试、资料归档及验收状态标识。工艺部门：确认工艺流程、配方边界、工艺化学品和特气条件；审查异常工况、清腔/清洗/换料/维护模式及工艺联锁。厂务部门：确认供配电、接地、排风、真空、特气、化学品、冷却水、压缩空气、废气废液等接口能力和连锁条件；验证接口标识、阀门方向、管路材质和泄漏测试。EHS部门：组织或参与设备EHS风险评估、法规与标准符合性审查、关键安全功能验证、许可条件确认和否决项判定；监督整改闭环。消防/保卫部门：审查设备火灾风险、灭火系统、火灾报警联动、可燃气体监测、疏散通道及消防控制接口。质量部门：将安全验收状态纳入设备放行和变更管理，监督验收记录完整性、偏差处理和版本控制。信息化/自动化部门：审查设备网络连接、远程访问、账户权限、时间同步、日志留存及控制系统变更权限，防止未经授权修改安全参数或联锁逻辑。采购部门：将EHS技术条件、资料清单、第三方评估、FAT/SAT、安全整改和验收付款条件写入采购合同，并推动供应商履约。供应商/安装单位：按合同、标准和批准图纸完成设计、制造、安装、调试和整改；提供真实完整的中文资料、风险评估、测试记录和培训。验收组组长：组织验收会议和现场测试，确认参与人员具备相应专业能力，签发阶段结论；重大分歧提交设备安全验收委员会或公司分管负责人裁决。六、设备风险分级（一）分级原则设备立项阶段由设备管理部门会同工艺、厂务和EHS部门，根据能量、物料、人员暴露、工艺后果、设备复杂程度及法定管理要求，将设备分为A、B、C三级。风险分级仅决定验收深度，不改变强制性法规和否决项要求。级别典型特征典型设备最低验收要求A类（高风险）使用或产生毒性、易燃、自燃、腐蚀性、氧化性气体/化学品；存在高温、高压、真空、辐射、强激光、高压/RF、燃烧、机器人或重大火灾风险；法定特种设备或辐射装置。刻蚀、CVD、扩散炉、离子注入、湿法台、特气/化学品供应、尾气处理、激光/射线设备等。必须实施设计审查、FAT、到货、安装Hook-up、通能前、SAT、试运行和最终验收；关键安全功能应逐项实测。B类（中风险）存在机械运动、加热、真空、一般化学品、高功率电气或自动搬运风险，但事故后果相对可控。CMP、涂胶显影、研磨减薄、清洗机、真空泵、AMHS末端设备、部分量测设备等。原则上执行全部现场阶段；FAT可根据风险决定，仍须验证安全功能。C类（低风险）能量和危险物料较低，结构简单，主要风险为一般用电、稳定性、人体工效和误操作。普通显微镜、低功率检测仪、辅助工作站等。可合并到货、安装和SAT表单，但必须完成接地、外观、防护、说明书、培训和放行。（二）升级情形存在下列任一情形时，设备风险等级至少提高一级：首次导入新工艺或新介质；二手或非标设备；安全认证资料缺失；供应商无同类设备成熟业绩；工艺窗口接近介质自燃、爆炸或分解边界；设备布置于人员密集区、疏散通道附近或地下空间；安全功能依赖软件或网络控制；曾发生同型号设备事故、召回或重大缺陷。七、分阶段验收流程设备安全验收设置七个阶段门（Gate）。上一阶段未通过，原则上不得进入下一阶段。因工程组织确需并行作业的，应完成书面风险评估和受控施工审批，但不得突破“通电、通气、通化学品、工艺运行”四条控制边界。阶段门阶段名称启动时点主要输出放行边界G0立项/采购安全技术审查采购技术协议冻结前设备EHS需求规格书、风险分级、资料与测试清单允许签订采购合同G1设计评审与FAT设计冻结、出厂前设计风险评估、FAT记录、遗留项清单允许出厂/发运G2到货开箱验收设备抵厂后到货验收单、损伤与缺件清单允许搬入和安装G3安装及Hook-up验收机械安装和接口施工完成后安装质量、接口测试、管线标识和竣工资料允许准备通能G4通能/通介质前验收首次通电、通气或通化学品前PSSR清单、法定手续、应急准备确认允许分级通能/引入介质G5SAT及安全功能验证设备现场调试完成后安全功能测试记录、报警联锁矩阵允许受控试运行G6试运行验收工艺试运行期间异常工况验证、稳定性与维护性评估允许最终验收G7最终验收与移交缺陷关闭、资料齐全后最终验收报告、设备安全技术档案、放行标识允许正式生产八、各阶段验收要求（一）G0立项/采购安全技术审查1.明确设备用途、工艺步骤、最大产能、所有正常和异常工况、维护清洗模式、使用及产生的化学品/气体清单、最大存量和流量。2.开展初步危害分析，识别火灾爆炸、中毒窒息、化学灼伤、机械、电气、高温、压力真空、辐射、激光、噪声、振动、人体工效和环境排放风险。3.