CN119426723A 一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法 （沈阳和研科技股份有限公司）

一种基于激光测高的方形工件切割系统及2至少一组切割工作台，所述切割工作台用于放置待切割的激光测距模块，所述激光测距模块设置在所述切割工作台的上方，配置为用于获取所述激光测距模块所采集的所述方形工件表面沿切割方向的多个采样点切割方向的相邻两个所述采样点的直线，以得到的所述直线的集合为工件拟合表面信息，所述验证点为连接平行或垂直于切割方向任意两个采样点的直线上件拟合表面信息对所述验证点所在的位置进行插值计算，得到所述验证点的拟合高度信确定平行或者垂直于切割方向的任意两个相邻采样点之间连接件上的N个验证点的拟合高度信息与对应的真实高度信息的差值全部在预期切割深度波动首次对相邻两个采样点之间的验证点的拟合高度信息进行验证3重复验证N_1次；若发现任意验证点对应的真实高度信息与拟合高度信息的差值有超出预所述多个采样点的高度通过所述激光测距模块扫描测量的方式得到，若所述验证点的实际高度信息与其在拟合表面信息对应位置的拟合高度信息的差值超出预期切割深度波动范围，则需要重新确定采样点的数量和相邻两个采样点之间的间10.根据权利要求1至9中任一项所述的基于激光测高的方形工件切割系统，其特征在S400，在所述方形工件的表面取若干位置的验证点S500，验证所述验证点的实际高度信息与拟合4[0002]划片机工作台是划片机的重要机构之一，其主要作用是作为待切分的晶圆的载解决现有需要半切的工件在切割时因刀头固定而无法保证工件切割5形工件上的N个验证点的拟合高度信息与对应的真实高度信息的差值全部在预期切割深度式再重复验证N_1次；若发现任意验证点对应的真实高度信息与拟合高度信息的差值有超若所述验证点的实际高度信息与其在拟合表面信息对应位置的拟合高度信息的像检测模块与安装在基座顶部的Y轴驱动模块连接，用于对方形工件进行自动对准或切割6[0018]图1为本发明实施例提供的一种基于激光测高的方形工件切割系统的整体结构示图2为本发明实施例提供的一种基于激光测高的方形工件切割系统的局部结构示图3为本发明实施例提供的一种基于激光测高的方形工件切割系统的切割工作台图4为本发明实施例提供的一种基于激光测高的方形工件切割系统通过选取采样图5为本发明实施例提供的方形工件表面的采样点拟合得到的工件拟合表面信息图7为本发明实施例提供的方形工件表面差值计算得到的验证点的切割线路示意图8为本发明实施例提供的方形工件表面的采样点拟合得到的工件拟合表面信息图9为本发明实施例提供的一种基于激光测高的方形工件切割系统的控制模块的7术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范[0023]结合图1至图9所示，本发明实施例提供了一种基于激光测高的方形工件切割系[0024]切割工作台100用于放置待切割的方形工件500，所述切割工作台100上设有用于[0027]激光测距模块300设置在所述切割工作台100的上方，用于对所述方形工件500进行激光测高，激光测距模块300通过发射激光并接受从而根据发射到接收之间的时间差确8为用于获取激光测距模块300所采集的方形工件500表面沿切割方向的多个采样点510的高度信息（采样点510的分布如图4所示并根据多个采样点510的高度信息拟合得到工件拟形工件500的表面取若干位置的验证点，并根据工件拟合表面信息对验证点所在的位置进9[0035]可选地，所述验证点为平行或垂直于切割方向任意两个采样点510直线连接间的按照经验选取部分数量的测量点作为采样点510，另一中是通过扫描的方式沿着切割方向的N个验证点的拟合高度信息与对应的真实高度信息的差值有超出预期切割深度波动范围首次对相邻两个采样点510之间的验证点对应的拟合高度信息进行验证，所述验同样的方式再重复验证N_1次；若发现任意验证点对应的真实高度信息与拟合高度信息的差值有超出预期切割深度波动范围的情形，则停止切割并重新增加采样点510的数量再次样点510数量以及相邻采样点510之间的距离所对应的工件拟合表面信息满足切割精度的要求，则认为采样点510的选取符合要求，后续可直接对该批来料的剩余工件直接进行切证点的实际高度信息验证所述工件拟合表面信息的拟合[0046]具体地，若验证点采样点510的实际高度与其在拟合表面信息对应位置的高度差值超出预设阈值（预期切割深度波动范围则需要重新确定采样点510的数量和相邻两个样可通过一个激光测距模块300分时对两个切割工作台100上的方形工件500的高度进行测[0049]在一些实施例中，继续参阅图1，所述的基于激光测高的方形工件切割系统还包不再重复赘述该方形工件切割方法包括以下步骤：[0052]S200，获取置于切割工作台100上的方形工件500表面沿切割方向的多个采样点[0055]具体地，沿着X轴方向且位于具有同一Y轴坐标的多个采样点510依次连接形成一过多条这样的折线即可拟合得到工件拟合表面信息，即通过有限数量的采样点510的高度等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或