《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第3部分：晶圆制造》

微机电系统（MEMS）技术制造能力评估和工艺开发为主要目标的机构，能够研究与探索设以科技成果转化为主制造流程，探索解决一致产品或为量产提供适用的具备基础晶圆制造研发验证能结构的原理性验证，常规单步工艺的可行性探索，满足高校基础科研、企业早期预研的核具备系统化晶圆制造工艺开发与全流程原型验证能力，可完成多材料体系、复杂结构的概念验证与成套新工艺研发，能解决研发阶段核心技术瓶颈，支撑产业级预研与可转化技术具备行业领先的前沿晶圆制造技术探索与原创性工艺研发能体系、下一代晶圆制造技术的原理验证与可行性攻关，引领行业技术发展方向，具备承接国家级/行业级重大研发项目具备基础晶圆制造工程化验证能力，可完成实验室研发成果的小批量工艺转化与全流程验可靠性问题，可为小范围客户提供工程样件与基础量产导入具备系统化晶圆制造成果转化与全链条工程化能力，可完成成熟技术成果的量产工艺开发瓶颈，可为多客户提供稳定的工程批供货与全流程量产导入具备行业领先的晶圆制造全品类工程化转化与共性技术攻关能力，可解决行业卡脖子工程造工程化行业标准，构建从技术研发到量产落地的全链条转化生态，具备服务全行业的中具备基础晶圆制造商业化量产圆制造的稳定小批量量产，以可控的成本、合格的质量持续输出符合客户要求的商业化产品，可满足细分领域的常规市具备成熟的晶圆制造规模化量产与全链条商业化运营能力，模稳定量产，以行业领先的良续输出高性能产品，可满足消具备行业领先的晶圆制造超大规模量产与全产业链运营能力，可实现MEMS晶圆制造的极定量产，引领行业量产技术与核心份额，具备定义下一代MEMS晶圆制造量产技术的能A1A2B1B2C1C2C3C4C5C6D1D2D3D4E1E2F1F2F3F4F5G1G2H1H2J1J2J3K1K2知识全生命周期体系化、标准化管理与有推动知识资产流转复用，将知识资产转化为提升效率、创造营收和利润的生产力要），三级二级一级基础生产设备50%）基础生产设备50%）生产设备30%）验证40%）X3：厂务系统等生产设施完备。应对措施50%）应对措施50%）施30%）报、会议记录等60%）源70%）源50%）源40%）D.供应链X2：外协平均批次良率80%以上；X2：外协平均批次良率90%以上；X2：外协平均批次良率95%以上；清单30%）清单30%）清单40%）储设施100%）储设施40%）储设施30%）造人员的要求40%）造人员的要求30%）分析结果100%）X1：明确产品的顶层性能要求；分析结果40%）X1：明确产品的顶层性能要求；分析结果30%）X3：完成关键工艺的现状调研。X3：完成关键工艺的现状调研。管理规范50%）管理规范40%）规范40%）有激励员工贡献和复用的机制；有激励员工贡献和复用的机制；有激励员工贡献和复用的机制；处于建立质量体系的初始阶段。策和制度30%）（此项础40%）础60%）X2：提出具有变量的成本模型。X2：提出具有变量的成本模型。构成100%）构成60%）构成40%）圆制造生产的投资预算方案；圆制造生产的投资预算方案；开始流片40%）X2：危化品仓储合规手续完备；X2：危化品仓储合规手续完备；部分设备无备机，试运行正常。X2：危化品仓储合规手续完备；产项目立项60%）产项目立项50%）产项目立项40%）增加等100%）增加等50%）增加等40%）D.供应链与评价40%）题60%）与评价30%）题40%）X3：确认所有物料的重大风险；与评价20%）题30%）X3：确认所有物料的重大风险；按时响应次数÷总请求次数≥批次良率和过程能力指数CPK；按时响应次数÷总请求次数≥按时响应次数÷总请求次数≥范90%）范80%）范70%）制爆、危化品的相关行政许可。制爆、危化品的相关行政许可。制爆、危化品的相关行政许可。件60%）件50%）件30%）的研发人员、制造人员的数量；的研发人员、制造人员的数量；的研发人员、制造人员的数量；人员80%）人员70%）人员60%）），），），艺60%）艺50%）艺30%）能力要求40%）管理规范50%）管理规范40%）规范40%）有激励员工贡献和复用的机制；有激励员工贡献和复用的机制；有激励员工贡献和复用的机制；针、目标40%）评价和选择30%）针、目标30%）评价和选择30%）针、目标20%）评价和选择20%）些标准和流程应该易于理解和执些标准和流程应该易于理解和执些标准和流程应该易于理解和执项安全管理制度得到有效执行。能耗等方式提高能源利用效率。分析，以确保目标成本可实现。分析，以确保目标成本可实现。分析，以确保目标成本可实现。X1：合理制定试生产环境下进行MEMS晶圆制造生产的投资预算；X1：合理制定试生产环境下进行MEMS晶圆制造生产的投资预算；X1：合理制定试生产环境下进行MEMS晶圆制造生产的投资预算；题80%）题70%）题60%）造完成后需进行严格的测试和验证，以确保产品的质量和性能。造完成后需进行严格的测试和验证，以确保产品的质量和性能。造完成后需进行严格的测试和验证，以确保产品的质量和性能。X1：上年度整体收入1亿元以上；X1：上年度整体收入5亿元以上；X2：制造设备经过试生产验证；行40%）行40%）制造计划30%）制造计划30%）运行60%）运行60%）达到85%以上60%）产60%）产60%）潜在风险30%）续改进计划30%）求40%）X1：批量生产的制造良率不低于85%60%）90%60%）95%60%）D.供应链作20%）评估30%）评估30%）按时响应次数÷总请求次数≥95%30%）按时响应次数÷总请求次数≥96%30%）按时响应次数÷总请求次数≥98%30%）（(变更执行错误次数÷总变更（(变更执行错误次数÷总变更（(变更执行错误次数÷总变更稳定性控制60%）题已识别且主要的问题已得到解用后评估等都有详细的SOP批准文用后评估等都有详细的SOP批准文的管理有严格的SOP批准文件；的管理有严格的SOP批准文件；的管理有严格的SOP批准文件；制度30%）仓储作业效率40%）和晶圆产品的全生命周期管理。制制度30%）减60%）制造人员合理分工，相互制衡；新和优化60%）的引领30%）的引领30%）响很小40%）产鉴定30%）产鉴定20%）品延寿需求20%）产鉴定20%）品延寿需求20%）化小批量生产的工序能力要求；产能力30%）制度50%）更新机制40%）制度50%）更新机制30%）制度40%）更新机制30%）并描述其质量管理体系的文件组在实践中不断对其进行改进和完善40%）与分析等60%）化之中40%）果等40%）发展30%）评价员工工作表现的重要指标。有效运行60%）境风险40%）本目标60%）模生产可持续发展的投资预算；每一类每个等级的能力要素权重(α)和能力子要素权重(β)的取值如表9-表11所要素权重(α)子要素权重(β)三级2