CECS 428-2023 中文版 纯水站房建设与布局设计规程

CECS428-2023中文版纯水站房建设与布局设计规程前言本标准为中国工程建设标准化协会标准CECS428-2023《纯水站房建设与布局设计规程》，由中国工程建设标准化协会正式发布，2023年10月01日起实施。本规程为国内首部针对工业及电子级纯水、超纯水站房整体建设与空间布局的专项工程标准，填补了行业长期存在的站房选址无依据、功能分区混乱、设备布局随意、土建机电配套不规范、运维空间缺失、环境管控无标准等技术空白。本规程编制深度对标半导体、光伏、新型显示、精密电子、生物医药等高端制程建设要求，全面衔接GB50747-2024《电子工业纯水系统设计规范》、GB51132-2025《电子工业纯水系统施工及验收规范》、CECS517-2023《高纯水处理设备选型与配置规范》、CECS621-2024《电子工业超纯水TOC降解系统设计规程》、CECS139-2025《超纯水管路系统设计与安装规范》，构建了“选址合规—分级建设—分区布局—土建适配—机电配套—环境管控—安全运维”的纯水站房全流程标准化建设体系。本规程聚焦工程高频痛点，针对性解决行业普遍存在的站房污染源紧邻、设备间距不足、检修通道缺失、酸碱药剂混存、温湿度洁净度不达标、管路杂乱、能耗偏高、改造扩容困难、安全隐患突出等问题。严格区分常规工业纯水站房、精密纯水站房、超纯水站房的差异化建设标准，兼顾新建工程标准化落地与老旧站房提质改造适配性，平衡建设品质、投资成本与全生命周期运维效益，为全国各行业纯水站房规划、设计、施工、验收、改造提供统一权威的技术依据。1总则1.1编制目的1.1.1统一各级纯水、超纯水站房的选址原则、建设标准、空间布局、功能分区、土建结构、机电配套、环境控制、安全消防与运维配置要求，规范行业纯水站房工程建设秩序。1.1.2通过标准化布局与建设设计，从站房源头规避外源污染、环境干扰、设备干涉、运维不便等问题，保障纯水系统水质稳定、设备长效运行、系统故障率降低。1.1.3建立分级适配的站房建设体系，匹配不同水质等级、不同生产工况、不同行业场景的差异化建设需求，杜绝高配浪费、低配不达标、非标建设乱象。1.1.4规范老旧纯水站房扩容改造、功能升级、隐患整改、布局优化的技术准则，实现存量站房提质增效、合规化升级。1.2适用范围1.2.1本规程规定了纯水站房的术语定义、等级划分、选址要求、总体布局、功能分区、设备布置、土建工程、暖通环境、电气自控、给排水、消防安防、辅助配套、节能设计、施工验收、运维管理的全套技术要求。1.2.2适用于半导体、新型显示、光伏新能源、精密电子制造、生物医药、食品加工、高端实验室、工业通用纯水站房的新建、改建、扩建及提质改造工程。1.2.3覆盖常规工业纯水、三级精密纯水、二级超纯水、一级先进制程超纯水全等级站房建设，适用于建筑设计、水处理工艺设计、土建施工、机电安装、监理验收、运维管理全主体。1.2.4本规程不适用于核电特种纯水、航天超高纯水、海水淡化特种水处理站房，可作为民用净水站房建设的参考依据。1.3基本设计与建设原则1.3.1分级适配原则：严格按照纯水水质等级匹配对应站房洁净等级、建设标准、环境参数与配套配置，高端超纯水站房严禁降级建设，常规纯水站房杜绝过度配置。1.3.2污染隔离原则：站房选址与布局严格规避外源污染源，实现工艺区、药剂区、耗材区、电气区、运维区物理隔离，杜绝交叉污染与安全风险。1.3.3工艺顺畅原则：遵循“原水进水—预处理—深度除盐—精制储水—终端供水”的单向工艺流线，设备排布有序、管路规整、流向清晰，避免折返交叉。1.3.4运维友好原则：预留标准检修通道、操作空间、耗材仓储空间、设备吊装更换空间，适配日常巡检、耗材更换、设备检修、系统扩容。1.3.5安全合规原则：严格落实消防、通风、防腐、防静电、防泄漏、酸碱防护安全配置，杜绝电气隐患、药剂隐患、积水渗漏隐患。