策略深度报告：十大未来产业系列之七-原子级制造

内容目录原子级制造 4概念界定与范式跃迁 4原子级制造的核心原理和技术体系 5原子级制造的发展历程 6全球与中国原子级制造产业现状及市场空间 8全球竞争格局 8中国“四轮驱动”布局 10政策引领：从中央顶层设计到部委专项部署 10联盟协同：产学研用一体化 10“揭榜挂帅”：聚焦19项重点任务 基础研究：高校、国家实验室体系与大科学装置 市场规模与增长空间 苏州市原子级制造产业 12苏州市“10+10”产业体系顶层设计 12苏州市原子级制造产业现状 13产业承接基础 13本地企业梯队 15相关标的 16A股市场相关标的 16H股市场相关标的 17苏州市原子级制造相关标的 19风险提示 20图表目录图1：原子级制造的核心原理和技术体系 6图2：全球原子级制造领域研究最新成果 8图3：2025年全球原子级制造产业市场份额 9图4：全球原子级制造市场规模预测 12图5：全球ALD市场规模预测 12图6：苏州市原子级制造产业承接基础 15表1：原子级制造的发展历程 7表2：国家级原子级制造产业政策梳理 10表3：苏州市原子级制造产业政策梳理 13表4：A股市场相关标的 17表5：H股市场相关标的 18表6：苏州市原子级制造相关标的 1920254.9GDP比重，在GDP“1030”产“双十产业”商业6G原子级制造概念界定与范式跃迁0.1—0.523相当于在41（精度0.1—100nm）的终极目标——在量子化学领域有望将固氮酶活性中心等自然界复杂结构从理论变为原子级制造的核心原理和技术体系批量原子操控STM、STEM//能场原子级去除与改性EUV原子级构筑体缺陷控制与修复图1：原子级制造的核心原理和技术体系原子级制造技术白皮书原子级制造的发展历程表1：原子级制造的发展历程第一阶段：理论奠基阶段第二阶段：技术发展阶段第三阶段：第四阶段：产业化萌芽阶段（1960s）（1980s-1990s）（2010-2020）（2020至今）1959年物理学家费曼202411在著名演讲《底下的空1980年代扫描隧道2018年中国科学院“功造创新发展联盟”成立，间还大得很》中首次预显微镜的发明为原子能导向的原子级制造”我国原子级制造进入有言原子尺度操控的可操控提供关键工具先导专项组织加速创新发展的全能性新阶段1984年王广厚院士2018年南京大学成立2025年工信部在原子级团簇物理基础研究启全国首个原子制造创制造领域部署“揭榜挂动新研究中心帅”19项任务1989IBM

学术界提出制造三范（尺度制造，为规模化精准操作奠定了基础

现代工艺向埃米/料的核心技术中国科学院物理研究所，南京大学官网等实验室向工程化跨越这一关键窗口期的实质性开启——这些突破分别在前文所述的科205年9DaqIMECNature12英寸CMOS99%99.9%T₁9.5在原子级构筑方面，20265NatureCrSBr20150nm×100nm×13nm4，20261Nature4级单层MoS25179个月在轨运行后数据传输误码率仍低于10⁻⁸，预计在地球同步轨道辐射环境下寿命约271SOI100图2：全球原子级制造领域研究最新成果Nature全球与中国原子级制造产业现状及市场空间全球竞争格局202512.7SPM与4.92025年已拥有全球19%的国际标准工作组。东亚与荷兰形成规模化推进力量，荷兰ASMLEUV7nmPicoSun（DEMI数据显示202614，365.520261已超过150家，尚未形成绝对垄断巨头，技术路线多元化、竞争与合作并存。图3：2025年全球原子级制造产业市场份额IIM信息——从EUV3nmGAA2026142015AP（（Chips2023430203020%13项320TRHghehAgenaDeuhanCEACEA-LetiJST2018中国“四轮驱动”布局+揭榜挂帅+基础研究”的四轮驱动发展格局。表2：国家级原子级制造产业政策梳理政策件名 发布间 发布门 主要容将原子级制造纳入未来产业名词，标志原子级制党的十三全《定》 2024/7 党中央工业和信息《推动未来产业创新发展的实

