CN119426807A 一种具有温度监测功能的飞秒激光加工系统及方法、设备 （浙江亿路益传感器有限公司）

一种具有温度监测功能的飞秒激光加工系2获取历史若干次以及当前次飞秒激光加工的激光温度序列以及每次飞秒激光加工的激光功率序列；根据当前次与历史若干次飞秒激光加工的激光温度序列的变化差异得到当前次每个根据历史若干次飞秒激光加工的激光温度序列与对应激光功率序列在当前次飞秒激光加工过程中，根据每个时刻的温度异常指数温度修正序列；述根据当前次与历史若干次飞秒激光加工的激光温度序列的变化差异得到当前次每个时利用最小二乘法对任意一次飞秒激光加工的激光温度序列中的所有激光温度值进行合温度序列；将该次飞秒激光加工的任意时刻记为目标时刻，将该次飞秒激光加工的拟合温将目标时刻的所有邻域时刻对应的温度变化指数的均值，记作目利用K_means算法对该次飞秒激光加工的所有时刻进行聚类，聚类距离度量采用每两对于当前次飞秒激光加工的任意时刻，将历史若干次飞为当前次飞秒激光加工的第i个时刻的温度异常指数；B:为当前次飞秒激光加工的第i个3将历史若干次中每次飞秒激光加工的激光温度序列与激光功率序列之间的DTW距离的将历史若干次飞秒激光加工的相关贡献指数的均值，记作功率与温度的整体相关指对于当前次飞秒激光加工过程中的任意时刻，将激光温度序列与激刻的邻域时刻所构成的时刻区间对应的两段序列之间的DTW距离的反比例归一化结果，记将该时刻功率与温度的局部相关指数与所述整体相关指数的差值绝对值的反比例归对于当前次飞秒激光加工过程中的任意时刻，将该时刻的所有邻域时将该时刻的温度偏离度与标准偏离度的差值绝对值的反比例归一化结果述根据激光温度可信度筛选需要修正的激光温度数据并进行修正，得到激光温度修正序在当前次飞秒激光加工过程中，将激光温度可信度低于预设可4度修正序列。当前次飞秒激光加工的激光温度修正序列中连续出现个大于预设温度阈值的元素光温度修正序列中未连续出现个大于预设温度阈值的元素，继续对飞秒激光加工过程进9.一种具有温度监测功能的飞秒激光加工系统程序时实现如权利要求1_8任意一项所述一种具有温度监测功能的飞秒激光加工方法的步10.一种具有温度监测功能的飞秒激光加工设备，包括具有温度监测功能的飞秒激光所述激光温度功率采集模块，用于获取历史若干次以及当前次飞秒激度序列以及每次飞秒激光加工的激光功率序列；所述温度异常分析模块，用于根据当前次与历史若干次飞秒激光加工的激光温度所述温度功率匹配模块，用于根据历史若干次飞秒激光加工的激光温5部加热和快速冷却可能引发微观结构变化或热应力，实时温度监测可以帮助优化加工参有的飞秒激光的高能量密度及其产生的电磁辐射导致测量得到温度不准确而影响激光加本发明提出了一种具有温度监测功能的飞秒激光加工方法，该方法包括以下步获取历史若干次以及当前次飞秒激光加工的激光温度序列以及每次飞秒激光加根据当前次与历史若干次飞秒激光加工的激光温度序列的变化差异得到当前次激光功率序列在每个时刻的邻近时刻的相关性，得到每个时刻功率与温度的局部相关指激光温度修正序列；6利用最小二乘法对任意一次飞秒激光加工的激光温度序列中的所有激光温度值的拟合温度序列；利用K_means算法对该次飞秒激光加工的所有时刻进行聚类，聚类距离度量采用将历史若干次中每次飞秒激光加工的激光温度序列与激光功率序列之间的DTW距该时刻的邻域时刻所构成的时刻区间对应的两段序列之间的DTW距离的反比例归一化结将该时刻功率与温度的局部相关指数与所述整体相关指数的差值绝对值的反比7[0011]进一步地，所述根据激光温度可信度筛选需要修正的激光温度修正序列。当前次飞秒激光加工的激光温度修正序列中连续出现个大于预设温度阈激光温度修正序列中未连续出现个大于预设温度阈值的元素，继续对飞秒激光加工过程[0013]本发明还提出了一种具有温度监测功能的飞秒激光加工系统，该系统包括存储光温度序列以及每次飞秒激光加工的激光功率序8将激光温度序列与激光功率序列进行结合，判断激光温度序列与激光功率序列的相关性，[0017]图1为本发明一个实施例所提供的一种具有温度监测功能的飞秒激光加工方法流[0019]请参阅图1，其示出了本发明一个实施例所提供的一种具有温度监测功能的飞秒9[0020]需要说明的是，本实施例的目的是通过对激光温度数据和激光功率数据进行分[0023]根据上述激光温度序列和激光功率序列的获对于当前次飞秒激光加工的任意时刻，将历史最近次飞秒激光加工中与该时刻[0031]具体的，将历史最近次中每次飞秒激光将历史最近次飞秒激光加工的相关贡献指数的均值，记作功率与温度的整体相率序列在该时刻的邻域时刻所构成的时刻区间对应的两段序列之间的DTW距离的反比例归将该时刻功率与温度的局部相关指数与所述整体相关指数的差值绝对值的反比[0035]需要说明的是，根据当前次与历史若干次飞秒激光加工过程的温度变化差异情前时刻的相关匹配度与当前次飞秒激光加工过程中所有时刻的整体的相关匹配度差异越[0043]具体的，当前次飞秒激光加工的激光温激光加工的激光温度修正序列中