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文档简介

13.12343.103.113.123.133.1456应规定存储温度范围，以保持器应规定工作温度范围，在适当的工作温度范围避免引起材料参数的波动进而影响结构的机械特性。部分超出范围的工作场景需可规定存储湿度范围，在适当的存储湿度范围避免引起水汽凝结可规定工作湿度范围，在适当的7工作湿度范围避免引起水汽凝结在器件中。部分超出范围的工作场景需要对器件做保护性隔离封存储环境洁净可规定存储环境洁净度范围，在适当的洁净度范围可以防止镜面16292-2010规定的十万级及更优工作环境洁净可规定工作环境洁净度范围，在适当的洁净度范围可以防止镜面污染和微结构污染，确保器件功能正常。部分超出范围的工作场工作状态下的可指明机械冲击的最大限制值，在适当的工作状态下不会对器件非工作状态下可指明机械冲击的最大限制值，在适当的非工作状态下不会对器工作状态下的可指明机械振动加速度的最大限制值，在适当的工作状态下不会非工作状态下可指明机械振动加速度的最大限制值，保证非工作状态不会造成应指明供电电压的最大限制值，应指明供电电流的最大限制值，不会对器件工作造成影响，不会宜指明反射镜面在特定激光参数8斑大小）下，所能承受的最大激光功率密度（连续激光）或能量此极限值内，器件光学性能（如反射率）无显著退化，且不产生可指明MEMS扫描镜可正常工作环境压强的范围，不会对器件工作造成影响，不会对器件造成永驱动信号频率宜规定驱动信号的频率扫描范围，超出频率范围可能会无法驱启动阶段频率可规定启动阶段驱动信号的频率扫描步长范围，超出步长范围可有效反射镜面镜面面积与激光入射角余反射光光通量与入射光光通量之比。应指明对应的镜面转动过程中镜面与平衡位置之间能达到的最大9机械半角的两倍定义为机入射激光光束经过镜面反射后，反射光束在左右两个极限位置时夹角的一反射镜面扭转过程中，其相对平衡位置的瞬时夹角，即为该时刻的机械半反射镜面在静止状态下偏离理想平面的形变，可以反射镜面静态变形等效球反射镜面在运动过程中因惯性、应力或空气阻尼等在规定的驱动条件下，对试，获得的机械半角ψ与驱动频率f之间的关在幅频响应曲线中，反射镜面达到最大振动幅值时对于非线性系统，一个激励频率可能有多个机械半角响应状态或发生振幅跳对于非线性系统，一个激励频率有且只有一个机械半角与之对应的频率区°产品技术手册推荐使用的光学全角，可保证MEMS谐振频率波动在固定的外部环境和驱动条件下，MEMS扫描镜的谐振频率在全温区相对室温25℃下发生的最大漂移在规定的驱动条件下，输入驱动信号与MEMS扫描镜转角响应信号之间的相位差随驱动频率变化而变转角的实际值与设定值的偏差，与驱动和控制系统MEMS扫描镜的实际输出转角随环境温度变化而产生的变化量111213141516φ=arctan(d/2l)Φ=2φ=2arctan(d/2l)（3）反射光束的位置变化或镜面特定位置的位移171819ψ(f)=arctan[w(f)/b]（7）21Δf=fmax_fmin（8）2223），25l），），

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