将适用法律法规、国家标准、SEMI安全指南、厂内EHS标准、第三方评估、中文文件、培训和验收测试要求写入采购技术协议。4.明确厂务接口条件：电压/频率/功率、短路容量、保护接地、排风量和负压、冷却水、压缩空气、真空、气体/化学品材质和压力、废气废液去向及联锁信号。5.确定安全功能需求及目标性能，包括急停、门禁联锁、排风低流量、气体泄漏、火焰/烟雾、过温、过压、低液位、泄漏盘、机器人区域和消防联动。6.明确安全PLC/控制器、软件版本、密码权限、参数锁定、事件日志和远程访问控制要求。7.确定设备风险等级、验收阶段、FAT见证点、第三方检测项目、付款节点和遗留问题处理机制。（二）G1设计评审与FAT1.供应商应提交设备总体布置、P&ID、气路/液路图、电气原理图、I/O清单、报警联锁矩阵、部件材料清单、危险区域划分、排风设计和安全风险评估报告。2.设计评审应验证本质安全、工程控制优先、危险能量隔离、可维护性、人员可达性、误操作预防和故障安全原则。3.FAT应在设备出厂前按批准方案实施；A类设备原则上由使用方EHS、设备、工艺或第三方共同见证。4.FAT至少测试急停、门联锁、断电/断气恢复、排风故障、冷却水故障、过温/过压、传感器断线、气体泄漏模拟、火灾信号、机器人防护和报警历史记录。5.无法在工厂模拟的项目应列入SAT强制测试清单，不得以“现场再调试”为由取消设计整改。6.出厂前应确认铭牌、警示标识、危险能量隔离点、吊装点、重心、运输固定和搬入要求。（三）G2到货开箱验收1.核对设备名称、型号、序列号、数量、配置、随机附件和关键安全部件与合同一致。2.检查包装、运输固定、柜体、门窗、防护罩、急停、管口、法兰、电柜、线缆和敏感部件有无变形、碰撞、受潮、腐蚀或污染。3.核验合格证、原产地/进口资料、检测报告、第三方EHS评估、关键部件认证、压力容器资料、辐射/激光资料及中文说明书。4.检查搬入路径、地面承载、洁净室开口、临时存放、吊装工具和隔离措施；未制定搬入方案不得拆除运输固定。5.发现运输损伤、缺件、型号不符或安全部件被替代时，应隔离标识并形成索赔和整改记录。（四）G3安装及Hook-up验收1.设备基础、支撑、锚固、防震、水平度、检维修空间、操作空间和疏散通道应符合批准图纸和结构要求。2.电源回路、主隔离开关、短路和过载保护、保护接地、等电位连接、线缆选型、桥架和电柜防护应符合设计；设备金属外壳和可拆卸门板应可靠接地。3.特气、化学品、真空、排风、废气和废液管路应核对介质、材质、压力等级、流向、阀门、接头、防错接、二次围护、泄漏检测和标识。4.涉及毒性、易燃、自燃或腐蚀性介质的管路应按方案完成压力、保压、氦检或适用的严密性测试，并保留原始记录。5.设备排风应完成风量/静压测量；排风监测点、低流量报警及与危险介质切断的联锁逻辑应符合风险评估和设计要求。6.尾气处理单元容量、材料兼容性、旁路管理、故障报警、压差/温度监测和排放路径应与主设备匹配。7.消防探测、灭火装置、气体报警、BMS/FMS、厂务监控和设备信号应完成点对点核对。8.安装施工产生的临时短接、盲板、旁路、测试线、保护膜和运输固定应清理或按清单受控保留。（五）G4通能/通介质前验收（PSSR）1.确认G3问题已关闭，设备区域施工结束，工具、杂物和临时设施已清理，防护罩和柜门恢复。2.确认供电、接地、排风、冷却水、压缩空气、真空、气体和化学品等接口已由责任部门签字放行。3.确认急停、主隔离开关、LOTO隔离点、阀门、排放/吹扫接口清晰可达并完成标识。4.首次通电应先进行绝缘、接地连续性和相序等检查；首次通气、通化学品应执行专门作业方案并设置现场监护。5.危险气体/化学品引入前，气体检测、排风、泄漏盘、自动切断、紧急排放/吹扫、消防和尾气处理系统必须处于有效状态。6.操作、维护、异常处置、化学品更换、清腔/清洗和LOTO规程应完成评审，相关人员应接受培训。7.应急物资、洗眼器/冲淋设施、泄漏处置用品、呼吸防护、报警联络和撤离路线应准备到位。8.涉及特种设备、辐射装置或其他许可事项的，确认监督检验、使用登记、许可证或备案满足投入条件。（六）G5SAT及安全功能验证1.SAT应按批准的测试方案逐项执行，测试人员、测试条件、模拟方法、预期结果和实际结果应记录。2.安全功能测试应覆盖正常运行、启动、停机、故障、维护、手动模式和恢复运行；不得仅检查画面显示或供应商口头说明。3.急停动作后危险运动和危险介质应按设计进入安全状态；复位急停不得导致设备自动重新启动。4.