CN119437664A 用于led阵列的复合mla检测方法及检测装置 （苏州大学）

用于LED阵列的复合MLA检测方法及检测装置本发明公开了一种用于LED阵列的复合MLA透镜阵列的复合MLA检测结果。本发明提供的复合MLA检测方法能够对MLA的子透镜位置、PSF和22.根据权利要求1所述的用于LED阵列的复合ML基于所述子透镜对应的PSF相似性值确定所述子透镜的PSF一致性对每个所述子透镜的原始PSF图像进行展开，得到展开后的PSF图像，记作展开PSF图镜对应的面积差值确定所述子透镜的PSF一致性的3计算每个所述子透镜的实际光斑面积与理论光斑面积6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于LED阵列的复合MLA检测方法，其特征在于，所述基于所述子透镜对应的PSF相似性值和/或面积差值确定所述子透镜的PSF一致性的检若所述子透镜对应的PSF相似性值符合PSF一致性的标准，且所述从每个子透镜的多张光斑图像中确定每个子透镜的原始计算每个所述子透镜的所述当前MTF图像与相应的所述仿真M对所述当前MTF图像和所述仿真MTF图像的相同点位进行多次同步采基于所述多个第一MTF值以及相应的第二MTF值，计算多次同步采样对应的采样点MTF采样点位处的第一MTF值与第二MTF值的判断每个所述子透镜的MTF相似度值是否MTF相似度值采用如下公式计算得到：;其中，P为所述子透镜的MTF相似度值，为位置从每个所述子透镜对应的多张光斑图像中选取出最为聚焦的光斑图像4根据所有所述子透镜对应的光斑质心分别在行方向和列方向进行直线拟合，得到各获取每个子透镜对应的所述光斑质心到其所在行11.根据权利要求10所述的用于LED阵列的复合MLA检测方法，所述根据每个所述子透12.根据权利要求1至5中任一项或权利要求7至11中任一项所述的用于LED阵列的复合获取多张阵列光斑图像，其中，所述阵列光斑图像包括每个对所述多张阵列光斑图像进行图像清晰度计算，以从所述多张阵对所述滤波图像进行圆形检测处理，得到所述聚焦阵列光斑图像中基于所述圆心坐标对每个所述阵列光斑图像进行裁剪，得到每个所述13.根据权利要求1至5中任一项或权利要求7至11中任一项所述的用于LED阵列的复合确定所述子透镜的PSF一致性的检测结果、MTF一致性的检测结若所述均为合格的子透镜的数量在所述微透镜阵列中的透镜占比值达到预设的比例列排布的多个子透镜，所述光源发出的光线通过所述平行光管后入射到所述微透镜阵列，所述显微物镜被配置为将所述微透镜阵列处的光线引导所述检测装置还包括计算机，其被配置为获取所述相机采集的阵所述计算机还被配置为基于所述子透镜的一致性检测结果，确定所5基准距离；沿着光轴移动所述相机和/或所述载物台，使其光轴距离基于所述基准距离浮驱动所述载物台在二维平面内移动的水平驱动机构以及用于驱动所述相机或所述载物台驱动机构驱动所述载物台移动，直至从所述平行光管出射的光线入射到所述微透镜阵列；列排布的多个子透镜，所述光源发出的光线通过所述平行光管后入射到所述微透镜阵列，所述显微物镜被配置为将所述微透镜阵列处的光线引导所述检测装置还包括计算机，其被配置为执行如权利要求1至13中任一项所述的检测6易造成微透镜阵列二次损伤和污染；因此目前市面企业大多只能采用小批量试制的方法，7基于所述子透镜对应的PSF相似性值确定所述子透镜的PSF一致性的检测结果包从每个子透镜的多张光斑图像中确定出每个子透镜的原始应的面积差值确定所述子透镜的PSF一致性确定每个所述子透镜的原始PSF图像中光斑的面积，记作每个子透镜的实际光斑8从每个子透镜的多张光斑图像中确定每个子透镜的原始对每个所述子透镜的原始PSF图像进行频域变换，得到每个子透镜的当前MTF图值与采样点位处的第一MTF值与第二MTF值的比值子透镜的MTF一致性的检测结果为合格，否则所述子透镜的MTF一致性的检测结果为不合9获取每个子透镜对应的所述光斑质心到其所在行、所在列对应的拟合直线的距判断每个所述子透镜的行偏差和列偏差是否均落在对应预设偏差范围内，若是，若所述子透镜的数量在所述透镜LED阵列中的透镜占比值达到预设的比例阈值，MLA检测结果包括位置一致性的检测结果、PSF一致性的检测结果以及MTF一致性的检测结a.通过检测设备各部件的配合，计算机接收经过微透镜阵列子透镜所成的星点[0028]图1为本发明的一个示例性实施例提供的用于LED阵列的复合MLA检测方法的流程图2为本发明的一个示例性实施例提供的检测子透镜的位置一致性的方法流程图3为本发明的一个示例性实施例提供的第一种判断子透镜的PSF一致性的方法图4为本发明的一个示例性实施例提供的第二种判断子透镜的PSF一致性的方法图5为本发明的一个示例性实施例提供的第三种判断子透镜的PSF一致性的方法员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范[0041]其中，PSF一致性检测旨在检测某子透镜的实际PSF指标与理论PSF指标的一致性程度是否达标，MTF一致性检测旨在检测某子透镜的实际MTF指标与理论MTF指标的一致性微透镜阵列中的透镜占比值未达到预设的合格占比阈值，则确定微透镜阵列的复合MLA检MTF一致性的检测结果及位置一致性的检测结果均为合格的子透镜的数量；然后判断三个检测结果均为合格的子透镜的数量在微透镜阵列中的透镜占比值是否达到预设的比例阈定微透镜阵列的复合MLA检测结果为合格；若均为合格的子透镜的数量在微透镜阵列中的在微透镜阵列中的透镜占比值未达到预设的比例阈值，则确定微透镜阵列的复合MLA检测列中的透镜占比值是否达到第一预设比例阈值、判断PSF合格的子透镜的数量在微透镜阵列中的透镜占比值是否达到第二预设比例阈值以及判断MTF合格的子透镜的数量在微透镜镜的PSF图像计算对应的光斑与理论光斑[0065]S23b：基于子透镜对应的PSF相似性值和/或面积差值确定子透镜的PSF一致性的[0069]如图4所示，下面就以PSF相似性值作为判断标准确定子透镜PSF一致性合格与否展开PSF图像与仿真PSF图像之间的相似性值，记作第二相似性值SSIM2；对第一相似性值[0080]A5：若某个子透镜的PSF相似性值SSIM总达到预设的PSF相记作子透镜i；判断子透镜i的PSF相似性值是否达到预设的PSF相似阈值；如果子透镜i的果子透镜i的PSF相似性值未达到预设的PSF相似阈值，则确定子透镜i的PSF一致性的检测[0082]如图5所示，下面就以子透镜对应的实际光斑与理论光斑的面积差值作为判断标[0102]载物台6被配置为托载待检测的微透镜阵列7，微透镜阵列7包括阵列排布的多个计算机11还被配置为基于子透镜的一致性检测结果，确定微透镜阵列的复合MLA[0109]在本发明的一个实施例中，显微物镜9的放大倍率由待检测的微透镜阵列7的焦