CN119403644A 利用激光的微加工装置及方法 （Iti株式会社）

2024.11.27PCT/KR2023/0101932023.07.17WO2024/019452KO2024.01.25向透射激光束的结晶化的加工对象照射激光束加工对象的内部局部照射激光束来使结晶化的内部可将加工对象的损伤最小化并加工出极小的三维形状以及加工对象的厚度与加工孔的直2光学部，其调节所述激光束的形状，以向所述加工对象的内部通过利用化学物质的化学反应来以化学方式去除形成在所述加工对象的非结晶化的所述激光束向能够透射所述激光束的结晶化的所述加工对象以预先设定的每单位体所述控制部发生控制所述激光束照射部和所述光学部的驱动的控加工对象的加工条件改变所述激光束的形状和所述激光束的脉所述控制部以根据所述加工对象的材质、规格调节所述激光束的波长、所述加工孔形成为从照射所述激光束的所述加工对象的一面朝向相反侧面的直线形所述化学反应炉利用超声波振子来按预先设定的周期向所述加工对象施加超声波振所述超声波振动向与形成于所述加工对象的所述加工孔的方向平行的方所述化学反应炉以使反应溶液活性化的方式利用加热单元来将所述反应溶液和加热步骤(a)，利用激光束照射部向透射激光束的结晶化的加工对象照射激光束来形成加3在执行所述步骤(a)至所述步骤(e)的过程中，利用控制部来控所述激光束向能够透射所述激光束的结晶化的所述加工对象以预先设定的每单位体所述加工孔以使所述加工对象的厚度与所述加工孔的直径的比例达到几倍至几万倍所述加工孔形成为从照射所述激光束的所述加工对象的一面朝向相反侧面的直线形在所述步骤(d)中，所述化学反应炉利用超声波振子来按预先设定的周期向所述加工所述化学反应炉以使所述反应溶液活性化的方式利用加热单元来将所述反应溶液和4[0006]在以下的专利文献2中公开了如下玻璃形状加工装置结构，当对玻璃进行利用激激光束的形状，以向加工对象的内部局部照射上述激光束来使结晶化的加工对象非结晶5加工对象的厚度与上述加工孔的直径的比例达由透射激光束的结晶化的材料形成的加工对象照射每单位体积具有高能量且脉宽极短的象的裂痕或损伤最小化并加工出极微细的三维形状以及加工对象的厚度与加工孔的直径[0028]在本实施例中，说明在具有规定面积和厚度的加工对象的表面和/或内部形成微射激光束来使加工对象非结晶化的状态下，在加工对象的表面或内部加工微细图案之后，6通过利用强酸性或强碱性化学物质等反应溶液的化学反应来高速去除经加工[0032]被用作反应溶液的强酸和强碱在结晶化的材料中通过极缓慢的化学反应来非常度与加工孔中的直径的比例达到几倍至几万倍射部20，向透射激光束的结晶化的加工对象11照射激光束来形成利用加工孔的微细图案；象11的加工条件改变激光束的形状和激光束的脉宽及脉[0047]当向上述结晶化的加工对象11照射每单位体积具有高能量且具有极短脉宽的激7[0049]为此，激光束照射部20可以为根据控制部60的控制信号发生激光的激光束发生[0051]因此，为了使可透射激光束的结晶化的加工对象11的表面和/或内部局部非结晶[0053]或者，激光束也能够以约为10_4秒钟至10_18秒钟的脉宽使结进行化学反应的反应速度，由此通过化学反应来以化学方式去除形成在加工对象的加工8工出极微细的三维形状以及加工对象的厚度与加工孔的直径的比例达到几倍至几万倍的本发明另一实施例微加工成三维形状的加工对象的图。图4[0082]在此情况下，形成在化学反应炉70的超声波振子可根据控制部60的控制信号驱9据控制部的控制信号驱动来将反应溶液和加热对象加热到工出极微细的三维形状以及加工对象的厚度与加工孔的直径的比例达到几倍至几万倍的[0093]加工对象11由厚度约为0.1mm的石英形成，激光束照射部20照射可以释放约为[0095]而且，利用硫酸(H2SO4)或盐酸(HCl)等强酸性反应溶液来以[0096]由此，如图4的(a)部分至(c)部分所示，可以确认在加工对象11微加工出加工孔[0099]激光束的脉宽为10fs，激光束调节部40将激光束与激光束重迭的比例设定成约[0100]而且，利用氢氧化钠或(NaOH)或氢氧化钡(Ba(OH)2)等强碱性反应溶液来以化学[0103]加工对象11由厚度约为730μm的硅晶圆形成，激光束照射部20照射可以释放约为[0104]激光束的脉宽为30fs，激光束调节部将激光束与激光束重迭的比例设定成约部20照射可以释放约为10W的输出的深紫外线(DeepUV)波长的奈秒激光(nanosecond用约为5％的强酸溶液来进行约2小时的蚀刻来以化学方式仅去除形成在非结晶化区域的[0113]其中，如图5的(a)部分至(c)部分所示，加工孔12可以为沿着上下方向的直线形下方向的直线形状和沿着左右方向水平具有的情况下加工出极微细的三维形状以及加工对象的厚度与加工孔的直径的比例达到几倍