防护门、检修门和机器人区域联锁应防止人员在危险状态下进入；联锁不得可被普通工具轻易旁路。5.气体/化学品泄漏、排风不足、过温、过压、冷却水中断、火焰/烟雾、尾气处理故障等信号应触发规定的报警、停机、切断和上报动作。6.验证安全传感器断线、短路、失电或通信故障时，系统能进入或维持安全状态，并产生可识别故障报警。7.验证报警优先级、声光提示、中文信息、历史记录、时间戳、权限和参数修改记录。8.验证断电、断气、断网和恢复供给后的行为，防止危险介质突然释放、运动机构突然启动或工艺失控。9.对需要周期测试的安全功能建立基准值、测试方法、周期和责任部门。（七）G6试运行验收1.试运行应使用批准的工艺介质、配方和产能边界，未经审批不得为追求产能提高温度、压力、流量或取消报警。2.观察连续运行状态下设备温升、振动、噪声、泄漏、异味、排风、尾气处理、报警频次和异常停机情况。3.验证换批、换料、开腔、清洗、维护、滤芯更换、废液转移等非正常生产任务的安全性。4.验证操作和维护人员能够识别报警、正确执行停机、隔离、吹扫、泄压、撤离和报告。5.试运行中发生安全联锁动作、泄漏、冒烟、异常发热或人员暴露事件，应立即暂停验收并启动原因分析和变更管理。6.试运行期间形成的临时参数、临时旁路和调试账号应在最终验收前清理、封存或转为受控状态。（八）G7最终验收与移交1.全部否决项和重大问题关闭，一般问题按批准期限关闭或落实可靠临时措施。2.设备图纸、风险评估、报警联锁矩阵、测试报告、软件版本、备件清单、证书、说明书、培训记录和维护计划完整。3.设备主数据、责任人、风险等级、法定检验、点检维护、校验周期和关键安全功能测试周期录入设备管理系统。4.完成操作、维护、LOTO、应急处置和承包商服务人员培训与授权。5.验收组形成“通过、条件通过或不通过”的结论；条件通过不得包含否决项，且应明确限制条件、责任人、完成日期和复验人。6.设备管理部门张贴或录入正式验收状态标识后，质量/生产部门方可解除投产限制。九、专项安全技术验收要点机械与机器人安全：危险运动部位应采取固定式/活动式防护、联锁防护、光幕或安全扫描等措施；安全距离合理；手动/示教模式速度受控；人员可能进入的区域应有防止意外启动和被困措施。电气安全：主隔离开关可上锁；带电部位防护完整；保护接地连续可靠；柜内导线标识、端子防松、过流保护和短路能力满足要求；电容、高压电源和RF系统应有放电等待时间及残余电压警示。特气系统：气体柜/VMB、阀箱和设备内部气路应满足材料兼容、最小库存、负压排风、自动切断、泄漏检测、吹扫置换、防倒流和紧急切断要求；毒性、自燃性气体不得仅依靠人工关阀。化学品系统：化学品容器、管路、接头、阀门和密封材料应兼容；设二次围护、泄漏检测、防溅、防误接、液位和高高液位保护；酸碱和不相容物应隔离；补液/换桶应考虑人员暴露。排风与尾气处理：排风量、静压和捕集位置满足设备风险；排风故障应报警并按风险切断危险介质或停机；尾气处理容量、冗余、旁路、温度、压差和故障上报满足工艺最坏工况。压力、真空和高温：压力边界、泄压装置、真空腔体和视窗应满足设计压力和材料要求；高温表面隔热防护；过温/超压保护独立可靠；维护前有泄压、降温、充氮/通风和确认措施。火灾爆炸防护：评估可燃物、点火源、燃烧副产物和火灾传播；设置适用的探测、抑制/灭火、可燃气体监测和联动；自燃性硅烷类、氢气和可燃溶剂设备应验证失效状态。辐射与激光：X射线、离子束和其他电离辐射设备应满足许可、屏蔽、联锁、监测和警示要求；3B/4类激光应有封闭、门联锁、光路防护、钥匙控制和人员授权。人体工效与维护安全：操作高度、搬运重量、姿势、视野、照明、热负荷和重复动作应合理；常用维护点应可安全接近；过滤器、泵、腔体和化学品桶更换应预留起吊、支撑和防泄漏条件。信息与控制安全：安全参数和联锁逻辑的修改权限应最小化；远程访问需审批和日志；软件更新、配方变更和控制器更换应纳入变更管理；网络故障不得导致危险状态。环境保护：废气、废液、废水、固体废物和温室气体排放路径明确；禁止未经批准旁路处理设施；采样口、监测点和异常排放报警满足环保要求。防震与结构稳定：设备、气柜、泵和高重心部件应按结构设计可靠锚固；载荷、重心、地板开口和楼板承载经确认；管线应考虑位移补偿和抗震支撑。十、验收测试管理（一）测试方案应在实施前批准，明确测试前提、风险控制、模拟方法、人员分工、停止条件和恢复步骤。（二）涉及危险介质、火灾信号、紧急切断或关键厂务系统的测试，应通知相关控制室和受影响部门，并设置现场监护。