版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
司一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝本发明公开了一种二次外延提高大尺寸单多个衬底正交交点处的晶体缺陷去除并形成矩用该方法拼接生长后能够得到拼接晶体多个衬底正交交点处无晶体缺陷的大尺寸单晶金刚石2将单晶金刚石衬底紧密摆放后放入微波等离子体设备的样品台中，抽真空后通入反应气2.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特3.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特4.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特5.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特6.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特7.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特8.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特9.根据权利要求1所述的一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，其特相沉积法，条件为温度900-1200℃,气压100～140torr，功率4～6kW，氢气流量500-3外延方法虽然可以获得较低的缺陷密度（约104-5/cm2但受限于单晶衬底的尺寸，大尺寸单晶金刚石的制备通常是采用将多个晶体取向一致的单晶金刚石拼接生长的方法来实现，的大面积单晶金刚石接缝处出现亚晶界甚至是缝隙，造成该区域的位错缺陷和应力集中，加紧密；专利CN104878447A描述了一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方4气相沉积法，条件为温度900-1200℃,气压100～140torr，功率4～6kW，氢气流量500-5[0028]图3是4片9×9mm2单晶金刚石一次化学气相沉积生长后拼接中心点的光学显微镜[0030]图5是4片9×9mm2单晶金刚石二次化学气相沉积生长后拼接中心点的光学显微镜6温度950℃,气压110torr，功率5.5kW，氢气流量700sccm，甲烷流量30sccm，氮气流量方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本发明和简化描述，789
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2025贵州思州润峰建设投资（集团）有限公司招聘工作人员拟聘用人员笔试历年参考题库附带答案详解
- 2025菏泽市国资委面向社会公开招聘市属企业工作人员（60名）笔试历年参考题库附带答案详解
- 2025科衡信息产业有限公司招聘10人笔试历年参考题库附带答案详解
- 2025福建福州建工国际贸易有限责任公司（第一批）招聘2人笔试历年参考题库附带答案详解
- 幼儿园公开课教学反思范文
- 化学改良剂对盐碱地效果论文
- 一元二次方程课时教学设计模板
- 高中物理 第二章 恒定电流 8 多用电表的原理教学设计 新人教版选修3-1
- 江苏省靖江市七年级生物下册 9.1 植物体的构成教学设计 （新版）苏科版
- 合肥市包河区(2025年)网格职员考试题及答案
- 牛保才事迹课件
- 【全科医学概论5版】第04章 以家庭为单位的健康照顾
- 超星尔雅学习通《中华民族共同体概论（云南大学）》章节测试附答案
- 印刷行业佣金合同范本
- 2025年湖南省事业单位招聘考试教师招聘体育学科专业知识试卷
- 第一次月考试卷(Unit1-2)(含答案含听力原文无听力音频)-2025-2026学年人教版PEP(三起)英语五年级上册
- （正式版）DB23∕T 1318-2020 《黑龙江省建设施工现场安全生产标准化实施标准》
- 腹壁切口疝诊疗指南（2024版）解读课件
- 晚期肿瘤病人护理
- 汽车维修厂安全生产教育培训内容
- 咳嗽与咳痰讲课件
评论
0/150
提交评论