CN119395945A 感光性树脂组合物、感光性元件、配线基板的制造方法及感光性元件卷 （株式会社力森诺科）

PCT/JP2020/0063462020.02.1202080018491.62020.11.12本发明的感光性树脂组合物含有具有基于2所述感光性树脂组合物含有具有基于(甲基)丙烯酸芐酯的结构单元的粘合剂聚合物、所述感光性树脂组合物中的所述香豆素系敏化剂的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量100质量份为0.01～所述香豆素系敏化剂的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量在所述粘合剂聚合物中，基于苯乙烯的结构单元的含有比例以3所述感光性树脂组合物中的所述聚合抑制剂的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量100质量份为0.003所述感光性树脂组合物中的所述聚合抑制剂的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量100质量份为0.001所述2,6二叔丁基对甲酚的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物所述2,6二叔丁基对甲酚的含量相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物所述光聚合性化合物含有双酚A型二(甲基)丙烯酸在所述基板的未形成所述抗蚀剂图案的部分形成24.一种感光性元件卷，其具备巻芯和卷绕于4性元件的形态被使用，但是根据本发明人等的研究，在感光性树脂组合物含有DBA时导致[0010]并且，含有DBA的感光性树脂组合物在形成对基板具有优异的密合性的抗蚀剂图5[0017]在上述感光性树脂组合物中，上述粘合剂聚合物可以具有基于苯乙烯的结构单上述聚合抑制剂的含量相对于上述粘合剂聚合物及上述光聚合性化合物的总量100质量份量在上述范围内，因此能够以更高水平兼具抗蚀剂图案的优异的密合性和良好的图案形6[0025]在上述感光性树脂组合物中，上述光聚合性化合物可以含有双酚A型二(甲基)丙7例以构成(A)成分的单体的总量为基准优选为10～60质量更优选为15～55质量进一使含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层对电路形成用基板的密合性及抗蚀剂剥[0043]基于苯乙烯的结构单元的含有比例以构成(A)成分的单体的总量为基准，从进一结构单元的含有比例以构成(A)成分的单体的总量为基准可以为10～40质量可以为15[0047]关于(A)成分的酸值，从能够适当地显影的观点考虑，可以为60mgKOH/g以上、[0049]重均分子量及分散度例如能够通过凝胶渗透色谱法(GPC)并使用标准聚苯乙烯的8聚乙氧基)苯基)丙烷(2,2_双(4_((甲基)丙烯酰氧基五乙氧[0057]从进一步提高分辨率及剥离特性的观点考虑，(B)成分可以包含2,2_双(4_((甲基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷或2,2_双(4_((甲基)丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙[0058]从抗蚀剂的分辨率进一步提高的观点考虑，双酚A型二(甲基)丙烯酸酯化合物的含量以(B)成分的总量为基准可以为60质量％以上或70质量％以上，也可以为99质量％以[0061]从灵敏度及分辨率进一步提高的观点考虑，(B)成分的含量以感光性树脂组合物9[0067]从灵敏度及密合性进一步提高的观点考虑，(C)成分的含量以感光性树脂组合物的固体成分总量为基准可以为1质量％以上、2质量％以上或3质量％以上，也可以为10质[0075]从分辨率及光灵敏度的观点考虑，由通式(1)表示的香豆素化合物更优选为由下举由下述通式(3)表示的化合物及由下述通式(4)表示的化及Z12与上述相同。组合使用作为(D)成分的由通式(4)表示的化合物和作为(A)成分的具有基于(甲基)丙烯酸[0088]从抑制抗蚀剂图案形成时未曝光部中的聚合，并进一步[0089]作为聚合抑制剂，例如可以列举邻苯二酚、间苯二酚(resorcinol)(间苯二酚[0094]感光性树脂组合物中的抗氧化剂的含量相对于(A)成分及(B)成分的总量100质量[0095]从调整粘度的观点考虑，感光性树脂组合物还可以含有1种或2种以上有机溶具备支撑体2、设置于支撑体2上的感光性树脂层3及设置于感光性树脂层3的与支撑体2相如可以具有1.014g/cm以下的密度。支撑体2及保护层4可以分别是通过拉伸该低密度的烃[0100]这些聚合物膜分别能够作为例如TeijinLimited制的PS系列(例如PS_25)等聚对苯二甲酸乙二酯膜、TAMAPOLYCO.,LTD.制的NF厚度可以为1μm以上或5μm以上，从隔着支撑体2进行曝光时也能够适当地进行曝光的观点[0103]感光性树脂层3由上述感光性树脂组合物组成。从涂布变得容易且生产率提高的观点考虑，感光性树脂层3干燥后(感光性树脂组合物含有有机溶剂时使有机溶剂挥发之后)的厚度可以为1μm以上或5μm以上，从密合性及分辨率进一步提高的观点考虑，可以为树脂层3例如能够通过涂布含有有机溶剂的感光性树脂组合物而形成涂布层并干燥该涂布[0107]感光性元件1例如可以为片状，也可以为以卷状卷绕于卷芯上的感光性元件卷的[0108]感光性元件1能够适用于抗蚀剂图案的形成，尤其能够适用于后述配线基板的制[0110]图2是表示一实施方式所涉及的配线基板(也称为印刷配线板)的制造方法的示意[0128]将表1所示的单体以表1所示的配合量瓶内的溶液经30分钟升温至95℃,并在95℃下保温2小时之后，停止搅拌，冷却至室温(25[0150]FA321M(70)：2,2双(4(甲基丙烯酰氧基乙氧基)苯基)丙烷(环氧乙烷平均[0151]FA137M：EO改性三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(ShowaDenkoMaterialsco.,[0161]BHT：2，6一二一叔丁基一对甲酚(抗氧化剂、FUJIFILMWakoPureChemical[0163]SF_808H：羧基苯并三唑、5_氨基_1H_四唑、甲氧基丙醇的混合物(SANWAKASEI[0171]作为支撑体准备厚度16μm的聚对苯二甲酸乙二酯膜(TeijinLimited制、商品名名称)对将铜箔(厚度：35μm)层叠于两面的玻璃环氧材料即覆铜箔层压板(基板、Showa[0176]感光性树脂层的吸光度是使用UV分光光度计(HitachiHigh_Technologies