（三）严禁通过真实泄漏、真实火灾或无防护方式验证安全功能；应优先采用标准气体、信号注入、模拟器或受控替代方法。（四）测试仪器应在有效校准期内，测量数据应记录仪器编号、量程、单位和环境条件。（五）安全联锁旁路仅允许在批准的调试方案下临时使用，必须有醒目标识、权限控制、时间限制和旁路清单；测试结束立即恢复并复核。（六）设备软件、固件、PLC程序或安全参数在验收后发生变化，应重新评估受影响的安全功能。十一、验收结论与否决项（一）结论分类1.通过：全部适用项目符合要求，资料齐全，允许进入下一阶段或正式投用。2.条件通过：无否决项和重大风险，一般问题已采取有效临时控制措施，限定期限内完成整改并复验。3.不通过：存在否决项、重大风险、关键资料缺失或测试结果不可靠，禁止进入下一阶段或投入使用。（二）否决项★急停、防护门联锁、机器人区域防护、过温/过压等关键安全功能失效或可被轻易旁路；★有毒、易燃、自燃或腐蚀性介质泄漏测试不合格，或自动切断、吹扫、排风、气体检测功能不满足设计；★设备排风、尾气处理或消防系统未投用、能力不足、联动失效，仍拟引入危险介质；★保护接地缺失或不连续，带电部位可触及，电气保护与供电条件明显不匹配；★特种设备未经监督检验、法定检验或登记，辐射装置未取得所需许可或防护不合格；★压力边界、真空视窗、反应腔体、加热系统存在开裂、变形、材料不兼容或超设计条件运行风险；★设备锚固、结构稳定性或搬入安装质量不足，存在倾覆、坠落或管线拉裂风险；★供应商拒绝提供风险评估、报警联锁矩阵、关键图纸、软件版本或测试记录，导致安全状态无法确认；★验收记录造假、代签，或通过修改报警阈值、屏蔽联锁、删除日志等方式规避问题；★其他经验收组认定可能直接导致群死群伤、重大泄漏、火灾爆炸或严重环境事件的情形。十二、问题整改与复验验收发现的问题应录入《设备安全验收问题整改闭环表》，按照否决项、重大项、一般项分类管理。问题描述应包含位置、现状、风险、依据或设计要求、整改措施、责任单位、完成期限和验证方法。否决项和重大项必须由原验收专业或其授权人员复验；涉及报警联锁、程序或参数修改的，应重新执行相关功能测试并保存版本差异。仅凭照片、供应商承诺或口头说明不得关闭需功能验证的问题。条件通过的整改期限原则上不超过三十日。超过期限仍未关闭的，设备管理部门应暂停条件放行状态，重新评估是否停机。十三、变更与重新验收设备投用后发生下列变更，应启动设备变更管理并确定重新验收范围：工艺气体或化学品种类、浓度、温度、压力、流量和最大存量变化；产能提升导致危险物料或能量显著增加；安全PLC、联锁逻辑、报警阈值、传感器型号或软件版本变化；排风、尾气处理、消防、气体检测、供电或接地系统变化；设备搬迁、主体结构改造、二手设备导入；安全部件取消、旁路或替代；事故、火灾、爆炸、泄漏或重大异常后的修复。变更验收应至少覆盖受影响的风险评估、图纸、报警联锁矩阵、测试记录、操作规程、维护计划和人员培训。十四、资料归档与状态管理每台设备应建立唯一的设备安全技术档案，电子档案与设备编号关联。档案至少包括：采购安全技术条件、设备风险分级、供应商风险评估、设计图纸、FAT/SAT报告、安装及Hook-up记录、泄漏和电气测试、法定证书、报警联锁矩阵、软件版本、验收表、整改闭环、培训记录、操作维护规程、关键安全功能周期测试计划和变更记录。设备验收状态应明确标识为“待验收、限制调试、条件通过、验收合格、暂停使用”之一。未经设备管理部门和EHS部门授权，任何人员不得擅自更改状态。验收资料保存期限不得短于设备全生命周期；设备报废后，涉及事故追溯、职业健康、辐射、特种设备和环境管理的资料按法定期限继续保存。十五、监督与考核对未经验收擅自投用、隐瞒设备风险、擅自屏蔽联锁、篡改验收记录、未按期整改或供应商交付不符合安全要求的行为，按照公司安全生产责任制、承包商管理和绩效考核规定处理。造成事故或严重后果的，依法依规追究责任。十六、附则本制度由设备管理部门会同EHS部门负责解释，自批准之日起实施。各厂区可根据设备类型、工艺特点和所在地法规编制专项验收细则，但不得降低本制度规定的最低要求。半导体行业FAB厂设备安全验收表附件1设备安全验收总表设备名称设备编号设备类别型号/序列号使用部门安装位置供应商项目负责人计划投用日期风险等级□A类□B类□C类设备状态□新购□改造□搬迁档案编号阶段阶段名称是否适用完成日期结论遗留问题数批准/签字G0采购审查□是□否□通过□条件通过□不通过G1设计/FAT□是□否□通过□条件通过□不通过G2到货开箱□是□否□通过□条件通过□不通过G3安装/Hook-up□是□否□通过□条件通过□不通过G4PSSR□是□否□通过□条件通过□不通过G5SAT/安全验证□是□否□通过□条件通过□不通过G6试运行□是□否□通过□条件通过□不通过G7最终验收□是□否□通过□条件通过□不通过最终验收结论□通过□条件通过□不通过正式投用日期设备状态标识□验收合格□条件投用□暂停使用负责人会签/档案编号

