金瑞泓昂芯微电子年产96万片12英寸硅外延片项目环境影响报告书

年产96万片12英寸硅外延片项目环境影响报告书二O二六年二月I 1 1 2 3 5 6 7 8 8 20 29 62 65 65 73 78 88 89 91 91 98 98 112 154 1767.1项目实施后环境影响预测与环境质 178 185 闲厂房，同时购置外延炉、背封机等先进生产设备，实施本次年产96万片12123456采用背封、外延和清洗等常用硅片生产及半导体行业生产7新增酸雾废气碱喷淋处理设施，背封废气自），）；8环系统等公用工程；废水处理依托同一厂区内金一书根据《建设项目环境影响评价技术导则总纲》（HJ2.1-2016）要求，受企业委托后，研究国家和地方有关环境保护的法律法规、政策、标准及点和环境保护目标；根据初步工程分析确定工对项目选址地进行实地踏勘，对厂区及项目所在地气象、水文、周围污染源分布情况进行调查分析二对区域大气、声环境、土壤、地表水及地下水环境进行资料收集、监测、分析与评价三根据工程分析，提出环境保护措施，并进行技术经济论证环项目位于浙江省嘉兴市南湖区嘉兴工业园区产业集聚于工业园区，项目为下游集成电路及功率器件等产品配片，控制总体规划；另外项目严格落实污染物总量周围居民区有一定距离，不涉及高污染燃料的使用，因此项求用策施细则》中的禁止类。同时项目已取得备案通知书，因此项目建型价分类管理名录》（2021年版项目属于“三十六、计算环评审批负面清单中的三类工业项目，因此项目不降低环评等级，仍可企业也暂未纳入嘉兴市环境监管重点单位名录；因此企业排污许可类“三线一单”三线划定成果》，属于城镇集中建设区，不占用生态保护红线和永久项目租用厂房进行生产，项目营运期水、电等公共资源由当地相关单位供应，且当地资源供应充足，也不占用当地其他自然资源和能根据监测，区域大气、地表水、地下水、声环境和土壤环境质量均达标。随着“五水共治”等工作推进，区域环境等将会得到进一步项目实施后，企业废气、废水均处理达标后排放；固废等均能得到妥善处置；噪声、地下水等经采取相应防治措施后对周边环境影响项目位于浙江省嘉兴市南湖区嘉兴工业园区产业集聚重点管控单位于工业园区，项目为下游集成电路及功率器件等产品配套生产硅外延片，控制总体规划；另外项目严格落实污染物总量控制制度，且距离周围居民区有一定距离，不涉及高污染燃料的使用，因此项目满足划定成果》，属于城镇集中建设区，不占用生态保护红线和永久求12345678目的建设对环境影响不大。从环境保护角度看，(1)《中华人民共和国环境保护法》（中华人民共和国主席令第九号，2015）；(2)《中华人民共和国噪声污染防治法》（中华人民共和国主席令第一〇四）；(3)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》（第十三届全国人民代表）；(4)《中华人民共和国水污染防治法》（中华人民共和国第十二届全国人民）；(5)《中华人民共和国大气污染防治法》（第十三届全国人民代表大会常务）；(6)《中华人民共和国土壤污染防治法》（第十三届全国人大常委会第五次）；(7)《中华人民共和国环境影响评价法》（第九届全国人民代表大会常务委）；）；(9)《中华人民共和国清洁生产促进法》（中华人民共和国主席令第五十四）；）；）；）；）；）；革委员会、公安部、交通运输部、国家卫生健康委员会令第）；(18)《关于加强规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动工作的意(21)《关于印发<企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法>（试(29)《建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类》（生态环境部公(1)《浙江省生态环境保护条例》(浙江省第十三届人民代表大会常务委员会(2)《浙江省大气污染防治条例》（浙江省第十三届人民代表大会常务委员(3)《浙江省水污染防治条例》（浙江省第十三届人民代表大会常务委员会(4)《浙江省固体废物污染环境防治条例》（浙江省十三届人大常委会第三(5)《浙江省土壤污染防治条例》（浙江省十四届人大常委会第六次会议，(7)《浙江省人民政府关于印发浙江省水污染防治行动计划的通知》（浙江(8)《浙江省环境保护厅关于印发《浙江省企业事业单位突发环境事件应急）；）；）；）；）；(13)《浙江省生态环境厅浙江省公安厅浙江省交通运输厅关于印发<浙江省小微产废单位危险废物收运贮存管理暂行办法>的通知》（浙环发〔20）；(14)《浙江省生态环境厅浙江省公安厅浙江省住房和城乡建设厅浙江省交通运输厅关于印发<浙江省工业固体废物电子转移联单管理办法（试行）>的）；）；(16)《嘉兴市生态环境局本级负责审批的环境影响）；）；）；）；(21)《浙江省安全生产委员会成员单位安全生产工作任务分工》（浙安委）；(2)《市场准入负面清单(2025年版)》（发改体改规〔2025〕466号，2025(1)《浙江省人民政府关于浙江省水功能区水环境功能区划分方案（2015））；(4)《浙江省生态环境厅关于印发<浙江省生态环境分区管控动态更新方案>(5)《嘉兴市生态环境局关于印发<嘉兴市生态环境分区管控动态更新方案>(6)《嘉兴市生态环境局关于印发<嘉兴市环境空气质量功能区划分方案(1