1.3.6节能长效原则：优化站房通风、采光、保温、机电配置，降低系统能耗与运维成本，适配24h连续生产与间歇生产工况。1.4规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T11446.1-2021电子级水、GB50747-2024电子工业纯水系统设计规范、GB51132-2025电子工业纯水系统施工及验收规范、CECS517-2023高纯水处理设备选型与配置规范、CECS621-2024电子工业超纯水TOC降解系统设计规程、CECS139-2025超纯水管路系统设计与安装规范、GB50016建筑设计防火规范、GB50019采暖通风与空气调节设计规范、GB50054低压配电设计规范2术语和定义2.1纯水站房集中布置纯水、超纯水制备设备、储水设备、动力设备、自控系统、药剂储存及辅助配套设施的专用独立建筑或专用机房，是实现原水净化、水质提质、稳压供水、循环维稳的核心功能站点。2.2超纯水站房适配二级及以上超纯水制备，包含TOC降解、脱气、抛光精制、闭环循环系统的高端洁净站房，具备恒温恒湿、低尘洁净、无外源污染、精密运维的建设标准。2.3工艺主区纯水站房核心功能区域，集中布置预处理、反渗透、EDI、紫外降解、抛光混床、终端过滤等核心制水设备，为站房核心洁净管控区域。2.4药剂辅助区专门用于储存、配比、投加酸碱药剂、阻垢剂、还原剂等水处理药剂的独立隔离区域，具备防腐、通风、防泄漏、应急防护功能。2.5耗材仓储区用于存放滤芯、树脂、活性炭、滤料、密封件等纯水系统耗材的独立干燥洁净区域，避免耗材受潮、积尘、污染失效。2.6设备检修通道专为大型设备吊装、拆卸、检修、管路维护预留的专用通行空间，保障设备全生命周期运维作业顺畅开展。2.7站房环境洁净度通过通风、净化、除尘、恒温恒湿控制，实现的站房内空气尘埃、温湿度、微生物浓度的量化管控指标，是高端纯水站房的核心建设参数。3纯水站房等级划分本章依据终端出水水质、制程用途、污染管控要求，对纯水站房进行分级，明确各级站房的基础建设阈值，作为选址、布局、土建、环境配置的核心依据。3.1等级划分标准3.1.1S1级超纯水站房（先进制程）：适配一级超纯水，TOC≤1ppb，电阻率18.25MΩ·cm@25℃，服务7nm及以下晶圆、高端光刻刻蚀等零痕量污染制程，站房按洁净机房标准建设。3.1.2S2级超纯水站房（精密制程）：适配二级超纯水，TOC≤5ppb，电阻率≥18.2MΩ·cm@25℃，服务新型显示、高效光伏、精密封装制程。3.1.3S3级精密纯水站房（常规精密制程）：适配三级纯水，TOC≤20ppb，电阻率≥15MΩ·cm@25℃，服务普通电子清洗、精密零部件加工。3.1.4S4级工业纯水站房（辅助公用）：适配四级工艺纯水，TOC≤100ppb，服务设备冷却、车间冲洗、公用辅助用水。3.2分级通用建设要求3.2.1S1、S2级高端站房必须独立分区、恒温恒湿、洁净防尘、药剂隔离、全程密闭管控，严禁开放式、简易化建设。3.2.2S3、S4级站房可适度简化环境配置，但必须满足防腐、通风、排水、安全运维基础要求，杜绝脏乱无序布局。3.2.3所有等级站房均禁止污染源紧邻布置，禁止与污水机房、垃圾堆放区、卫生间、化学品仓储区近距离共用空间。4站房选址与总体布局4.1选址基本要求4.1.1纯水站房应设置在厂区环境洁净、通风良好、地势干燥、排水通畅的区域，远离粉尘、废气、污水、噪声、振动污染源。4.1.2S1、S2级高端站房周边10m范围内严禁设置化粪池、污水沟、垃圾站、危化品堆放点、扬尘作业区域，杜绝外源有机污染与微生物污染。4.1.3站房严禁布置在卫生间、浴室、厨房、污水处理间等潮湿污染区域正下方，上方严禁存在积水、渗漏、污染源管线。4.1.4站房选址需兼顾原水接入、纯水输送、废水排放、电力接入便利性，缩短主管路距离，降低管路损耗与水质衰减风险。4.1.5预留远期扩容空间，适配产能提升、系统扩建、工艺升级的长期发展需求。