造正式上升为国家战略明确将前沿新材料纳入未来产业核心领域，原子施意见》《原子级制造创新发展实施意（2025—2030年征求意见稿）

2024/12024/9

化部等七部门工业和信息化部

级制造作为细分方向获得政策支持就原子级制造专项政策公开征求意见，部署中长期发展目标与重点任务2024年全国工业和信息化工作

工业和信息会议部署化部 展政会议部署化部 展政”未来产业“1+N”政策体系2025/3 工业和信息 明策系统进子制造化部 产业展《中华人民共和国国民经济和社会发展第十五个五年规划纲新材料被列为重点战略性新兴产业，原子级制造2026/3 要》

明确“2025年制定出台原子级制造等领域创新发研发与产业化迎来更大政策支撑政府官网产业联盟是连接产学研用的重要纽带，推动原子级制造技术协同创新与成果转化。2024年11月，由工业和信息化部指导，近百家高校、科研院所和企业共同发起的“原子级制造创新发展联盟”揭牌成立，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当选首9项重点任务202519200—300kV场发X201835+Stark——（12001000“-制造应用市场规模与增长空间202512.765%IIM203098.42025-203041.8%SEMI20261659（同比增长23.2、0282295（）2061439Foundry/LogicWFE20267802nmGAAWFEALD202442.66QYResearch203191.912025-2031。图4：全球原子级制造市场规模预测 图5：全球ALD市场规模预测全球原子级制造市场规模预测98.412.798.412.7市场规模（亿美元）市场规模（亿美元）806040200

市场规模（亿美元）90市场规模（亿美元）80706050403020

全球ALD市场规模预测

42.6691.9142.662024 2026 2028 2030 2032

2023 2025 2027 2029 2031IIM信息 SEMI2026365.5年3.65400球第二。先进制程设备与原子层沉积核心装备由M、东京电子（TL、应用材料（AMAT）等欧美日企业主导，国际市场份额长期较为集中。苏州市原子级制造产业苏州市“10+10”产业体系顶层设计表3：苏州市原子级制造产业政策梳理政策件名 发布间 发布门 主要容明确将前沿新材料、光子芯片与光器件等八大领《关于加快培育未来产业的工

2023/9/2

202361号）苏州市“1030”产业体系2024/1《中共苏州市委关于制定苏州市国民经济和社会发展第十五2025/12/17个五年规划的建议》苏州市“10+10”产业体系2026/3/20苏州市人民政府

