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文档简介

项目11晶圆测试工艺【任务实施】扎针测试实施1.领料确认按单领料测试员须严格依据领班安排及扎针测试任务工单，从指定的氮气柜中领取晶圆花篮与探针卡等核心物料，这是确保测试任务准确执行的第一步，杜绝错领、漏领。领取物料后，需立即清点花篮内的晶圆数量，并使用专用晶圆镊子取出晶圆，仔细核对晶圆的规格信息和印章批号，确保其与工单要求完全一致，避免批次混淆。清点与核对【任务实施】扎针测试实施1.领料确认在核对晶圆片号无误后，应将晶圆精准地放置在花篮中对应的位置，保证物料管理的有序性，为后续自动化上片流程提供便利，避免因位置错乱导致生产中断。规范取放操作正确定位放置操作时应采用“握笔式”姿势使用晶圆镊子，确保镊子短边在晶圆正面、长边在背面，且夹取位置为晶圆的空白边缘区域，此举旨在严防对有效区域造成任何物理损伤。【任务实施】扎针测试实施2.安装探针卡打开探针卡包装，在探针台的安装探针卡位置进行安装安装探针卡【任务实施】扎针测试实施3.参数设置在探针台界面进行参数设置、调取装片程序等。【任务实施】扎针测试实施02010403执行样本首检4.设备运行首检结果确认合格后，方可解除暂停状态，让探针台继续运行，完成对该晶圆剩余晶粒的批量测试。若首检不合格，则需立即排查原因并调整，之后重新进行首检。启动自动测试设备运行初期（如完成约500颗晶粒测试后）必须暂停，进行首检。此举是前置的质量控制环节，能及时发现并纠正设置错误，从而有效防止更大规模的批量性问题。恢复批量生产在确认所有参数设置无误后，执行晶圆自动上片动作，随后在操作界面上单击"START"按钮，正式启动探针台，设备开始按照预设程序进行全自动扎针测试。通过显微镜观察首检样本的扎针情况，仔细评估针印的位置是否准确、形状是否规整、深度是否适中。合格的针印是保证良好电性接触和测试数据可靠性的基础。评估针印质量单击“START”按键启动探针台首检结果判断【任务实施】扎针测试实施5.结批01030204在产品的流转随件单上，清晰、准确地填写“测试片号”、“测试情况摘要”、“良率”等关键信息，作为该批次产品质量状态的正式凭证，并由测试员签字确认。数据记录核对成品入柜存放在本批次所有晶圆的扎针测试作业全部完成后，测试员必须第一时间对设备生成的测试数据和记录进行仔细核对，确保测试过程无异常，数据完整准确。填写随件单据所有信息填写完毕后，测试员需再次确认所有内容的准确性，然后在随件单的相应位置郑重签名，此签名代表对该批次测试结果的最终确认与负责。信息确认与签字将已完成结批手续、

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