4.2总体布局原则4.2.1站房整体布局遵循“洁污分区、动静分区、干湿分区”原则，洁净工艺区、药剂污染区、电气设备区、仓储运维区物理隔离。4.2.2工艺流线单向顺畅，原水进水端、预处理端、精制端、供水端顺序排布，避免管路折返、交叉重叠、无序缠绕。4.2.3重型设备集中低位布置，轻质设备、自控设备高位布置，实现荷载均匀分布、空间高效利用。4.2.4人流、物流、耗材运输、设备检修路径分离，避免交叉干扰，保障运维安全与环境洁净。4.3站房间距与退让要求4.3.1独立纯水站房与厂区污染源最小退让距离不小于10m，与洁净生产车间就近衔接，缩短纯水输送距离。4.3.2站房外墙与厂区道路、绿化区域保持合理间距，满足设备运输、消防通行、通风散热需求。5功能分区与设备布局设计5.1标准功能分区设置所有正规纯水站房必须划分独立功能区域，高端站房分区完全隔离、独立隔断，常规站房可柔性分区，核心分区包含：工艺主区、药剂投加区、耗材仓储区、电气自控区、运维办公区、废水收集区。5.1.1工艺主区：布置全部制水核心设备，为最高洁净等级区域，严禁存放药剂、杂物、废弃耗材，保持密闭洁净。5.1.2药剂投加区：独立封闭隔断，设置防腐地面、防渗地沟、强制通风、应急洗消设施，单独存放酸碱、阻垢剂等水处理药剂，与工艺区物理隔离。5.1.3耗材仓储区：干燥通风、防尘防潮，分类存放新耗材与废旧耗材，新旧分区隔离，避免二次污染。5.1.4电气自控区：独立配电柜、PLC控制柜、UPS设备布置区域，干燥防尘、防静电、防水汽侵蚀，远离药剂与积水区域。5.1.5运维办公区：用于日常巡检记录、数据监控、工具存放，贴合操作便捷性布置。5.2设备布局间距标准5.2.1主设备正面操作通道宽度≥1.2m，满足日常操作、仪表观测、耗材更换需求。5.2.2设备后侧、侧面检修通道宽度≥0.8m，适配设备检修、管路维护、阀门操作。5.2.3大型罐体、膜组件设备预留吊装、拆卸空间，顶部净空高度≥0.5m。5.2.4设备之间避免紧密贴合，预留通风散热、检修操作、管路排布空间，杜绝设备干涉。5.3管路布局配套要求5.3.1站房内工艺管路、电气管线、排水管线分层布置，工艺纯水管道高位布置，排水管道低位布置，强弱电管线分离。5.3.2纯水主干管路规整平直，标识清晰，杜绝杂乱缠绕、跨区乱穿，符合CECS139-2025管路设计规范要求。5.3.3废水、浓水单独收集排放，严禁与纯水管路混接、交叉污染。6土建工程建设规范6.1结构与承重设计6.1.1站房楼板、地面承重需匹配重型设备荷载，罐体集中荷载区域需做结构加固，常规纯水站房地面承重≥4.0kN/㎡，大型罐体区域≥8.0kN/㎡。6.1.2站房层高适配设备高度与检修需求，净高不得低于3.0m，高端超纯水站房净高≥3.5m。6.1.3结构抗震、抗沉降设计符合现行建筑规范，避免设备振动、地基沉降导致管路渗漏、设备偏移。6.2地面、墙面、顶面建设标准6.2.1S1、S2级超纯水站房：地面采用无缝防腐环氧自流平，防静电、防尘、耐酸碱、易清洁；墙面平整光滑、无脱落、无尘源；顶面采用洁净吊顶，密闭防尘。6.2.2S3级精密纯水站房：地面采用防腐耐磨地坪，墙面乳胶漆洁净处理，顶面平整防尘。6.2.3S4级工业纯水站房：地面耐磨防滑、防渗积水，墙面整洁防潮即可。6.2.4所有站房地面设置0.5%排水坡度，坡向排水地沟，杜绝局部积水滋生微生物、腐蚀设备。6.3防渗与排水设计6.3.1药剂区、设备积水区设置独立防渗地沟、集水坑，配备自动排水泵，实现积水即时排空。6.3.2地沟、集水坑采用耐酸碱防腐材质，杜绝药剂腐蚀渗漏污染地面与土层。6.3.3排水系统设置水封装置，防止异味、蚊虫、污物反流进入站房。7暖通空调与环境控制7.1温湿度控制标准7.1.1S1、S2级超纯水站房：恒温恒湿控制，温度20～28℃，相对湿度40%～60%，无大幅波动，保障TOC降解效率、管路稳定性、仪表精度。