化学品供应系统简介

ChemicalSupplySystem

化学品供应系统简介

课程大纲系统之目的化学品之种类与用途系统之基本要求化学品供应质量要求系统之流程图CDU之流程图TEE-BOX之构造VMB之构造SAMPLINGBOX之构造系统设备之材料要求运转操作注意事项系统之目的供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件化学品之种类与用途(一)酸性:腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...碱性:NH4OH,KOH,Developer...有机溶剂易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...氧化性:HNO3,H2O2...化学品之种类与用途(二)系统之基本要求化学品供应质量要求系统之流程图(一)CCBStorge

Tank

12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote

1m3200LDrum化学槽车充填衔

接站将化学品由

槽车以N2加压直

接输送至Tank适合使用量较

大之化学品,如

H2O2,H2SO4等适合使用量中

等之化学品,如

HF,H3PO4等适合使用量较

小之化学品,如

BOE,HNO3等将化学品经循环

过滤,再经N2或

Pump加压输送

至有需求之生产

机台内将化学品经管路分

配至不同生产机台S可依实际用量需求选择使用TeeBoxSamplingBox系统之流程图(二)ProvidedBySystemsChemistry,INCFMCSOCPHUBCDUVMBToolTeeBox系统之流程图(三)TOOL

机台OCPSCADA

ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加强讯号循环过滤25”后供酸启动CDU循环过滤后，同时由OCP供应GN2，

打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOLCHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE供酸VMB泄漏警报系统之流程图(四)ToolSideOCPSideTroubleReadyStopRequestElectricSignalInterfaceBetweenBCDS&ToolEMO1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP．

2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应

若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号

3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品．+24V+24V+24VCCB之流程图ProvidedByNOVAGN2

inletStorage

Tank充填槽车CDUCDU之流程图(型一)ProvidedByNOVAOutletPumpTransfer

FilterSupply

FilterGN2

inletCDA

inletDrumDayTankTankCDU之流程图(型二)ProvidedBySystemsChemistry,INCOutletDrumTankPumpTrans/Rec

FilterSupply

FilterTEE-BOX之构造主管路主管路VMBDrainPort手动阀箱体内侧下方装

设泄漏侦测器ProvidedByNOVA1.箱体以PP制成

2.CPVC外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸碱类适用VMB之构造箱体内侧下方装

设泄漏侦测器DrainPortinletToToolsCDAinletFrom

OCPto气动阀ForTheFutureUsePurgeinletDrainPortExhaust气动阀手动阀保养管路时需先

以PN2将化学品

Purge至机台端

Drain4132ProvidedByNOVA1.箱体以PP制成

2.CPVC外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸碱类适用SAMPLING-BOX之构造1.将取样瓶置入,并关闭

箱门2.按压按钮,再打开取样

手动阀3.化学品流出达需求之

量后,关闭手动阀,放开

按钮4.打开箱门,盖上瓶盖,取

出取样瓶5.清洁取样箱按钮手动阀箱体内侧下方装

设泄漏侦测器DrainPortinletProvidedByNOVA1.箱体以SUS制成

2.钢丝玻璃外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合有机溶剂类适用系统设备之材料要求一般无机酸碱类外管：CPVC内管：PFAPiping&Tubing管件：铁弗龙材质制品有机溶剂类外管：SUS304内管：SUS316LEP管件：SUS316L以上制品有机碱类外管：SUS304内管：PFAPiping&Tubing管件：铁弗龙材质制品运转操作注意事项(一)充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施工作前，先行思考及演练各细节后，再行动工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认正确选用及使用适当防护器具正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害良好个人安全卫生环保习惯认知工作安全”意外”意识运转操作注意事项(二)熟知化学品泄漏处理七项步骤远离泄漏源辨示泄漏状况寻求协助支持管制隔离污染区拯救伤员围堵外泄物清除污染物及环境检测事故调查记录留存运转操作注意事项(三)熟知化学品淋溅烧伤之急救处理稀释、去除