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路288号湖景科技园15号楼111-73单元用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线2确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝设置所述功率补偿线圈的绕线方向与所述粗调线圈、所述细调线圈的绕线方向相反；述功率补偿线圈各线圈对应的电流值设有最根据所述最大安匝数获取所述粗调线圈和所述细调线圈各自对应的电流值的最大激基于所述各自对应的电流值的最大激励值和所述粗调线圈和所述细调线圈各自对应线圈和所述功率补偿线圈在根据权利要求1_6任意一项所述的方法下协同作用，以使得所3存储器，其上存储有带电粒子束系统中保持物镜恒温的计算机4移致使器件的性能无法控制在稳定状态，对带电粒子束的束斑大小和分辨率都会产生影5述各自对应的电流值的最大激励值和所述粗调线圈和所述细调线圈各自对应的电阻值计[0018]通过参考附图阅读下文的详细描述，本申请示例性实施方式的上述以及其他目图1是示根据本申请实施例的用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法的示例6图4是示出根据本申请实施例的用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的设备的示请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，[0023]图1是示根据本申请实施例的用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法100的7三种线圈的线圈匝数确定后，可以根据线圈匝数和每圈的周长计算获得各线圈的绕线长8[0035]图中示例性示出功率补偿线圈203的绕线方向与粗调线圈201、细调线圈202的绕[0037]图3是示出根据本申请实施例的带电粒子束系统300的示例性结构框图。如图3中[0040]下面将以物镜线圈的安匝数为1000_2000AT为例说明本申请实施例的用于带电粒9粗调线圈的电阻值R0和细调线圈的电阻值R1分别[0047]图4是示出根据本申请实施例的用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的设备400处理器401和存储器402之间通过总线进行通信。存储器402存储有用于带电粒子束系统中被一个或多个处理器执行时，实现本申请结合附图1所描述的用于带电粒子束系统中保持[0053]虽然本申请的实施方式如上，但所述内容只是为便于理解

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