CN119452571A 体声装置和体声装置的制造方法 （罗伯特·博世有限公司）

2024.10.24PCT/EP2023/0601392023.04.19WO2023/208685DE2023.11.02如此构造所述压电元件(3)，在所述第一电极(1a；1b)存储的第一电磁信号在所述压电元件一电介质层(7)，该电介质层包围所述第一电极2其中，所述压电层(31，33)的声学层厚度分别相应于待传递在所述电介质层(7)中形成(S6)至少一个分离沟槽(11a；11b)，所述分离沟槽(11a；10.根据前述权利要求9所述的方法，其中，膜(12)跨越所述至少一个分离沟槽(11a；34[0001]本发明涉及一种体声装置(VolumenakustischeVorrichtung)和体声装置的制造[0004]由专利文献US2018/085787A1和US2013/193808A1可知一种BAW组件，在该组件中通过两种不同的带有相反极性的压电材料的堆叠在更高的运行频率时也可保持低电容，[0010]体声装置包括作为谐振器核心元件的压电元件。因此谐振器核心被电介质包5面成型，通过至少一个绝缘沟槽的形状和位置更好地抑制非预期的副波模式[0012]根据体声装置的一个实施方式，分离沟槽在电介质中实施为墙状的和/或为柱列该膜中构造通向第一电极和/或第二电极的引线。分离沟槽因此也可以完全环绕谐振器核厚度相应在钝化材料中的谐振器核心的中心通过频率的声波长的四分之发送信道和接收信道间的信号干扰不仅在移动终端设备的通信模块中也在基站中可以避起的电容增加以及能够保持例如50Ω的目标阻抗值。然而缩小可能引起更高的声能量损6[0022]在第二电极上的至少一个另外的压电层用于在第二电极上有效率地将电磁波转磁波在第一电极处被压电元件转换回声波并且在对面的第二电极处反向转换回第二电磁p[0025]只要压电层和中间层堆的声学层厚度d因此相应转换了的电磁波(即声信号)的p[0031]λa/4+λa/4=λa/2[0036]这里第一相加数说明相应的第一子层的声学层厚度并且第二相加数说明第二子7至少一个中间层由带有奇数倍λa/2层厚度的单个层形成，并且另一中间层由带有奇数倍a/4层厚度的多层声布拉格反射层形成。[0042]根据体声装置的另一实施方式，压电层的材料包括氮化铝(AlN)或者掺钪氮化铝(ScAlN)。这是有利的，由于高声速允许相对较大的层厚度。其他可能的材料有二氧2避免声能量在基底的损失，以保持小的插入损失。在此涉及SMR(固态装配谐振器solidly[0044]根据体声装置的另一实施方式，底切(unteritzt)第一和/或第二电极(并且因此域(尤其也大于10GHz)的频率或者作为重力谐波传感8[0057]第一布拉格反射器1a由电传导的材料组成并且作为第一电极并且第二布拉格反[0058]在第二布拉格反射器2a和第一布拉格反射器1a之间布置有压电元件3。经由第一[0059]压电元件3包括带有整流后(gleichgerichteter)的极性的两个基本相同的压电2中示出的体声装置100不同，在这种实施方式中的分离沟槽11b横向完全地包围压电元件[0065]图7示出体声装置制造方法的流程图。尤其可以制造在图1至6中示出的体声装置9压电层31，33和中间层32的声学层厚度分别相应于待传递的声信号的半声波长的奇数倍