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汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量种汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系S5：获得待测汇聚光学系统在i个细光束出射位除了汇聚镜组对超高精密光学系统（如光刻机2待测样品台，所述待测样品台用于固定所述待测汇聚光学系统，并使所统出射的细光束依次经所述第二波片和所述第二偏旋转单元，所述旋转单元带动所述接收单元进行旋转，使所述接收单元所述光束出射系统出射一条已知振幅分布的粗光束或一条细光束，且将一条粗光束视为n所述光源平动装置与所述光强探测器的位置关系为：所述光强探测器垂5.一种汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量方法，利用权利要求1_4任意一项所S4：对所有的光强数据进行傅里叶拟合，获得所述S5：利用光源平动装置对所述光束出射系统的光S6：对步骤S5获得的所有细光束出射位置下的3;;;;;;;;。10.根据权利要求9所述的汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量方法，其特征在4;其中，为n条细光束在x方向上振动的叠加，为n条细光束在y方向上振动的叠振动方向与空间直角坐标系的Y轴的夹角，为球坐标系下的积分范围(p,o,p)；。5[0003]在测量光学系统的偏振调制特性时，需使用聚焦镜组和准直镜组来保证光路准6;;7;;;;其中，为当前细光束在x方向的振动幅值，为当前细光束在y方向的振动幅;;。;。8。图1为本发明创造实施例所述的汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统的图2为本发明创造实施例所述的汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量方法的基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另9[0029]第一波片和第二波片用于调制线偏振光的偏振态，在第调整细光束的入射位置（在入瞳面上的入射坐标从而测得不同入射位置时的穆勒矩阵；的光强数据进行傅里叶拟合，获得待测汇聚光学系统在当前光束出射位置下的穆勒矩阵；;;为第一波片的旋转角度。为对应角度下光强探测器检测到的光强值I，用采集的光强与旋转角度数据完成傅里叶拟;;;;其中，为当前细光束在x方向的振动幅值，为当前细光束在y方向的振动幅;;(p,o,p)。;,表示水平偏振分量和垂直偏振分量之和，表示水平偏振分量和垂直偏振分量之差，差。;;测量中四个相位项分别为：;;;;。[0050]而基于粗光束衡量汇聚光学系统立体偏振调制效应的方法是计算入瞳所有细光;;。如，本发明公开中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执

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