附件2G0立项/采购安全技术审查表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1基本信息设备用途与工艺边界明确设备工艺步骤、产品类型、最大产能、正常/异常/维护模式。□符合□不符合□不适用2介质与能量危险物料清单列明所有特气、化学品、清洗剂、反应副产物及最大流量/存量/浓度。□符合□不符合□不适用3介质与能量能量清单明确电气、高压、RF、热、机械、压力、真空、激光、辐射等能量。□符合□不符合□不适用4风险评估初步危害分析识别人员、环境和设备风险，列出风险降低措施与残余风险。□符合□不符合□不适用5法规标准适用性识别识别中国法律法规、强制性标准、特种设备、辐射、消防、环保要求。□符合□不符合□不适用6采购条件EHS技术规格书安全要求已写入采购技术协议，包含验收、整改、资料和培训责任。□符合□不符合□不适用7采购条件SEMI符合性明确是否要求SEMIS2/S6/S8/S10/S14/S22等评估及报告。□符合□不符合□不适用8机械安全危险运动防护设计要求包括防护罩、门联锁、安全距离、机器人区域防护。□符合□不符合□不适用9电气安全电气设计条件明确供电参数、主隔离、过流保护、接地、短路能力和电柜防护。□符合□不符合□不适用10特气/化学品材料兼容与防泄漏明确材料、接头、二次围护、泄漏检测、吹扫和自动切断要求。□符合□不符合□不适用11排风/尾气厂务排风条件明确所需排风量/静压、监测点、低流量联锁和尾气处理能力。□符合□不符合□不适用12消防火灾风险控制明确探测、灭火、火灾联动、可燃气体监测和阻燃材料要求。□符合□不符合□不适用13安全控制报警联锁矩阵定义每个传感器、报警阈值、动作、延时、复位和失效状态。□符合□不符合□不适用14安全控制安全功能性能对关键功能确定所需性能等级或等效可靠性目标。□符合□不符合□不适用15信息安全软件和权限明确程序版本、账户权限、远程访问、日志、参数锁定和备份要求。□符合□不符合□不适用16维护安全LOTO与可维护性设计隔离点、残余能量释放、维护空间、起吊及开腔清洗条件。□符合□不符合□不适用17人机工程人体工效要求考虑操作高度、搬运、视野、照明、噪声和重复动作。□符合□不符合□不适用18文件资料交付资料清单明确中文说明书、图纸、风险评估、证书、测试报告、备件和培训资料。□符合□不符合□不适用19验收策划FAT/SAT方案确定见证点、模拟方法、仪器、第三方检测和阶段放行标准。□符合□不符合□不适用20验收策划付款与缺陷处理合同中设置安全验收付款节点和供应商整改责任。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件3G1设计评审及FAT验收表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1设计资料总体布置与接口图图纸版本受控，设备尺寸、重量、重心、维护空间和接口清晰。□符合□不符合□不适用2设计资料P&ID/气液路图介质、材质、压力、阀门、吹扫、泄放、排放和二次围护完整。□符合□不符合□不适用3设计资料电气与I/O资料电气原理图、接线图、I/O清单、元件规格和保护回路完整。□符合□不符合□不适用4风险评估详细风险评估覆盖全生命周期、正常/异常/维护模式及合理可预见误用。□符合□不符合□不适用5机械安全防护与联锁设计危险运动有防护；联锁装置难以旁路，安全距离合理。□符合□不符合□不适用6电气安全主隔离与LOTO主电源和其他危险能量设可上锁隔离点，残余能量可释放。□符合□不符合□不适用7电气安全接地与带电防护保护接地、等电位、带电体防护和电柜IP等级满足环境。□符合□不符合□不适用8特气安全气路失效安全失电/失气/排风故障时危险气体自动进入安全状态。□符合□不符合□不适用9化学品安全泄漏控制容器、管路、接头、泄漏盘、传感器和排液路径设计合理。