CN119452462A 衬底转移设备及其操作方法 （株式会社尤金科技）

2024.12.20PCT/KR2023/0068402023.05.19WO2023/249260KO2023.12.28本发明涉及一种检测末端执行器的碰撞的根据碰撞检测单元的碰撞检测来对电动机的驱于计算利用两个转矩测量值之间的时滞测量的2控制单元，被配置成依据所述碰撞检测单元的所述碰撞检测来对所述控制单元被配置成当所述碰撞确定部确定所述末端执行器已3.根据权利要求2所述的衬底转移设备，其中所述碰撞检测单元还包括测量位置存储其中所述控制单元被配置成在将所述电动机驱动到前一测量位置之后停止所述电动所述测量值存储部被配置成存储所测量的所述电动机的所所述差值计算部被配置成针对所述预定时段中的每一者计算当前时段转矩测量值与其中所述衬底转移设备还包括加速时间设定单元，所述加6.根据权利要求5所述的衬底转移设备，其中所述参考值设定部被配置成依据所述电动机的所述转矩值相对于所设定的所述加速驱动时间的变化率来设定所述碰撞确定参考7.根据权利要求5所述的衬底转移设备，其中所述碰撞检测单元还包括测量时段设定其中所述测量时段设定部被配置成将所述电动机的所述转矩值的所述测量时段设定38.根据权利要求5所述的衬底转移设备，其中所述转矩测量部被配置成在所述加速驱9.根据权利要求5所述的衬底转移设备，其中所述转矩测量部被配置成至少在所述加通过由电动机提供动力来移动上面支撑有衬底的基于所计算的所述转矩差值确定所述末端执所述电动机的所述驱动或在相反方向上驱动其中，在所述确定所述末端执行器的所述碰撞中，当所计算其中所述停止所述电动机的所述驱动或所述在所述相反方向上驱动所述电动机包括在将所述电动机驱动到前一测量位置之后停止所述电其中，在所述测量所述电动机的所述转矩值中，在预定时段测在所述计算所述转矩差值中，针对所述预定时段中的每一者机的所述转矩值相对于所设定的所述加速过程的所述时间的变化率来设定所述碰撞确定16.根据权利要求14所述的操作方法，还包括根据所设定的所述加速过程的所述时间其中，在所述设定所述测量时段中，将所述电动机的所述转至少在所述加速过程中的起始点处测量所述电4及一种用于检测末端执行器(endeffector)的碰撞的衬底转[0002]为了在半导体及显示器制造工艺中实行例如沉积、刻蚀[0003]一般来说，半导体设施中的衬底转移设备用于将衬底从加载锁定室(load_lockchamber)转移到衬底容纳构件(例如，前开式统一吊舱(frontopeningunifiedpod，5算部可被配置成针对预定时段中的每一者计算当前时段转矩测量值(currentperiodtorquemeasurementvalue)与最近时段转矩测量值(proximateperiodtorquemeasurementvalue)之间的转矩[0014]参考值设定部可被配置成依据电动机的转矩值相对于所设定的加速驱动时间的电动机的转矩值的测量时段设定成比所设定的上驱动电动机可包括在将电动机驱动到前一测量位置之后停测量当前时段转矩测量值与最近时段转矩测[0024]操作方法还可包括根据所设定的加速过程的时间来设定电动机的转矩值的测量[0026]在测量电动机的转矩值中，可至少在加速过程中的起始点处测量电动机的转矩6[0028]根据本发明实施例的衬底转移设备可通过计算经由碰撞检测单元利用时间差测量的所述两个转矩(torque)测量值之间的转矩差值并基于所计算的转矩差值确定末端执[0029]也就是说，可通过利用时间差测量的所述两个转矩测量值而不是转矩的绝对量速或减速的同时移动的情形及其中末端执行器以恒速移动的情形二者中有效地检测末端[0031]图2是示出根据本发明实施例的每一时段的转矩测量值及每一时段的最近时段转碰撞检测来对电动机(120)的驱动进行英(quartz)、氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、碳化硅(SiC)、二氧化钛(TiO2)及二氧化硅7(111)具有固定(或连接)到第一旋转轴(21)的一个端部，且可围绕第一旋转轴送到控制单元(140)，从而对电动机(120)的驱动进行控制。