)《建设项目环境影响评价技术导则总纲》（HJ(2)《环境影响评价技术导则－大气环境》（(3)《环境影响评价技术导则－地表水环境》（HJ(4)《环境影响评价技术导则－地下水环境》（HJ(5)《环境影响评价技术导则－声环境》（(6)《环境影响评价技术导则－生态影响》(7)《环境影响评价技术导则－土壤环境（试行）》（HJ9）；(8)《建设项目环境风险评价技术导则》（(9)《环境空气质量评价技术规范（试行）》（HJ(12)《关于发布<建设项目危险废物环境影响评价指南>的公告》(原环保部(13)《污染源源强核算技术指南准则》（）；(18)《环境影响评价与排污许可领域协同推进(2)浙江省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书（项目代码为本项目建设阶段和生产运行阶段对各环境要素可能产生的污染影响与生态/////////////备注：(均考虑正常情况，不考虑非正常情况直接与间接影响表征：oo表示直接影响，o/乙烯、反-1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷，1,1,2,2-四烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-///环境空气执行《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及修改单中二级标准要求；氯化氢和氨参考执行《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）1ug/m32NO23/4PM10/5PM2.5/6NOx7//87/94/mg/m3/ug/m3氨//*注：O3还有日最大8小时平均值，为160ug/m3。BOD5CODMnNH3-NpH值<5.59>650>2000>350>350铁>2.0锰>1.50铝>0.50≤0.001≤0.001≤0.002>0.01>10.0>1.50>4.80>30.0≤0.001>0.1>2.0汞≤0.0001≤0.0001≤0.001≤0.002>0.002砷≤0.001≤0.001>0.1镉≤0.0001≤0.001≤0.005>0.01≤0.005>0.10铅≤0.005≤0.005>0.10MPNb/100mL>100>1000限值。氟化物土壤环境质量执行《建设用地土壤污染风险评估技术导则》(DB33/T892-2022)附录A.2建设用地土壤污染物风险评估筛选值其他项目中的非1砷2镉34铜5铅6汞7镍89955苯4䓛萘//9注：1.排气筒排放速率通过插值法计算；2.排气筒高度应高出周氨起纳管，纳管执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中间接排协商的限值按表1中的间接排放限值单CODCr5（8）*表2.2-12《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)环境防治法》中的有关规定要求。危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》根据《环境影响评价技术导则－大气环境》(HJ2.2-2018)，分别计算项目主0接排放。根据《环境影响评价技术导则-地表水环境》（HJ2.3-2018）中“5.2.2根据《环境影响评价技术导则-地下水环境》(HJ610-2016)，该导则标准适境影响评价行业分类表”，项目主要从事硅外延片的生产，属于半导体材料根据《环境影响评价技术导则－声环境》（HJ2.4-2021）中“5.1.4建设项项目建设期仅为房屋简单装修和设备的安装调试，且持续时间较短，因此////√/√/////全部污染物指标a备注b全部污染物指标a备注ba根据工程分析结果填写。b应描述污染源特征，如连续、间断、正常、事故等；涉及大气项目占地面积为1.2hm2，占地规模为小型(≤5hm2）。影响源、影响途径、影响因子的识别结果，参照相近大中小大中小大中小———123456789盐酸(≥37%）盐酸(≥37%）注：氯化氢等特种气体最大存在量根据表3.1-7主一从严全部按硼烷考虑；废气设施中氢气存在量较小，最大量环评从严按计算所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其在《建设项目环12513415561789盐酸(≥37%）多套工艺单元的项目，对每套生产工艺分别评分并求和。将M划分为（1）M>202）10＜M≤203）5＜M≤104）M=5，分别以M1、M2、M35a高温指工艺温度≥300℃,高压指压力容器的设计压力（P）≥10.0MPa；根据危险物质数量与临界量比值（Q）和行业及生产工艺（M），按照表2.3-8确定危险物质及工艺系统危险性等级（P），分别以P1、P2、P3、P4对照《建设项目环境风险评价技术导则》(根据土壤现状监测，渗透系数为3.22×10-4cm/s，包气带防污性能对照导则ⅣⅢⅢⅣⅢⅢⅡⅢⅢⅡⅠ对照上表可知，项目大气环境风险潜势均为Ⅲ级、地表水和地下水环境风一二三a是相对于详细评价工作内容而言，在描述危险物质、环境影响途径、环境////////长三角重要的科创和先进制造业城市。