CN119396238A 一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统 （成都晶宝时频技术股份有限公司）

一种晶体元器件的固化过程的气体监测调通过实时采集固化隧道炉内的温度数据和氧气含量数据进行温度稳定性分析以及含氧量趋势分析。在温度不稳定或者含氧量上升至警戒线平或者温度出现异常波动导致的一个批次的石2获取固化隧道炉内部的当前时间段中多个时间点的温度数据和氧气含量数据，其中，基于所述多个时间点的温度数据确定所述当前时间段的温度稳定性个时间点的氧气含量数据确定所述当前时间段的氧在所述当前时间段的温度不稳定时，基于预设的温度调节单2.根据权利要求1所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在计算每个时间点的温度平均值与预设的温度参;在所述方差大于预设的方差阈值，或者，所述平均值mean(Ir?-T,l)大于3.根据权利要求1所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在将多个时间点的氧气含量平均值映射至二维坐标系中，其中，所述二维基于预先构建的滑动窗口沿所述时间轴滑动，并在每次滑动时，计4.根据权利要求1所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在AQ=CXMX(TW-T0)，c为所述固化隧道炉惰性保护气体的比热容，M为所述固化隧道S13，基于所述热量调节值AQ计算所述温度调节单元内的惰性保护气体的目标温度为所述温度调节单元内的惰性保护气体的质35.根据权利要求4所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在r在，将差值.Ttarger-TO拆分，得到"或者n+1个温差调节值，其中，Tmoer-TO=nxB+v，或者，Tiarger-TO=nxB，为最后一个温差调节值；基于n或者n+1个温差调节值计算所述温度调节单元内的惰性气体的温度，打开所述固化隧道炉的排隧道炉内部气压平衡并完成温度调节。6.根据权利要求1所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在S24，在当前时间段的氧气含量仍为上升趋势，且当前时间点的氧气含量触发警戒线7.根据权利要求4所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在8.根据权利要求6所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在9.根据权利要求1所述的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法，其特征在4所述固化隧道炉的进气端和所述固化隧道炉的排气获取模块，用于获取固化隧道炉内部的当前时间段中多个时间监测模块，用于基于所述多个时间点的温度数据确定所述当前时间段的温度稳定性，调节模块，用于在所述当前时间段的温度不稳定时5至较高水平或者温度出现异常波动，隧道炉内的所有石英晶体半成品都会质量下降或报述多个时间点的氧气含量数据确定所述当前时间段的氧计算每个时间点的温度平均值与预设的温度参考值的差值的绝对值;6;AQ=CXMX(TW-T0)，c为所述固化隧道炉惰性保护气体的比热容，M为所述固化隧道S15，计算目标时间点的温度值与预设的温度参考值的差值T.-Ti；在差阈值。7"或者n+1个温差调节值，其中，或者n+1个温差调节值计算所述温度调节单元内的惰性气体的温度，打开所述固化隧道炉[0011]在本申请一实施例中，在无法完成对所述固化隧道炉内部的气体温度进行调节所述固化隧道炉的进气端和所述固化隧道炉的排气8图2是本申请一实施例中示出的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法图3是本申请一实施例中示出的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节系统[0018]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构石英晶片与外部基座或支架之间的稳定连接，这对于维持石英晶体谐振器的性能至关重[0021]本申请通过隧道炉创造温湿度稳定且低含氧量的条件，以对石英晶片进行固元140调节固化隧道炉110中的温度和氧气浓度，调节单元140同时作为温度调节单元和氧[0023]固化隧道炉110设有进气端120和排气端130，固化隧道炉110的进气端120与调节9固化隧道炉110的进气端和固化隧道炉110的排气端均设有电控阀门160。固化隧[0024]图2是本申请一实施例中示出的一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法基于所述多个时间点的氧气含量数据确定所述当前时间段的[0028]S2203，计算多个时间点的差值的绝对值的方差和平均值;[0030]本申请为了保证固化隧道炉内部的温度恒定，在温度稳定性较差或者温差较大AQ=CXMX(TW-T0)，c为所述固化隧道炉惰性保护气体的比热容，M为所述固化隧道温度参考值所需的热量。在这个热量基础上，增加调节量AQ，得到调节后的热量S141，计算所述目标温度Ttarget与所述预设的温度参考值的差值的绝对值;S142，在ITimger-TolsB，将所述温度调节单元内的惰性气体加热至目标温度阈值；或者n+1个温差调节值计算所述温度调节单元内的惰性气体的温度，打开所述固化隧道炉[0039]在，表示此时调节单元内的温度与固化隧道炉内的温度温差较[0040]S15，计算目标时间点的温度值与预设的温度参考值的差值T.-Ti；在[0046]如图3所示，本申请还提供一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节系统，包[0051]在本实施例中，存储器可能包含随机存取存储器(RandomAccessMemory，简称[0052]上述的处理器可以是通用处理器，包括中央处理器(CentralProce简称CPU)、网络处理器(NetworkProcessor，简称NP)等；还可以是