举例来说，当碰撞检测单元[0045]控制单元(140)可根据碰撞检测单元(130)的碰撞检测来控制电动机(120)的驱[0046]此处，碰撞检测单元(130可包括：转矩测量部(131)，测量电动机(120)的转矩(torque)值；差值计算部(132)，计算利用时间差测量的两个转矩测量值之间的转矩差值测量部(131)可包括检测电动机(120)的旋转轴(21、22及23)中的每一者的速度、旋转轴(21、22及23)中的每一者的旋转角度或者旋转轴(21、22及23)中的每一者的旋转转矩机(120)被驱动时供应到电动机(120)的电流值(或电流量)可被转换成电动机(120)的转[0047]图2是示出根据实施例的每一时段的(当前)转矩测量值及每一时段的最近时段转8[0049]碰撞确定部(133)可基于转矩差值(D)来确定末端执行器(110)的碰撞，且可在转矩差值(D)大于或等于临界转矩差值(或碰撞确定参考值)时确定末端执行器(110)的碰撞。[0050]在相关技术中，在以与衬底转移设备(100)的转移(过程)期间相同的方式预先移停止电动机(120)的驱动。在相关技术中，由于从电动机(120)的加速驱动产生的电动机(120)的转矩值(远远)大于从电动机(120)的恒速驱动产生的电动机(120)作为大于从电动机(120)的加速驱动产生的电动机(120)的转矩值的转矩临界值可能变得比从电动机(120)的恒速驱动通常(或一般)测量的转矩测量值(或从电动机的恒速驱动产的转矩测量值之间的差可能变得非常大，且可能难以有效地检测到从电动机(120)的恒速机的减速驱动中的每一者)(不同地)指定转矩临界值。在此种情形中，依据末端执行器移期间测量的电动机的转矩值的最大值)是不同的，可存在以下限制：每当末端执行器比较来确定末端执行器(110)的碰撞，因此可利用一个临界转矩差值有效地检测在所有驱[0053]另外，碰撞检测单元(130)还可包括设定碰撞确定参考值的参考值设定部(134参考值设定部(134)可设定碰撞确定参考值，且碰撞确定参考值可为指示转矩测量值的突9于末端执行器(110)的碰撞带来的电动机(120)的转矩值与正常条件下每单位时间的转矩果转矩差值(D)大于或等于碰撞确定参考值，则碰撞确定部(133)可确定出末端执行器比临界转矩差值高)。因此，当转矩差值(D)大于或等于碰撞确定参考值时，碰撞确定部止电动机(120)的驱动或者在相反方向上驱动电动机(120)。当碰撞确定部(133)确定末端执行器(110)已经碰撞时，控制单元(140)可停止电动机(120)的驱动或者在相反方向上驱[0056]另外，碰撞检测单元(130)还可包括记录转矩值的测量位置的测量位置存储部位置)之后停止电动机(120)的驱动。当碰撞确定部(133)确定末端执行器(110)已经碰撞时，控制单元(140)可在相反方向上驱动电动机(120)，可通过在相反方向上驱动电动机(120)来将末端执行器(110)的位置或旋转轴(21、22及23)中的每一者的旋转角(时段性地)测量(或记录)电动机(120)的[0059]图3是用于阐释根据本发明实施例的转矩差值的计算的概念图，图3的(a)是每一是将由图2的虚线框表示的部分放大的曲线图，且如图3的(b)的虚线框表示的部分以与由差值计算部(132)可针对预定时段(T)中的每一者计算当前时段转矩测量值的转矩测量值与最近时段转矩测量值之间的转矩差值(D)。转矩测量部(131)可在预定时段(T)测量电动机(120)的转矩值且可根据预定时段(T)确定(或指定)将与当前测量的转矩测量值进行比(即，当前测量的转矩测量值)与最近时段转(D)，且可通过将在每一预定时段(T)计算的转矩差值(D)与碰撞确定参考[0062]碰撞检测单元(130)还可包括存储所测量的电动机(120)的转矩值的测量值存储近时段转矩测量值并与当前时段转矩测量值进行比较[0064]为此，电动机(120)的驱动可包括电动机(120)的转矩增大的加速驱动、电动机[0068]根据本发明的衬底转移设备(100)还可包括设定用于加速驱动的时间的加速时间[0069]加速时间设定单元(150)可设定用于加速驱动的时间，并控制加速驱动中每单位而降低根据每单位时间转矩值的变化的最大值确转矩值的变化量(最大值)可越低，且可根据末端执行器(加速驱动的时间可被设定(长)以使得每单位时间转矩值的变化量(最大值)根据加速驱动值的变化率(或变化量)来设定碰撞确定参考值。