□符合□不符合□不适用10排风捕集和监测排风点位、风量/静压、低流量监测和联锁满足最坏工况。□符合□不符合□不适用11尾气处理处理能力和故障容量、兼容性、压差/温度监测、故障报警和旁路管理明确。□符合□不符合□不适用12消防火灾风险评估完成火灾风险评估并落实探测、阻燃、灭火和联动。□符合□不符合□不适用13安全控制急停功能急停覆盖范围、停止类别、复位和重启逻辑符合风险评估。□符合□不符合□不适用14安全控制报警联锁矩阵报警级别、阈值、延时、动作、锁存、复位和上报完整。□符合□不符合□不适用15安全控制故障检测传感器断线、短路、通信故障和失电可检测并安全响应。□符合□不符合□不适用16FAT测试★急停实测各急停均能使设备进入规定安全状态，复位后不自动重启。□符合□不符合□不适用17FAT测试★防护门/区域联锁开启防护门或进入危险区域时，危险运动和能量受控。□符合□不符合□不适用18FAT测试排风故障模拟低流量/失风触发报警和规定的停机、切断动作。□符合□不符合□不适用19FAT测试气体/化学品泄漏模拟泄漏信号触发声光报警、自动切断、上报和安全状态。□符合□不符合□不适用20FAT测试过温/过压/低流量保护动作与设定值一致，独立保护功能有效。□符合□不符合□不适用21FAT测试断电/断气恢复恢复供给不导致自动危险启动或危险介质突然释放。□符合□不符合□不适用22FAT测试报警记录与权限中文报警、历史记录、时间戳、账户权限和参数修改记录有效。□符合□不符合□不适用23标识资料安全标识和铭牌危险区域、能量、介质、残余风险、吊装点和重心标识完整。□符合□不符合□不适用24出厂条件运输固定与防护运输方案、防潮、防震、管口封堵和敏感部件保护完善。□符合□不符合□不适用25遗留项现场测试清单不能在FAT完成的项目明确列入SAT，不存在影响出厂的否决项。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件4G2到货开箱安全验收表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1身份核对设备信息名称、型号、序列号、数量和配置与合同/装箱单一致。□符合□不符合□不适用2包装运输包装状态外包装、倾斜/冲击指示、防潮和运输固定无异常。□符合□不符合□不适用3外观柜体和结构无变形、碰伤、裂纹、锈蚀、受潮、污染或密封损坏。□符合□不符合□不适用4安全部件急停与防护急停、防护罩、防护门、联锁开关等无缺失或损坏。□符合□不符合□不适用5接口管口和法兰封堵完好，接口标识清晰，无异物和机械损伤。□符合□不符合□不适用6电气电柜和线缆电柜干燥，元件固定，无松脱，线缆和连接器无破损。□符合□不符合□不适用7随机附件关键部件与备件传感器、泄漏盘、灭火组件、工具、备件和耗材齐全。□符合□不符合□不适用8资料合格和认证资料合格证、检验报告、第三方评估、关键元件证书齐全。□符合□不符合□不适用9法定资料特种设备/辐射资料制造许可、监督检验证明、辐射/激光资料满足要求。□符合□不符合□不适用10资料中文说明书和图纸安装、操作、维护、EHS说明和最新版图纸齐全。□符合□不符合□不适用11搬入搬入方案路径、门洞、地板承载、吊装工具、洁净防护和隔离措施已确认。□符合□不符合□不适用12搬入重心与吊装点重心、吊点和叉车孔标识明确，运输固定拆除顺序清楚。□符合□不符合□不适用13异常处理损伤/缺件隔离异常已拍照、编号、隔离并形成供应商整改/索赔清单。□符合□不符合□不适用14结论★重大运输损伤不存在影响压力边界、真空腔体、结构稳定或安全功能的损伤。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件5G3安装及Hook-up安全验收表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1安装基础结构承载楼板、基础、支架和地板开口满足设备重量和动态载荷。□符合□不符合□不适用2安装基础锚固与防震设备、气柜、泵和高重心单元按设计可靠锚固。□符合□不符合□不适用3布局空间操作维护空间操作、开门、抽拉、换件、起吊和救援空间满足要求。□符合□不符合□不适用4布局空间通道与疏散设备不占用消防、疏散、配电和应急设施通道。□符合□不符合□不适用5机械安装防护装置防护罩、门、挡板、护栏和安全距离安装正确。□符合□不符合□不适用6机械安装运输固定清理运输螺栓、临时支撑和包装材料按要求拆除或受控保留。