CN119485087A 一种双膜片光学麦克风及制备方法 （上海大学）_第1页
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本发明公开了一种双膜片光学麦克风的制波导膜，再将聚合物波导膜与硅膜片结合的工2步骤二、将聚合物胶灌注到所述第一套筒的端面与所述灌注至所述单模光纤与所述第一套筒之间、所述第一套筒与所述第二套筒之间的缝隙内，将聚合物胶灌注到所述灌注空间内时，聚合物胶灌注至与所述第二套筒的顶部端面相平将紫外光照射聚合物胶后得到的样品置入显影液中，显影后去除未经照射的聚合物34[0001]本发明涉及光学麦克风技术领域，特别是涉及一种双膜片光学麦克风及制备方有良好的应用前景。由于光纤非本征型法布里一珀罗干涉(ExtrinsicFabryPerot56[0034]步骤二、将聚合物胶401灌注到第一套筒2的端面与第二套筒3的内侧壁围成的灌7去除聚合物胶401内的微量气体，加热使聚合物胶401固化，保证聚合物波导膜4的制备质膜4连接硅膜片5以及单模光纤1伸入灌注空间8将套筒硅膜片5和聚合物波导膜4硅膜片5进行键供一种基于聚合物波导膜的双膜片光学麦克风的制备方法更详[0059]1)参照图2(a)所示，用切割刀将单模光纤1切平，并将单模光纤1穿到第一套筒2[0067]本实施例提供的一种基于聚合物波导膜的双膜片光直径3050μm，厚度为40μm；硅膜片5、第一套筒2和第二套筒3之间形成的圆柱腔的直径为9

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