CN119487608A 使用频率相关传输线调制等离子体和离子能量的空间分布的装置和方法 （朗姆研究公司）

2024.12.30PCT/US2023/0270942023.07.07WO2024/015258EN2024.01.18使用频率相关传输线调制等离子体和离子具有各自的截止频率。该传输线包含传输线输信号至该传输线输入。该一或多个L_C滤波器传2室，其包含第一区域和第二区域，所述室被配置其中所述一或多个L_C滤波器传递所述输入信号的低频分量，但将所述输入信号的高3.根据权利要求1所述的系统，其中所述低频分4.根据权利要求1所述的系统，其中通过所述一或多个L_C5.根据权利要求1所述的系统，其中通过馈送至所述传输线的所述输入信号的频率的8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个L_9.根据权利要求1所述的系统，其中所述其中所述一或多个L_C滤波器传递所述输入信号的低频分量，但将所述输入信号的高其中所述第二区域中的所述等离子体的空间分布和离子能量在与所述传输线的所述12.根据权利要求10所述的系统，其中所述等离子体的所述空间分布通过所述输入信13.根据权利要求10所述的系统，其中通过所述输入信号的频率的改变来切换所述高3提供包含第一区域和第二区域的室，其中所述第一区域包含具有多个区段的传输线，馈送预定频率的输入信号至所述传输线，以将产生的电压局部化的产生的电压由所述传输线的一或多个区段18.根据权利要求16所述的方法，其中所述预定频率小于或等于所述选择区段的所述在包含第一区域和第二区域的室内产生等离子体，其中所述馈送预定频率的输入信号至所述传输线，以将产生的电压局部化20.根据权利要求19所述的机器可读储存介质，其中所述方法还包含改变所述输入信21.根据权利要求19所述的机器可读储存介质，其中所述预定频率小于或等于所述一4[0001]本申请涉及使用频率相关传输线调制等离子体及离子能量的空间分布的装置和方法。此申请要求于2022年7月11日提交的名称为“APPARATUSANDMETHODFORMODULATINGSPATIALDISTRIBUTIONOFPLASMAANDIONENERGYUSINGFREQUENCY_[0002]等离子体沉积是一种处理，其被利用以使用等离子体源来在一衬底上沉积薄过改变影响主体等离子体(bulkplasma)性质的参数、以及通过改变激励该感应电场的信近。例如，可绘制光滑表面以及方形的交叉点而忽略由纳米制造技术所形成的结构的有限附描绘记以表示对应或类似元件。[0009]图8根据至少一示例描绘了具有机器可读储存介质的处理器系统，该介质具有当5[0010]根据至少一示例来描述使用频率相关传输线调制等离子体的空间分布和离子能6在至少一示例中，轻微离子化的气体可被视为耦初级电感器)的次级电感器，其中该等离子体可被视为与该初级电感器耦合的该变压器的过随时间变化的电场结合随时间变化的磁场来加速7少一示例中，储能电路是用作振荡器电路以及备。在至少一示例中，RF信号源能够在显著电压下输出显著的RF电流(例如1安培有效值89也被称为天线区域或传输线区域。第二区域106也被称为真空区域或等离子体区域(例如，[0059]在至少一示例中，系统100包含位于第一区域105中的传输线120。在至少一示例和/或蓝宝iaur-I(2n,T,在至少一示例中，传输线120的截止频率随着在传输线120上的位置61传输线120的区段的输入信号被具有逐渐降低的截止频率的多个滤波器过滤。这样的效果是较低的频率(也被称为低频分量)可传递通过传输线120，因此可均匀地施加至传输线>0.5MHz)局部化。L_C滤波器可被设计以将较高频率局部化至传输线120的选择区选择输入信号的频率，由于高频信号所产生的电压可被局部化在该传输线120的一或多个号(例如，高频分量)所产生的局部化电压可以由一或多个区段被切换至其他一或多个区[0069]在至少一示例中，可利用单个传输线段的频率相关性质来控制在等离子体室104等离子体的空间分布和离子能量相对于耦合至传输线段的等离子体部分进行调制(例如，[0070]如果高频信号被叠加在低频信号上并馈送至传输线120，该低频信号可沿着传输因此被限制在传输线120的一部分，该部分具有大于该较高频率信号的截止频率的截止频率。在至少一示例中，这样的效果为传输线120的选择区段将较其他区段有较高的电压电设为20MHz以局部化该高频信号于区段S5_S[0074]图5描绘了显示多条曲线的一示例性图表500。图5中的单条曲线代表传输线(例如，指示为LC_1)的第一传输线段具有截止频率在大约1MHz的信号(在图5中在x轴上于1.0(指示为LC_5)具有在大约600kHz的截止频率(在图5中在x轴上于0.5标准化)。在至少一示不让频率传播的区段(电压V为零)的局部化电压。图6[0076]图7为根据该公开内容的调制等离子体的空间分布和离子能量的方法700的流程1简单有限状态机器的低功率逻辑，以执行调制等离子体和/或不同示例等等的空间分布和[0080]在至少一示例中，机器可读储存介质814包含调制等离子体的空间分布和离子能定频率小于或等于该一或多个区段的该一或多个L_C滤波器的截止频率。机器可读储存介[0082]与各种示例相关联的程序软件代码/指令可以实现为以下项：操作系统或专用程处理器808)执行工艺。[0084]有形机器可读介质814可以包括在各种有形位置中的可执行软件程序代码/指令和数据的储存设备，包括例如ROM、挥发性RAM、非挥发性存储器和/或高速缓冲存储器(cache)和/或如本申请所提及的其他有形存储器。在至少一示例中，程序软件代码/指令程序软件代码/指令可以从其他储存设备获得，包括例如通过集中式服务器或对等式网络同时间且在不同的通信会话(communicationsession)中或在相同的通其他指令序列或指令序列的组织，可以出现获得软件程序代码/指令和数据的这些方式的[0086]有形的计算机可读介质814的示例包括但不限于可记录和不可记录介质例如易失[0091]示例2.根据示例1所述的系统，其中所述[0094]示例5.根据示例1所述的系统，其率的改变来切换所述高频分量被局部化于其中的[0099]示例10.一种用于调制等离子体的空间分布和离子能量的系统，所述系统包含：述输入信号的低频分量，但将所述输入信号的高频分量局部化至所述传输线的选择区段；以及其中所述第二区域中的所述等离子体的空间分布和离子能量在与所述传输线的所述[0101]示例12.根据示例10所述的系统，其中[0102]示例13.根据示例10所述的系统，其部化的产生的电压由所述传输线的一或多个区段切换到所述传输线的另外的一或多个区[0107]示例18.根据示例16所述的方法，其含一或多个L_C滤波器，其中所述第二区域包含所述等离子体；选择所述第二区域的一部生的电压局部化于与所述第二区域的选择的所述部分相邻的所述多个区段中的一或多个[0109]示例20.根据示例19所述的机器可读[0110]示例21.根据示例19所述的机器述一或多个区段的所述一或多个L_C滤波