□符合□不符合□不适用7电气Hook-up供电参数电压、频率、相序、功率、短路容量和回路编号正确。□符合□不符合□不适用8电气Hook-up★保护接地主接地点、门板、模块和管路等电位连接连续可靠。□符合□不符合□不适用9电气Hook-up隔离与上锁主隔离开关位置可达、标识清晰并可上锁。□符合□不符合□不适用10电气Hook-up电缆与桥架电缆选型、端接、弯曲半径、保护和防火封堵符合要求。□符合□不符合□不适用11特气Hook-up介质与材质核对气体名称、管材、接头、压力等级和流向正确，防错接。□符合□不符合□不适用12特气Hook-up★严密性测试危险气路完成规定的压力、保压、氦检或严密性测试并合格。□符合□不符合□不适用13特气Hook-up吹扫与泄放吹扫气源、止回、防倒流、排放路径和紧急切断正确。□符合□不符合□不适用14化学品Hook-up材料兼容化学品管路、阀门、密封件和容器与介质兼容。□符合□不符合□不适用15化学品Hook-up二次围护泄漏盘、双套管、集液和泄漏传感器安装正确。□符合□不符合□不适用16排风Hook-up★排风能力实测风量/静压满足设计，捕集位置和方向正确。□符合□不符合□不适用17排风Hook-up低流量监测监测点安装合理，传感器量程和报警阈值可验证。□符合□不符合□不适用18尾气Hook-up处理系统连接主设备与处理单元连接正确，无未经批准旁路。□符合□不符合□不适用19废液/废水排放路径废液分类、材质、坡度、液封、防回流和终端去向正确。□符合□不符合□不适用20冷却水/压缩空气参数与保护压力、流量、温度、材质、阀门和泄漏控制符合要求。□符合□不符合□不适用21消防接口探测和灭火设备内探测、灭火组件和厂区消防信号完成安装。□符合□不符合□不适用22监控接口BMS/FMS点对点报警、联锁、设备状态和厂务信号点对点核对完成。□符合□不符合□不适用23标识管线与阀门标识介质、流向、阀位、设备编号、危险能量和隔离点清晰。□符合□不符合□不适用24施工收尾临时旁路清单临时短接、盲板、测试线和旁路已清理或登记受控。□符合□不符合□不适用25竣工资料红线图/竣工图安装实际情况已反映在竣工图和接口记录中。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件6G4通能/通介质前安全审查（PSSR）表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1现场条件施工结束和清场施工人员、工具、杂物、临时电源和防护膜已清理。□符合□不符合□不适用2现场条件区域隔离与告知首次通能区域已隔离，相关控制室和人员已通知。□符合□不符合□不适用3设备状态防护恢复防护罩、柜门、挡板、过滤器和盖板已安装到位。□符合□不符合□不适用4设备状态阀门/开关初始状态所有阀门、断路器、隔离开关处于批准的初始位置。□符合□不符合□不适用5电气绝缘和相序首次通电前完成绝缘、相序和接线检查。□符合□不符合□不适用6电气★接地连续性保护接地和等电位测试合格，记录仪器及实测值。□符合□不符合□不适用7危险能量LOTO准备能量清单、隔离点图、锁具和残余能量释放方法到位。□符合□不符合□不适用8排风★排风系统投用主排风和局部排风运行正常，低流量监测有效。□符合□不符合□不适用9尾气★处理系统投用尾气处理具备运行条件，故障联锁和上报有效。□符合□不符合□不适用10气体检测★气体监测投用检测器种类、位置、量程、报警值和联动满足设计。□符合□不符合□不适用11消防★消防系统投用设备探测/灭火、火灾报警和相关联动可用。□符合□不符合□不适用12特气气路置换与检漏气路清洁、吹扫、置换和最终检漏按方案完成。□符合□不符合□不适用13特气★自动切断准备气体柜/VMB/设备端自动切断阀和紧急切断可用。□符合□不符合□不适用14化学品供液前确认化学品名称、浓度、容器、接头、防错接和二次围护正确。□符合□不符合□不适用15化学品★泄漏控制泄漏盘、传感器、排液路径和应急停止有效。□符合□不符合□不适用16压力/真空边界完整腔体、视窗、压力元件、泄压装置和紧固件无异常。□符合□不符合□不适用17法定条件特种设备手续监督检验、使用登记或投入前法定条件满足。□符合□不符合□不适用18法定条件辐射/激光手续许可、屏蔽、联锁、警示和人员授权满足要求。□符合□不符合□不适用19文件操作与维护规程操作、开停机、维护、换料、清洗和异常处置规程批准。