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文档简介
一种钙钛矿薄膜气体钝化方法及叠层太阳本发明提供了一种钙钛矿薄膜气体钝化方内部缺陷,有效抑制宽带隙钙钛矿的相分离现象,提升晶硅/钙钛矿叠层太阳能电池的光电转23.根据权利要求1所述钙钛矿薄膜气体钝化方法,其特征在于,控制所述加热温度为层和减反射层,所述钝化层采用权利要求1~3任一项所述的钙钛矿薄膜气体钝化方法制备3二甲基_4,7_二苯基_1,10_菲啰啉(BCP)中的提供一绒面晶硅衬底,在所述绒面晶硅衬底背面制备基底钝化层,在所明电极层表面制备第一金属电极层;以及在所述绒面晶硅衬底表面制备基底表面钝化层,在所述基底表面钝化层表面制备N型基底掺杂层,在所述N型基底掺杂层表面制备隧穿层,3法能够有效钝化宽带隙钙钛矿薄膜在稳态情况下产生的缺陷缺乏钝化效果,从而很难进一步提升晶硅/钙钛矿叠层太阳电池的光电转换效4钛矿薄膜中已经存在的缺陷,还能对于钙钛矿在高温情况下可能产生缺陷的位点进行钝[0021]在本实施例中,所述空穴传输层为聚[双(4一苯基)(2,4,6一三甲基苯基)胺][0022]在本实施例中,所述电子传输层为氧化锌(ZnO)、二氧化锡(SnO2)、二氧化钛2[0025]在本实施例中,所述第一金属电极层和第二金属电极层为银(Ag)、金(Au)、铜5[0026]在本实施例中,所述减反射层为氟化镁、氟化锂(LiF)、氟化钠(NaF)、氧化硅2)中的至少一种组成。底样片放置于掩模版上进行蒸镀,蒸镀真空度6层沉积设备沉积至电子传输层表面,沉积真空度为0_1×104Pa性能及稳定性。本申请实施例通过高温加热使得所制备得到的钙钛矿薄膜处于亚稳态状于钙钛矿在高温亚稳态状态下有可能产生缺陷的位点进行钝化,进一步提升了钝化效果,抑制宽带隙钙钛矿的相分离现象,提高晶硅/钙钛矿叠层太阳能电池的光电转换效率和稳7[0057]请参阅图1,本申请实施例提供一种钙钛矿薄膜气体钝化方法,提供一电池基底面制备基底表面钝化层115,并在所述基底表面钝化层115通过氮源进行扩散形成N型基底[0065]在上述P型基底掺杂层112表面采用磁控溅射法制备所述第一透明电极层111,所8透明电极层111表面,制备所述第一金属电极层110,所述第一金属电极层110的厚度为[0075]所述钝化层213采用热注入气体钝化工艺制备,将上述步骤得到的基底样片置于制备所述缓冲层215,所述缓冲层215的厚度为15nm,其中,所述沉积的真空度为0.5×[0083]将上一步骤制备的基底样片置于掩模版上,在所述第二透明电极层216表面采用9[0087]本实施例与实施例2中所述叠层太阳能电池的制备过程相同,区别为本实施例中[0089]本实施例与实施例2中所述叠层太阳能电池的制备过程相同,区别为本实施例中[0091]本对比例中叠层太阳能电池的制备方法与实施例2基本一致,区别为本对比例中实施例129.519.70.8实施例230.819.60.3实施例330.219.70.5对比例129.119.52.1钛矿薄膜激发为亚稳态状态再进行气体钝化处理,不
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