充分发挥G6规划到2035年，形成生产空间集约高效、生活规划到2050年，全面形成高质量发展的国土空加快推进长三角生态绿色一体化发展示范区嘉善片区“强化核心、最优整体”战略。在推进全市深度融入长三角核心区网络化格县（市、区）毗邻地区协同区（洪合-濮院协同区、尖山-南“创新驱动、同强共富”战略。以G60科创走廊为引领对接上海、杭州创新市域创新创业空间，推动市域产业平台协同合作，“生态优先、最美江南”战略。以长三角生态绿色一体化示范区为引领，优“提质增效、空间智治”战略。以国土空间基础信息平台为基础，建设完善年一体检、五年一评估”的定期体检评估模式，建立全流平方千米（190.76万亩）的永久基本农田。永久基本农田全市划定城镇开发边界1058.41平方千米，严格城外的建设，按照主导用途分区，实行“详细规划+规划许可传导落实上位规划要求，明确南湖区、秀洲区、嘉善完善城镇化潜力地区格局。推动块状经济转农田保护区。以永久基本农田集中分布区域为主生态保护区。主要包括具有特殊生态功能或生态控制区。主要包括生态保护红线外的生其他保护利用区。包括矿产利用区、区域基础渔业用海区。主要分布在海盐、平湖增养殖区游憩用海区。主要分布在九龙山和白塔山附近以开海洋预留区。主要分布在海盐毛灰礁及周边海域预“创新集聚”战略。强化拓展沪湖绿色发展轴线（G50），积极融入沪杭科创走廊（G60）及通苏嘉甬发展带，以“九水连心”城市市区共划定不低于341.27平方千米（51.1901万亩）的耕地和308.02平人不得擅自占用或者改变用途，重大建设项目选址等确难以避让永久基本农田市区划定生态保护红线24.04平方千米（3.6058万亩），主要分布在湘家开发边界内的建设，实行“详细规划+规划许可”的管制方式；在城镇开发边落实省级规划关于嘉兴市区作为城市化优势地区附加历史文化资源富集地“一城”即以南湖为核心的嘉兴中心城区。践行人民城市理念，以打造“社会主义现代化先行市”为统领，提高城市首位度，提升城区生活品质与吸引力，强b）功能定位d）统筹划定“三条基本控制线”其中永久基本农田保护面积不低于4.92万亩；城镇开发边界面积不超过28.68县道。规划落实6条县道，即X202乍王公路、X212新大公路、X116嘉善快速路。规划落实3条快速路，形成“两横一纵”的快速路结构，“两横”h）构筑“15分钟、5-10分钟”生活圈高地遗址）、13处文物保护点（里斗石龙桥、陆宣泾桥、建国村步云桥、周家j）强化规划传导空间总体规划（2021-2035年）》控制线+名录”五位一体的方式传导；落实本规划确定的各类约束性指标管浙江嘉兴工业园区总体规划在城市总体规划、产业发展规划等相关专项规评+环境标准”改革实施方案中的环评审批负面清单为审批权限在环境保护部的项目位于浙江省嘉兴市南湖区嘉兴工业园区产业集聚重点管控单元(ZH33040220业国内先进水平，项目布局依托租用厂区，不新增用地，总体规模可控；项目不属本项目从事硅外延片的生产，属于《产业结构调整指导目录》(2024年本)行，2022年版）浙江省实施细则》中的负面清单项目，因此符合行业准入清单要求；项不属于生态管制清单中的各项管控措施要求；项目不属于区域1元3、钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业建设项目须严格执行相关产能置换7、合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防绿地等隔离带.2、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设表2.4-2《浙江嘉兴工业园区总体规划（2017-2030年）环境影响报告局企业成立时间较早，未进行护环保基础设施园区内部分土企业污染防治部分企业存在三废处置不规范，生产车间相关污染防治措施不到位，或者已不能符部分企业环保理念不强，管区各项环保整治工作推行力设施无故停用、不规范设置等行为的处罚力环境空气质量监测中，各监(GB3095-2012)中的二级标当地的道路施工、房产建设等基建设施建设，使大气环做好园区内道路等基建项目施工过程中的监上游来水水质较差；周边生活和农业面源截污纳管率不高水截污纳管率，加强农业面源治理。结合“五园区少部分项目未经环评审批，竣工环保验收执行率较低；现有大部分企业管理机点企业清洁生产审核执行率①落实区域内项目的环评制度及“三同时”制根据其具体情况敦促企业加快完成竣工环保③嘉兴工业园区管委会应加大通过清洁生产开发区整体土地利用效率较低，与其他园区存在一定的对于目前单位工业产值能耗、水耗较高的企活污水均收集排入市政污水管网送联合污水厂通过联合污水厂提标改近岸海域污染防治实施水厂尾水正常排放对其影响在可承受的范围内/NH3-N/值不会影响环境质量底线/NO2环境质量将有所改善//VOCs南湖区正在开展VOCsVOCs排放量的增加，嘉VOCs应实行现役源2倍///注：①对以第三产业为主导的产业园区或特色小镇应提出工业源、生活源、交通运输源的大气污染物排放局用局模年）》（2014调整完善版衔接，确保用地性质一/规划求划//线///////////////////////////），业收////《嘉兴市“三线一注：1、如遇国家、省、市出台或更新更高标准的产业政策或文件规定，则从其要求2、对列入本清单的项目，原则上禁止准入，如确有必要的重点项目或人才项目3、本清单中的中“行业清单”、“工艺清单”、“产品清单”之间为“或1