□符合□不符合□不适用20培训人员培训授权调试、操作、维护、厂务和应急人员已培训并明确授权。□符合□不符合□不适用21应急应急设施物资洗眼冲淋、泄漏处置、消防、呼吸防护和通讯可用。□符合□不符合□不适用22应急停止条件明确发生泄漏、冒烟、异常温升、报警失效等立即停止条件。□符合□不符合□不适用23审批通能顺序与监护通电、通气、通化学品顺序、负责人、监护人和记录人明确。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件7G5SAT及安全功能验证表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1急停★全部急停按钮逐一触发，危险运动/能量按设计停止；复位后不自动启动。□符合□不符合□不适用2急停急停覆盖范围设备本体、附属单元、机器人和危险介质切断范围符合设计。□符合□不符合□不适用3防护联锁★防护门联锁运行中开门触发安全状态；门关闭后需人工复位。□符合□不符合□不适用4机器人★区域防护光幕/扫描器/门锁有效，人员进入时危险运动受控。□符合□不符合□不适用5排风★低流量/失风模拟排风不足，触发报警、停机和危险介质切断。□符合□不符合□不适用6气体检测★有毒气体报警模拟一级/二级报警，声光、切断、上报和撤离逻辑正确。□符合□不符合□不适用7气体检测★可燃气体报警模拟报警，点火源控制、切断、排风和上报动作正确。□符合□不符合□不适用8泄漏检测★化学品泄漏触发泄漏盘传感器，停止供液并报警上报。□符合□不符合□不适用9温度保护过温报警/停机分别验证报警值、停机值和独立超温保护。□符合□不符合□不适用10压力保护过压/低压验证压力报警、泄压或切断动作，防止超设计压力。□符合□不符合□不适用11冷却保护冷却水故障低流量、高温或断水触发规定停机和介质切断。□符合□不符合□不适用12真空保护真空异常真空不足、突然破真空或泵故障时设备响应安全。□符合□不符合□不适用13尾气处理★处理单元故障故障、压差/温度异常时主设备报警并受控停机。□符合□不符合□不适用14消防火焰/烟雾信号模拟探测器信号，设备动作、灭火和厂区上报正确。□符合□不符合□不适用15电气故障断电和恢复断电进入安全状态；恢复供电不自动危险启动。□符合□不符合□不适用16气源故障断气和恢复气动元件失压不产生坠落、夹伤或危险阀位。□符合□不符合□不适用17传感器故障断线/短路关键传感器断线、短路或失电可检测并安全响应。□符合□不符合□不适用18通信故障网络/总线中断安全功能不依赖普通通信；故障有报警且设备状态可控。□符合□不符合□不适用19报警管理报警信息报警内容中文、明确、可操作，包含位置、原因和处置提示。□符合□不符合□不适用20报警管理历史和时间戳报警、旁路、参数和登录记录可追溯，时间同步正确。□符合□不符合□不适用21权限参数修改权限普通操作员不能修改安全阈值、联锁或关键系统时间。□符合□不符合□不适用22旁路安全旁路管理旁路需权限、提示、记录和超时；验收结束无未关闭旁路。□符合□不符合□不适用23恢复故障复位逻辑故障消除后需有意识复位，复位不等同启动。□符合□不符合□不适用24互锁厂务与主机联锁主机、气柜、VMB、尾气处理、排风和消防联锁顺序正确。□符合□不符合□不适用25测量测试仪器仪器在校准期内，编号、量程、模拟值和结果完整记录。□符合□不符合□不适用26文件联锁矩阵一致性实测结果与最新批准的报警联锁矩阵一致。□符合□不符合□不适用阶段结论□通过□条件通过□不通过限制条件/说明复验期限____年__月__日设备部门工艺部门厂务部门EHS部门使用部门供应商/安装方

附件8G6试运行及G7最终安全验收表说明：标注“★”的项目为否决项；不适用项目应在备注中说明理由。设备名称设备编号型号/序列号使用部门供应商验收日期风险等级□A类□B类□C类验收阶段序号类别验收项目验收要求/判定标准结果问题编号/备注1试运行边界批准配方与参数仅使用批准介质和参数，不擅自提高温度、压力、流量和产能。□符合□不符合□不适用2连续运行温升/振动/噪声连续运行无异常温升、振动、噪声、异味或部件松动。□符合□不符合□不适用3密封性能泄漏与污染气体、化学品、真空、冷却水和废液系统无泄漏或交叉污染。□符合□不符合□不适用4排风尾气稳定性排风、压差、尾气处理和排放指标在负荷变化时稳定。□符合□不符合□不适用5报警表现误报警/漏报警无