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基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及其测量明光通过第二声光移频器的调频后入射到合束够实现外差干涉技术与光谱共焦显微技术的结2的反射照明光路与透射照明光路的汇合方向上，第二分束器设置在合束器的合束方向上，可调谐激光器用于发射不同波长的单色光，第一分束器用于将;3高斯峰提取模块通过使用最小二乘法拟合每个高斯峰峰值位置获取模块用于获取两个光斑的重叠区域所对应的高斯峰7.一种利用权利要求1~6中任一项所述的基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统实现S1：可调谐激光器根据波长调制函数发射不同;4S4：使用最小二乘法拟合每个高斯峰的参数，根据式中，A(t)表示t时刻的波长；入min和Amex分别表示扫描范围的最小波长和最大波5接触式的高精度位移测量和表面检测。由于光谱共焦传感器利用了共焦光学系统的特点，6;7;8[0019]式中，A(t)表示t时刻的波长；入min和Amex分别表示扫描范围的最小波长和最图1是根据本发明创造实施例所述的基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统的结基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另9[0030]可调谐激光器1根据波长调制函数发射不同波长的单色光，单色光通过第一分束[0031]可调谐激光器1根据波长调制函数调制输出不同波长的单色光，不同波长的单色光会按照预定时间顺序线性变化（例如400nm_700nm的连续扫描从而实现对样品17的精[0033]式中，A(t)表示t时刻可调谐激光器1输出的波长；入min表示扫描范围的最小波[0034]第一声光移频器3与第二声光移频器9通过内部的声光衍射效应对光束的频率进。[0046]上述内容详细说明了本发明创造实施例提供的基于外差干涉的光谱共焦位移测-AZ以第一扩束透镜和第二扩束透镜的焦点位置进行区分，位于焦点之前为+AZ，位于焦点之后为-AZ，(x,J,3)表示物空间中的位置，表示照明光场[0050]根据光波的叠加原理，在空间中两个光波重叠区域的成像的三维强度分布可表示为：[0051]式中，表示像空间中的位置，AO表示两个点光源之间的频率差，表示两个点光源经样品反射到光电探测器之间的。。如，本发明公开中记载的各步骤可以并行地执行也

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