区工业园区产业集聚重点管控单元工业项目，提高三类工业项目准入门槛，对不符合南湖区重点支持产业地等隔离带.3、加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、业/////艺////////////////////////////《嘉兴市“三线一2准①大气：《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放标准、《饮食业油烟排放标准(试行)》（GB18483-2001）、《工作场害因素》（GBZ2-1-2007）中的短时间接触容许浓度限值要求；恶臭污染物排放标准大气污染物排放标准》（GB9078-1996）、《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB33/业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/88③噪声：《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)中的标准、《工业企业厂界环境噪声排放④固废：《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）及修改单、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及环境保护）；⑥其它准入产业中涉及的国内外行业标准和国家、地方新发布的排放标准，如3标准NH3-NNOxVOCs④噪声环境：《声环境质量标准》（GB3096－2008）、《声环境功能区划分技术规范》（GB/T15190–2014）；⑤土壤及河道底泥环境：《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（⑥其它准入产业中涉及的国内外环境质量标准和国家、地方新发布的环境质量标准，如4化“亩均论英雄”改革高质量投资工业项目管理办法（试行）》等④其它：其它国家及地方新发布的环境准入标准、环境准入指导意见、行业准入条件、技术规范等，如相关标准更新则以最浙江省生态环境厅出具了《浙江省生态环境厅<关于浙江南湖经济开体规（2023-2035）年环境影响报告书>的审查意见》（质量底线和污染物排放总量要求。规划实施对重要环境敏感目标的影响总体不书》中的清单要求，因此本项目基本符合规划项目位于浙江省嘉兴市南湖区嘉兴工业园区产业集聚重点管控单元(ZH33040220区域逐步搬迁、腾退计划、恶臭异味信访投诉、“五处理达标后纳入嘉兴市南湖工业污水处理有限公司，经处理达标后排放；因此项目不存单建议本规划在用地性质和用地指标上需进一步加强与三区三线、嘉兴市区国土空间总体规划态保护红线和永久基本农田，另外项目距离敏感点较远，500米范围内没有居民点，因此项目符合规划），制类项目、“纺织业C17、纺织服装/服饰业C18”中“有洗毛、脱胶、缫丝工艺的；染整工艺有前处属于《产业结构调整指导目录》(2024年本)中的鼓励类，不属于区域禁止准入产业和限值准入产业，因行，2022年版）浙江省实施细则》中的负面清单项目，因此符合行业准入清单要求；项），制类项目、“纺织业C17、纺织服装/服饰业C18”中“有洗毛、脱胶、缫丝工艺的；染整工艺不属于《产业结构调整指导目录》(2024年本)中的限制类和淘废气：工艺废气执行《合成树脂工业污染物排放标准》（GB31572-2015）及修改单、《化学合成类制药工《合成革与人造革工业污染物排放标准》（GB21902-2008）、《化学纤维工业大气污染物排放标准》（DB33/2化学工业污染物排放标准》（GB31571－2015）及修改《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）、《水泥工业大气污染物排放标准》（DB33/1346-20标准》（28665-2012）、《炼钢工业大气污染物排放标准》（GB28664-2012）及《关于印发浙江省钢铁行业超低排放改造实施计划等；恶臭废气《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）新扩改建二级标准；工业炉窑等废气排准》(GB9078-1996)及《关于印发<工业炉窑大气污染综合治理方案>的通知》（环大气〔2废水：纳入南湖工业污水处理厂的石油化学企业、合成树脂及化纤加工企业和无机化学企业废水纳管分别执行《石油化学工业污染中的间接排放标准；生物制药类企业排放废水执行《浙江省生物制药工业污染物排放标准》（D化学合成制药类企业排放废水中总镉、烷基汞、六价铬、总砷、总铅、总镍、总汞等特征污染物执行《化学合成类制药工业水污染物排放标准》（GB21904-2008其他污染物排放的控制要求由企业与城镇污水处理厂根据其污水处理能力商定或执行相关标准；制革及皮毛加工企业废水纳管标准执行《制革及毛皮加工工业水污染物排放标准》（GB30486-2013）表3中特别排放限值；涉及特别排放限值）；一般企业经自建污水处理设施预处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准后纳入市政污水管网，其中氨氮和总磷执行《工业企业废水氮、磷污染物固废：一般工业固体废物暂存、处置执行《一般工业固体废物贮存和《危险废物焚烧污染控制标准》(GB18484-2020)响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）风险管控标准（试行）》（GB36600遵守《<长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）浙江省实施细则》、《产业结构调整指导目录》、《外商投资产业指导目录》、《浙江省制造业产业发展导向目录》、《市场准入负面清单》等文件及法律法规要求。