的加速驱动时间的变化率(电动机的转矩值的或经验性地)是固定的(或确定的)，因此碰部(134)可根据所设定的加速驱动时间将碰撞确定参考值设定为大于每单位时间转矩值的[0073]另外，碰撞检测单元(130)还可包括根据所设定的加速驱动时间来设定电动机定的加速驱动时间来设定电动机(120)的转矩值的测量时段(T)，且因此，可在设定时段根据所设定的加速驱动时间在加速驱动中测量电动机(120)的转矩值至少一次，且可设定电动机(120)的转矩值的测量时段(T)，以在加速驱动中测量电动机(120)的转矩值至少两[0075]此处，测量时段设定部(137)可将电动机(120)的转矩值的测量时段(T)设定成比动机的恒速驱动及电动机的减速驱动)中发生的末端执行器(110)[0076]举例来说，测量时段设定部(137)可将电动机(120)的转矩值的测量时段(T)设定为短至4毫秒(ms)到12毫秒(ms)，且可将电动机(120)的转矩值的测量时段(T)设定为短时[0078]此处，转矩测量部(131)可至少在加速驱动的起始点(或起始时间)处测量电动机(120)的转矩值。转矩测量部(131)可在原点(或加速驱动的起始点)处测量电中在原点处测量电动机(120)的转矩值。在加速驱动的起始点(或原点)处测量的电动机速驱动的起始点处测量的电动机(120)的转矩值(或0一时段转矩测量值)来计算转矩差值测量的电动机的转矩值)来计算转矩差值(D)，从而检测加速驱动中末端执行器(110)的碰值若干次，以计算利用时间差测量的所述两个转矩测量值之间的转矩差值(difference[0087]根据本发明的衬底转移设备的操作方法还可包括设定碰撞确定参考值的过程参考值可为指示转矩测量值的突然变化(或经验性地)测量由于末端执行器的碰撞引起的在预先测量的由于末端执行器的碰撞引起的电动机的转矩值与正常条件下每单位时间转执行器的碰撞造成的损坏(例如，对衬底转移设备和/或碰撞目标的损坏，或者衬底的缺设定的碰撞确定参考值，则可确定末端执行器的碰撞。在确定末端执行器的碰撞的过程[0091]根据本发明的衬底转移设备的操作方法还可包括记录转矩值的测量位置的过程[0092]可记录转矩值的测量位置(S250)。以上碰撞检测单元的测量位置存储部可记录(或存储)转矩值的测量位置，且可知道在哪个位置测量了电动机(120)的转矩值。举例来的测量位置记录为旋转轴中的每一者的旋转角度和/方向上驱动电动机将末端执行器的位置或旋转轴中的每一者的旋转角度(或旋转速度)调将末端执行器维持(maintenance)在前一测量位置(即，最近测量的位置)处或者将由末端的碰撞造成的损坏最小化，且还确认由末端执行器的碰撞造成的损坏和/或改善维护后转[0096]根据本发明的衬底转移设备的操作方法还可包括存储所测量的电动机的转矩值存储部中。此可容许检索最近时段转矩测量值并与当前时段转矩测量值进行比较(或计[0101]在增大电动机的转矩以进行移动的加速过程(S110)中，可使停止的末端执行器[0103]在通过降低电动机的转矩进行移动的减速过程(S130)中，可使末端执行器和/或[0105]根据本发明的衬底转移设备的操作方法还可包括设定用于加速过程(S110)的时[0106]可设定用于加速过程(S110)的时间(S40)。加速时间设定单元可设定用于加速过[0107]此处，随着加速过程(S110)中的最大转矩值越小且加速过程(端执行器的移动距离足够长，则加速过程(S110)中的最大转矩值可增大以进行平滑(或快速)转移(过程)，且可将用于加速过程(S110)的时相对于所设定的用于加速过程(S110)的时间的变化率(电动机的转矩值的变化量/所设定所设定的加速过程(S110)的时间的变化率成比例地(根据所述变化率)设定碰撞确定参考[0109]此处，由于加速过程(S110)中的最大转矩值根据末端执行器的移动距离(实验性地或经验性地)是固定的(或确定的)，