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IJJF(津)149-2025 JJF(津)149-2025JJF(津)149-20251JJF(津)149-2025254表1发生装置的计量特性指标计量特性计量特性指标1流量示值误差临界流喷嘴流量控制器：不超过±1.0%热式气体流量控制器：不超过±1.0%FS2流量重复性不大于0.5%3渗透炉温度示值误差不超过±0.4℃JJF(津)149-20253计量特性计量特性指标4渗透炉温度波动度10min内不超过±0.1℃5输出气体浓度误差不超过±3%注：根据发生装置功能选择校准项目，以上计量特性指标不用于合格性判别，仅供参考。JJF(津)149-20254计算临界流喷嘴流量控制器流量示值误差，按式（2）计算热式气体流量控制器流量示值JJF(津)149-20255AT=T;-T（4） JJF(津)149-20256），JJF(津)149-20257委托单位单位名称仪器信息仪器名称单位地址仪器型号联系人联系电话生产厂家校准地点环境温度校准日期相对湿度证书编号原始记录编号校准依据校准人员本次使用的主要计量标准器具规格型号不确定度/准确度等级/最大允许误差器具编号有效性确认流量设定值流量标准装置示值（mL/min）平均值流量示值误差流量设定值流量标准装置示值（mL/min）平均值重复性JJF(津)149-20258温度设定平均值温度示值误差温度波123456气体浓度设定值气体浓度分析值(μmol/mol）平均值输出气体浓度误JJF(津)149-2025流量设定值流量测量值流量示值误差校准结果的不确定度第×页共×页JJF(津)149-2025 JJF(津)149-2025表C.1测量结果流量设定值流量控制器示值（mL/min） 表C.2标准
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