7.1.2S3级精密纯水站房：温度18～30℃，湿度≤70%，避免高温高湿滋生微生物。7.1.3S4级工业站房保障通风散热、无结露、无高温积热即可。7.2通风系统设计7.2.1药剂区设置独立强制排风系统，换气次数≥15次/h，及时排出酸碱挥发气体，防止腐蚀设备、危害人员健康。7.2.2工艺主区保持洁净通风，换气次数≥8次/h，除尘除湿、抑制微生物滋生。7.2.3通风风口布置均匀，避免气流死角、扬尘扰动，高端站房送风需经过初效过滤。7.3洁净与防尘控制7.3.1S1、S2级站房实行密闭管理，门窗密封防尘，入口设置缓冲区域，减少外界粉尘进入。7.3.2定期空气消杀、除尘净化，配套紫外线空气消毒装置，抑制空气微生物污染。8电气与自控系统建设8.1配电系统设计8.1.1纯水站房采用专用独立回路供电，避免与大功率冲击负荷共用回路，保障供电稳定。8.1.224h连续运行系统配置双路供电或UPS不间断电源，杜绝瞬时断电导致水质波动、设备停机。8.1.3所有电气设备具备防水、防潮、防腐防护等级，适配站房潮湿环境。8.2接地与防静电设计8.2.1超纯水站房设置专用等电位接地系统，设备、管路、柜体统一接地，接地电阻≤4Ω，防静电、防干扰。8.2.2仪表、自控系统单独屏蔽接地，避免信号干扰，保障水质监测数据精准。8.3自控与监控布局8.3.1自控控制柜布置在干燥、洁净、便于观测操作的区域，远离药剂区、积水区、高温区。8.3.2上位机、数据显示屏布置在运维操作区，实时展示水质参数、设备运行状态、报警信息。8.3.3关键仪表测点集中规整布置，便于校准、检修、数据溯源。9消防与安全防护9.1消防基础配置9.1.1纯水站房火灾危险性分类为戊类，站内严禁明火、严禁违规动火作业，严禁存放易燃易爆物品。9.1.2按规范配置干粉灭火器、消防沙、应急照明、疏散指示标识，保障消防安全合规。9.1.3站房疏散通道保持畅通，无设备、杂物占用，满足紧急疏散要求。9.2药剂安全防护9.2.1酸碱药剂分区隔离存放，严禁混存，设置防泄漏托盘、防渗围堰，杜绝药剂渗漏扩散。9.2.2药剂区配置应急洗眼器、喷淋装置、防护手套、防护面罩，满足应急防护需求。9.2.3建立药剂领用、配比、储存台账，规范危化品管理流程。9.3防水防漏电安全9.3.1电气柜、开关、接线盒全部采用防水密封设计，远离积水点位，杜绝水汽侵入漏电。9.3.2积水区域设置水位报警装置，积水超限自动报警、自动排水。10辅助配套设施设计10.1耗材仓储配套仓储区设置货架、防潮垫板、防尘围挡，新耗材密封存放、分区分类标识，废旧耗材集中收纳、及时清运，避免污染新系统。10.2工具与运维配套配置专用运维工具柜、清洁工具、检测仪器，独立存放、专人管理，保障运维标准化。10.3标识系统建设全站房设备、管路、区域、阀门、仪表统一标准化标识，区分纯水、浓水、废水、药剂管路，明确设备状态、区域功能、安全警示。11节能与绿色建设设计11.1节能布局优化设备集中规整布置，缩短管路长度，降低沿程能耗与水质损耗；动力设备集中布置，便于变频节能、联动调控。11.2水效提升设计预留浓水回收、废水回用接口与设备空间，适配节水改造，提升系统水利用率。11.3低碳环境设计合理利用自然采光、自然通风，减少空调与风机能耗；选用低噪、节能型设备，降低站房运行能耗与噪音污染。12特殊工况站房专项设计12.1间歇生产站房优化环境恒温保湿配置，停机期间保持通风除尘、水体循环，避免长期静置滋生微生物、抬升TOC与颗粒物。12.2高污染原水配套站房增设预处理设备专属区域，加大通风、排水、防渗配置，强化前端污染拦截，保护后端精制洁净区域。12.3老旧站房改造改造工程优先完善分区隔离、防腐防渗、通风除尘、电气接地、安全防护短板，优化设备布局与运维通道，保留合规结构与设备，实现低成本合规升级。12.4低温、高温区域站房严寒地区强化站房保温、防冻设计，杜绝管路冻裂、设备低温失效；高温地区加强通风散热、隔热降温，保障设备稳定运行。13施工与竣工