其中国家和地方颁布的产业目录均业区块、有污染和干扰的工业企业之间设置防护绿地、生态绿业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实12345元2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模。鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改生、文化教育等功能区块，与工业区块、有污染和干扰的工业企业之间设置防护绿地、生根据区域环境质量改善目标，削减排放水平要达到同行业国内先进水放项目须符合生态环境保护法律法规和相关法定规划，强化“两高”行业排污许可证管理，推进减污降改造项目，深化工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建生产改替代要1优化产业布局和结构，实施分区差别化的产业准23和干扰的工业企业之间设置防护绿地、生态绿地项目所在区域属于工业功能区，和周围居民45项目严格落实总量控制制度。本项目实施后6项目废气、废水等污染物经处理后达标排放7法定规划，强化“两高”行业排污许可证管理，推进减污降碳根据生态环境保护法律法规和相关法定规划，项目“两高”行业；推进减污降碳协同控制89根据生态环境保护法律法规和相关法定规划，项目相关工作在企业配合下由当地政府及相应主管环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治企业将定期开展企业环境风险防范设施设备水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能XY环境风险WWNENSSNNNNNNNNWXYSWWNWNNEEEESWNWNNWWWXYWWWWWWNWNWNN境///S///N/////境//////////////3建设项目工程分析2504-330402-89-02-91放级沉淀（投加磷酸二氢钙酸碱综合废水处库废水处理依托厂区内金瑞泓微电子（嘉兴）有限公司雨污收集处理系统依托金瑞泓微电子（嘉兴）有限公司纯水制备系统、冷冻机组//12121231理12达标排放；危废和固废等均妥善处置，对环境影）；）；1/177243242526/27/184449/4/1/11/3//3/3/5/4/4/1/21331），12英寸硅外延片生产过程中的一步必要工序进行生产，背封厚度一般在几个微同时考虑背封预处理和后清扫等时间消耗，每批次产品背封时间约为3mb）外延设备），项目背封+外延等整体成品率约在65%左右，则背封和外延成品生产能力约），本项目使用原辅材料包括抛光衬底硅片等，主要原辅材料消耗情况见表123kg/a钢瓶；汽运5钢瓶；汽运6H278钢瓶；汽运9////////注：纯水制备和废水处理涉及的原辅材料由依托企业环评进行（1）氢氟酸（Hydrofluoricacid氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。熔点-83.3℃,沸点19.54，闪点（2）硝酸（Nitricacid无色透明发烟永久性伤害，可使消化道穿孔，吸入可以引起痉挛、炎症、喉及支气管水肿、（3）氨水（Ammoniumhydroxid（4）盐酸（Hydrochloricacid盐酸为不同浓度的氯化氢水溶液，呈或烟雾，可引起急性中毒:出现眼结膜炎，鼻及口腔黏膜有烧乙醚，不溶于苯、石油醚。纯过氧化氢是淡蓝色的粘稠液体，熔点-0点150.2°C，纯的过氧化氢其分子构型会改变，所以熔沸点也会发生变化。凝固 (ºC-185。5.沸点(ºC,常压-111.9。6氨/按照《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）规定，风险识别LD50(大鼠经口)mg/kgLD50(大鼠经皮)mg/kgLC50(小鼠吸入,4h)mg/m3有毒物质5<LD50<2525<LD50<20050<LD50<400500<LC50<2000LD50(大鼠经口)mg/kgLD50(大鼠经皮)mg/kgLC50(小鼠吸入,4h)mg/m3易燃物质可燃气体：在常压下以气态存在并与空气混合形成可燃混合物；其沸点(常易燃液体：闪点低于21℃,沸点高于20℃的物质。在火焰影响下可以爆炸，或者对冲击、摩擦比硝基苯更为敏感的200—2000—123456789盐酸(≥37%）盐酸(≥37%）废暂存间暂存，上述液态风险物质储存过程中因容器破损等原因会发生泄漏事123氨水////气体供应装置、抽排装置及管道。洁净室温度控制在22项目生产过程产生的废水包括酸洗废水、碱洗废水以及酸洗和碱洗后的清洗废水。项目不设储罐7.1满足相关法规和排放标准要求可排入环境水体7.3废酸、废碱中和处理后产生的满足7.1或7.2条要求的废水。”