域列为重点未来产业，为原子级制造纳入政策体系奠定基础重点打造10个千亿级产业集群、30个百亿级市委

提出推动原子级制造等产业加快形成新的经济增长点，争创国家级未来产业先导区政府官网

苏州市人民政府2026/7/10民政府

发布十大重点新兴产业与十大重点未来产业名单，原子级制造正式纳入十大重点未来产业明确到2030年战略性新兴产业产值占规上工业52%、高新技术产业占60%，力争培育一批百亿级未来产业，为原子级制造产业发展提供了明确的政策指引与发展预期苏州市原子级制造产业现状产业承接基础苏州发展原子级制造产业具有独特的优势与基础，形成了“应用承接202417001400图6：苏州市原子级制造产业承接基础政府官网，南京大学官网 等本地企业梯队当前，苏州原子级制造产业整体仍处于孕育期纳微科技永鼎股份2微睿科技、博理新材料3D苏州纳米城相关标的A股市场相关标的A表4：A股市场相关标的相关领域公司名称证券代码市值亿元地区申万三级行业原子级制造核心业务原子级刻蚀/薄膜沉积装备中微公司688012.SH3,448上海市浦东新区半导体设备主营刻蚀设备、MOCVD设备等先进半导体装备，其中等离子刻蚀技术实现纳米级甚至原子尺度材料精准去除原子级薄膜沉积装备北方华创002371.SZ5,126北京市大兴区半导体设备覆盖刻蚀、PVD、CVD、清洗等半导体核心装备，其中薄膜沉积设备支持原子层级厚度控制原子级材料加工江丰电子300666.SZ606浙江省宁波市半导体材料专注高纯溅射靶材研发制造，为先进芯片制造提供纳米级薄膜沉积材料原子级薄膜材料沪硅产业688126.SH804上海市中国(上海)自由半导体材料半导体硅片生产，产品覆盖300mm大硅片制造等纳米材料制造天岳先进688234.SH438山东省济南市半导体材料聚焦第三代半导体碳化硅衬底材料，通过晶体生长、缺陷控制和精密加工技术，实现微纳尺度材料性能调控原子尺度检测精测电子300567.SZ557湖北省武汉市仪器仪表提供半导体检测设备，包括晶圆检测、量测设备等，通过高精度检测实现纳米级工艺控制精密加工/CMP鼎龙股份300054.SZ663湖北省武汉市电子化学品Ⅲ研发CMP抛光垫、抛光液等关键材料，用于晶圆表面原子级平坦化处理（注：时间截至2026年7月30日）H股市场相关标的A表5：H股市场相关标的相关领域公司名称证券代码市值亿港元地区申万三级行业原子级制造核心业务半导体制造/先进制程中芯国际0981.HK5,753上海市浦东新区集成电路制造晶圆代工，覆盖14nm及以下先进制造工艺半导体材料华虹宏力1347.HK2,377上海市张江高科技园区集成电路制造特色工艺晶圆制造，具备先进嵌入式存储、功率器件制造能力精密制造ASMPT0522.HK574新加坡半导体设备半导体封装设备，先进封装、键合及晶圆级制造装备半导体设备晶门半导体2878.HK7中国香港新界集成电路设计显示驱动芯片设计，产品应用于微显示领域（注：时间截至2026年7月30日，晶门半导体按中证行业划分）苏州市原子级制造相关标的表6：苏州市原子级制造相关标的相关领域公司名称证券代码市值亿元地区申万三级行业原子级制造核心业务纳米微球纳微科技688690.SH142苏州市吴中区工业园区原料药纳米微球材料研发与产业化，产品涵盖色谱填料、单分散纳米微球等高性能材料超导材料永鼎股份600105.SH449苏州市吴江区汾湖高新区通信线缆及配套光纤光缆、光电子器件及相关材料制造，涉及高纯玻璃材料、精密拉丝及微纳结构控制工艺石墨烯德尔未来002631.SZ51苏州市吴江区瓷砖地板石墨烯及功能材料研发应用，通过纳米材料改性、复合材料制备等技术探索先进材料产业化方向光电显示薄膜器件锦富技术300128.SZ55苏州市吴中区工业园区消费电子零部件及组装光电显示模组、精密结构件及相关电子材料制造，具备微纳加工、精密贴合、光学膜材处理等制造能力原子级检测与测量华兴源创688001.SH218苏州市吴中区苏州工业园区仪器仪表提供工业自动化测试设备与整线系统解决方案，主营消费电子检测及自动化设备、半导体检测设备制造半导体激光芯片长光华芯688048.SH443苏州市虎丘区高新区分立器件聚焦半导体激光芯片的研发、设计及制条系列、VCSEL及光通讯芯片系列功率器件东微半导688261.SH84苏州市吴中区工业园区分立器件以高性能功率器件研发与销售为主，产品专注于工业及汽车相关等中大功率应用领域MEMS传感器敏芯股份688286.SH31苏州市吴中区工业园区模拟芯片设计MEMS声学传感器、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器模拟芯片纳芯微688052.SH323苏州市吴中区工业园区模拟芯片设计聚焦高性能模拟集成电路研发和销售，产ASIC传感器芯片等原子级测量与标准胜科纳米688757.SH117苏州市吴中区工业园区检测服务半导体第三方检测分析领域专业服务商，主营失效分析、材料分析、可靠性分析等原子级制造装备博众精工688097.SH181苏州市吴江区经济技术开发区其他自动化设备自动化设备、自动化柔性生产线以及工装夹（治）具等产品的研发、设计、生产、销售及技术服务前驱体南大光电300346.SZ355苏州市吴中区工业园区电子化学品Ⅲ先进前驱