CN119413096A 一种反射镜热变形测试装置及方法 （长春通视光电技术股份有限公司）_第1页
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文档简介

鹃路888号长春净月科技成果承接转本发明提供了一种反射镜热变形测试装置27.一种反射镜热变形测试方法，该方法是基于权利要求1~6任一项所述的一种反射镜34[0003]公开号为CN106768885B的中国专利公开了一种测试反射镜分辨率的装置及测试5使干涉仪发射出的检测光束经过标准平面反射镜后反射至步骤S8，将步骤S4中标准平面反射镜面型结果中泽尼克多项式系数a1~a36项的值骤S7中待测反射镜面型结果中泽尼克多项式系数b1~b36项的值对应减去第一窗口玻璃的热步骤S9，将步骤S8中待测反射镜的热变形泽尼克多项式系数d1~d36项的值进行拟6证第一窗口玻璃和第二窗口玻璃的面型相同为了更加准确的计算单个窗口玻璃的热变形常传输与反射，干涉仪在测量过程中需要全息原件来改变光的波前进行凹抛物面镜的测的光束射出端与第一窗口玻璃和第二窗口玻璃之间为非平行位置关系防止了干涉仪里面便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、7射镜8设置在第一窗口玻璃2和第二窗口玻璃4之间的三综合试验箱3内，干涉仪1和第一窗中包含第一窗口玻璃2和第二窗口玻璃4的热变形量，之后对待测反射镜8的热变形量进行口玻璃2和第二窗口玻璃4的面型相同为了更加准确的计算单个窗口玻璃的热变形泽尼克息原件11、待测反射镜8和标准平面反射镜5之间相互平行保证了测量过程中干涉仪1发出的光束正常传输与反射，干涉仪1在测量过程中需要全息原件11来改变光的波前进行凹抛六维调整平台9对待测反射镜8进行姿态的调整，使用第一六维调整平台6和第二六维调整8口玻璃4之间为非平行位置关系；如果干涉仪1的光束射出端与第一窗口玻璃2和第二窗口玻璃4之间为平行位置关系，由于干涉仪1发射出的光束是从第一窗口玻璃2和第二窗口玻步骤S5，将待测反射镜8放置到第一窗口玻璃2和第二窗口玻璃4之间的三综合试数b1~b36项的值对应减去第一窗口玻璃2的热变形泽尼克多项式系数c1~c36项的值，得到待测反射镜8的热变形泽尼克多项式系数d1~d39第一六维调整平台6进而调整标准平面反射镜5的姿态，使干涉仪1发射出的检测光束经过过程五，将待测反射镜8放置到第一窗口玻璃2和第二窗口玻璃4之间的三综合试7=08=09=－010=－011=－012=－013=-22=－023=024=－025=－026=027=028==-c13=0=c28=0再将过程七中待测反射镜8面型结果中泽尼克多项式系数b1~b36项的值对应减去第一窗口玻璃2的热变形泽尼克多项式系数c1~c36项的值，得到待测反射镜8的热变形泽尼6=7=－08=－09=010=－011=－012=017=018=019=020=0d22=－023=

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