间接排放标准后纳入市政污水管网。满足《固体废物鉴别标准通则》（GB生产废水经污水处理设施处理达标后和经化粪池预处理的生活污水一起达0注:氨氮和CODcr纳管浓度低于排放浓度，因此排放量按纳管量统计。总量指标仍按污水处称XYZ1/布隔1121311411516117191811911115151818111XYZ1/11连接等2/113/114/115/116/117/118/119/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11/11注：以车间西南角（120.864705；30.724894）为中心，东侧为X轴、北侧为Y轴、垂直方向为Z轴建立是硅是是是是是是根据《国家危险废物名录》（2025年版）以及《危险废物鉴别标准》，判是否否是是是否约在65~70%，则废硅片量年产生量约在根据《建设项目危险废物环境影响评价指南》（原环境环保部公告2017年第43号）的要求，项目危废情况单独汇总见表3.3-16。<0.001<0.001<0.001NOx氨m3/a000//9NOx氨//////废水00CODCr0000000000000废气0000NOx00氨0000固废00000注:氨氮和CODcr产生浓度低于排放浓度，括号内为总量控制指标。指标进行削减替代。因此总量控制指标区域平衡替代量为CODCr15.472×4环境现状调查与评价金瑞泓昂芯微电子（嘉兴）有限公司位于嘉兴市南湖区大桥镇新昌路1697和人为长期生产活动影响，使境内形成地势低平高程系)左右。该地区的地质构造属华夏古陆的北上部含水层由砂、砂砾石含少量粘性土组成，顶板埋深102-150米，厚8-25米。东北，含水组层次逐渐增多，地下水水位面以0.05-0.1‰的水力坡度微向东北倾在横向上，古河道中、下游一带，分异成河床相、河床-漫滩相、漫滩相及相对湿度(%)：嘉兴市大地构造体系属于扬子准地台钱江台褶带，余杭～嘉兴台陷的西北部，吴兴—嘉兴东西向隆起带的东端。基底由上古生界（PZ2）沉积岩系以及上有分布，沉积厚度受基底控制，从嘉兴向东至胥山方向厚度渐小；市区厚度理工艺、恶臭废气处理工艺三部分，其中，污水处理工艺为：预处理→A2/O生理工艺为高浓度调节池+厌氧池，低浓度预处理工艺为细格栅/曝气沉砂池+低浓度废水调节池，污泥经浓缩+脱水+干化后，进行外运焚烧；废水处理设施和污泥处理设施所产生的恶臭废气，经收集后采用“生物滤池+碱喷淋+次氯酸钠喷管道送入污水处理厂，进入高浓度废水调节池进行水质的均匀混合和水量的调理后的高浓度污水由提升泵送入A2/O生物三级强化深度处理工艺。嘉兴市南湖工业污水处理有限公司的出水需达到三级强化深度处理采用高效沉淀池+臭氧接触池+纯膜MBBR池+后置除磷沉淀MBBR池）进一步处理，去除难降解的污染物，然后出水再进入后置除磷沉淀出水口水质情况汇总见表4.3-1。企业所在区域污水管网已铺设完毕。项目生产废水和生活污水经处理后纳区。2024年嘉兴市区城市环境空气质量能达到二类区标准，属于达标区。2024/%7NO2PM10PM2.5南湖区全区11个市控以上断面、15个区控断面Ⅲ类及以上水质比例均达评价方法参考《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018）中的CODMn面00000000由监测结果可知，各厂界的昼夜噪声监测值均能达到《声环境质量标准》总硬度、溶解性总固体、总氰化物、亚硝酸盐、六价铬a）采样方式：采用自动式采样泵或人工活塞闭合式与敞口式定深采样器进b）样品采集前处理：应先测量井孔地下水水位（或地下水位埋深）并做好本项目地下水位监测结果见表4.4-6，地下水基本水质因铅、汞、镍；挥发性有机物：四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷，1,1,2,2-四氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二近项目所在地为工业用地，土壤环境质量执行《土壤环境质量建设用地土壤砷60①镉<0.5铜铅汞镍955苯4<0.09<0.06<0.1<0.1<0.2<0.1䓛<0.1<0.1<0.1萘<0.09<0.038pH///3.22×10-4//%/主要企业大气污染源情况见表4.5-1。数据来自相应企业最新环境影响报告123456789/423178CODCr/NH3-N//////NOx//VOCs////5环境影响预测与评价），有组织颗粒物(PM10)氨//岸线方向/°/123X/Y/////NOx//氨//12XY55NOx氨州）有限公司开发的大气环评专业辅助系统(DA001DA002/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%00000DA003~DA044/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%0000/%D10%最远距离/m000/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%/(µg/m3)/%0000012345氨6700001GB16297-2GB16297-3GB16297-4GB16297-5氨GB14553-00120340序号污染源非正常排放原污染物非正常排放浓度/(µg/m3)非正常排放速率/(kg/h)单次持续时间/h年发生频次/次应对措施1DA0010.25及时停工检修2DA0020.25及时停工检修NOx氨3DA003~DA0440.25及时停工检修评价等级与范围评价因子<500t/a☑评价标准现状评价□污染源调查□□☑大气环□□□□境影响预测与评价预测因子()包括二次PM2.5□不包括二次PM2.5□环境监测计划NOx）评价结论根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018），水污染影响水环境影响评价包括水污染控制和水环境影响减缓措施有效性评价和依托年产480万片300mm大硅片生产基地建设项目建设项目环境影响报告表》，同有机/酸碱废水在提升站储存槽储存后，通过泵打到废水站的酸碱综合废水管也能满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-pH值pH值pH值pH值0另外区域配套的嘉兴市南湖工业污水处理有限公司介绍详见章节4.3.1。1NH3-N厂□车间或车间处2NH3-N厂1间pHCODCrNH3-N51GB39731-20202NH3-NGB39731-20203GB39731-202045GB39731-20206GB39731-202012NH3-N3456NH3-N等相关管理要求1NH3-N////影响识别重点保护与珍稀水生生物的栖息地□；重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场现状调查现状评价河流：长度km；湖库、河口及近岸海域：面积k规划年评价标准()部分内容影响预测（三级B可河流：长度km；湖库、河口及近岸海域：面积k影响评价施有效性评价水环境功能区或水功能区、近岸海域环境功能满足重点水污染物排放总量控制指标要求，重点行业建设项对于新设或调整入河（湖库、近岸海域）排放口的建设项目，应包括排放口设置的环境合理性评价□满足生态保护红线、水环境质量底线、资源利用上线和环境准入清单管理要求☑算防治措施☑要求，项目环评采用的模型为《环境影响评价技术导则声环境》(HJ2.4-2021)附录A（规范性附录）户外声传播的衰减和附录B（规范性附录）中“B.1工团队根据生态环境部2022年正式实施的《环境影响评价技术导2.4-2021）中的相关模式要求编制，具有与导则严格一致性的特点，模式包括工昼夜昼夜昼夜昼夜评价等级与范围评价等级一级□二级□三级☑评价范围200m☑大于200m□小于200m□评价因子评价因子等效连续A声级☑最大A声级□计权等效连续感觉噪声级□评价标准评价标准国家标准☑地方标准□国外标准□现状评价环境功能区0类区□1类区□2类区□3类区☑4a类区□4b类区□评价年度初期□近期☑中期□远期□现状调查方法现场实测法☑现场实测加模型计算法□收集资料□现状评价达标百分比100%噪声源调査噪声源调查方法现场实测口已有资料☑研究成果□声环境影响预测与评价预测模型导则推荐模型☑其他□预测范围200m☑大于200m□小于200m□预测因子等效连续A声级☑最大A声级□计权等效连续感觉噪声级□厂界噪声贡献值达标☑不达标□声环境保护目标处噪声值达标□不达标□环境监测计划排放监测厂界监测☑固定位置监测□自动监测□手动监测☑无监测口声环境保护目标处噪声监测监测因子：()监测点位数()无监测☑评价结论环境影响可行☑不可行□注：“□”为勾选项，可√;“（）”为内容填写项。1定进行安全暂2345671车间东南侧23/4③贮存易产生粉尘、VOCs、有毒有害大气污染物和刺激性气味气体的危险①危险废物存入贮存设施前应对危险废物类别和特性与危险废物标签等危内部地面干净平整无损，地面应当做硬化或其2.应在贮存设施显著位置张贴符合《环境保护图形标志-固体废物贮存（处4.鼓励有条件的产生单位在贮存场所出入口、磅秤位置等关键节点设置视2.安排固定人员负责一般工业固体废物相关材料档案管理，包括一般工业3.建立一般工业固体废物环境管理人员的培训机制，定期组织相关人员参4.建立一般工业固体废物日常现场检查工作机制，明确日常检查内容、检境保护图形标志—固体废物贮存（处置）场》（GB15562.2-1995）修改单设置标志，建造执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）中的规定做项目危废仓库面积为30m2。位于生产车间东南侧。本项项目产生的危险固废要求企业在投入运行后全部与有危废处置资质的单位土壤环境影响小。但项目涉及氯化氢等酸性废气，长期来看，经积累后土壤中pH等可能将会增加，尽管转移速度较快，但也会对/////大气沉降☑；地面漫流□；垂直入渗☑；地下水位□；其他()////////////3//////价//附录E□、附录F、其他()///防治措施并建立事故应急预案，一旦发生泄漏事故，需立即//////人为蓄意破坏等)，主要考虑可能对厂区外敏感点和周围环境造成污染的危害事系统导致周边地表水的污染。结合《建设项目环境风险评价技术导则》氢/），三种蒸发之和。液体蒸发计算公式参考《建设项目环境风险评价技术导则》r——液池半径，m。取等效半径约6m；M——物质的摩尔质量，kg/mol，氢氟酸取0.02n3.846×10-34.685×10-35.285×10-3t3——从液体泄漏到全部清理完毕的时间，b）预测范围与预测点XY否/院《关于印发<浙江省企业突发环境事件应急预案编制导则>等技术规范的通知》（浙环办函(2015)146号）等相关文件规风险调查性人风险识别性火灾、爆炸引发伴生/次生污染物排放☑风险预测与评价大气毒性终点浓度-1最大影响范围202最近环境敏感目标事故废水环境风险应明确“单元-厂区-园区/区域”的环境风险防控体系要设置事故废水收集（尽可能以非动力自流方式）和应急议针对风险，落实风险防范措施，其发生概率可进一步降低，其影响可以准》（GB3838-2002）Ⅲ类标准；地下水环境质量目标为《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）的Ⅲ类标准；声环境质量目标为《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准；土壤环境质量目标为《土壤环境质量建设用地土着“五水共治”、“五气共治”、“五废共治”等工作推进，区域环境将会得处理达标后纳管，最终经嘉兴市南湖工业污水处理有限公司统一处理达标后排6环境保护措施及其可行性论证自带scrubber处理装置（燃烧+水喷淋）处理后屋顶排气筒（约25m）排放。真空废气抽取后送外延设备自带废气处理设施，废气m3/h。外延炉废气真空泵真空泵LocalScrubber循环槽排气筒排放废水进入污水站本项目外延炉均自带专用的尾气处理装置，外延硼烷混氢用量较少，约0.032kg/a，尾气处理器(scrubber)是一种专门处理外延反应产生），123b）盛装液状物料的容器或包装袋应存放在室内，或存放于设置雨棚、遮阳c）加强对动静密封点的泄漏检测与控制，同时在车间安装有毒有害气体监d）项目利用密闭洁净空间进行生产，同时生产装置运行过程也密闭；废气e）项目在建设设计中应采用先进的设计理念，对于物料的贮存、投加、中为实现上述目的，要求企业在硬件上加强技术和新型密封材料的引进和投反馈制度，通过定时、定点进行巡回检查及时发现和消除泄漏点，积极创建"无背封废气经自带燃烧+水喷淋处理系统处理，根据《电子工业废气处理工程理后排放浓度和排放速率也能满足《大气污染物综合排放标准》外延生长废气经自带两级水喷淋处理，两级水喷淋氯化氢的处理效率在综上所述，本项目废气污染物经有效措施治排放相同污染物(不论其是否由同一生产工艺过程产生)的排气筒,若其距离小于其几何高度之和,应合并视为一根等效排气筒。若有三根以上的近距排气筒,且排根据建设单位提供的排气筒平面布置图及实地踏勘，企业外延生长废气排气筒（DA003-DA044）距离较近，排气筒之间距离小于高度之和，根据规定需计算水中的氟离子以CaF2矾花的形式析出，并形成大颗粒易于沉淀，有机/酸碱废水在提升站储存槽储存后，通过泵打到废水站的酸碱综合废水废水采用多级pH调整，可确保pH达标。也符合《电子工（GB18918-2002）中的一级A标采用“可视化”原则，即厂区管道(工艺、废水（5）源头控制上：①尽量选用低噪声、振动小的设备。②企业还需加强设收集贮存运输技术规范》（HJ2025-2012），本报告对于危险废物的收集和转③在危险废物的收集和转运过程中，应采取相应的安全防护和污染防治措输要求等因素确认包装形式，具体包装应符合如下要求：a、包装材质要与危险隔断危险废物迁移扩散途径，并达到防渗防漏要求；d、包装好的危险废物应设⑤危险废物运输应由持有危险废物经营许可证的单位按照其许可证的经营⑥危险废物转移实行转移联单管理制度，建设单位应建立固体废物台账管境保护图形标志—固体废物贮存（处置）场》（GB15562.2-1995）修改单设置制标准》（GB18597-2023）中的规定做好防风、防晒、防雨、防漏、防渗、防(3)建设单位应认真执行《浙江省工业固体废物电子转移联单管理办法(试行)》的转移联单管理要求，实现一般固体废物和危险固体废物产生、收集、贮件事”改革方案的通知》的要求，建立危险废物信息化管理系统，以“浙固码”(5)本项目危险废物的运输方式为汽车运输，危险废物运输应由具有从事危根据《环境影响评价技术导则-地下水环境》（HJ610-2016），地下水污染弱难-7cm/s难弱易弱-7cm/s难中易强易易/企业突发环境事件主要有：危险废物泄漏事故、厂区火灾事故引发的伴生/生产车间可能发生的环境事件有物料泄漏事故、电器设备引发的火灾事故3、必须组织专门人员定期进行巡回检查，有跑冒滴漏或其他异常现象的应4、广泛系统地进行培训，使所有操作人员熟悉自己的岗位，树立严谨规范5、进一步建立和完善安全生产管理体系和运行网络，应聘请具有丰富经验6、积极建立ISO14001体系、建立ESH（环保、安全、健康）审计和7、硅烷、三氯氢硅等气体储存及使用过程，在车间安装有毒有害气体泄漏各装置根据生产特点，在装置/车间内配备空气呼吸器、防毒面具、防护手从源头采取措施控制泄漏危害。要尽可能选用先进的工因此暂不考虑初期雨水。项目所在厂区内已建雨水排放口均配备了手自一体闸V总=(V1+V2-V3)max+V4+V5·V总—事故排水储存设施的总有效容积（即事故排水总量），mV1—收集系统范围内发生事故的一个罐组或一套装置的物料量，V5—发生事故时可能进入该收集系统的降雨量，m3；V2=ΣQ消消F—必须进入事故废水收集系统的雨水汇水面积，续时间按最低要求2h计，即108m3；V3、V4取0。另