天准科技(688003)跟踪报告：双核驱动、多线共振天准工业AI装备迈入新周期

正文目录TOC\o"1-2"\h\z\u天科：AI×精光电，业AI备台 3工视为点从量测制装与身智能 326H1营提、修复业结迈三驱动 4AI检装：通与半体道开量间 6CPO测备算联浪下增蓝海 6导量测备从技突走产验证 9PCB设：AI算与端板驱的程备轴 具大：无物车到形器的栈化 14盈预与资议 16利测 16资议 17风提示 18图表目录图1准核产为业AI装，括AI测装AI程备身大方案 3图2司2020-2026H1收规及比化况 4图3司2020-2026H1母及非母利情况 4图4准技务构收占比 5图5伏务此重增长转为绩累项 5图6准技利及母净率平 6图7准技要务毛利水平 6图8检备2021-2026H1营及比化 7图9检备2021-2025年销及均价 7图10Scale-up场下的封形或转为向NPO/CPO应的擎 8图全硅模与NPO/CPO光擎场模 8图122025年球导量检设市规及争格局 9图13中大半体测设市规及比化 9图14天子司的营及利情况 10图15AI程备2021-2026H1收同变化 图16天科在PCB域的收况 图17全球PCB市规模 12图18全球AIServer及HPC关PCB场模 12图19全直光设业市规（位十元人币） 13图20天准NexT系列LDI助力PCB精线成像 13图21具大业务2021-2026H1收同变化 14图22具大业务2021-2025销及均价 14图23星物理AI基施以侧AI算元件载合座理AI工具与云理AI模型 15图24预计2030年国人城车量望近150万辆 16表1准技建量+行陷测”协同补务系 10表2行导明半体缺检设的展况 10表3司2026年-2028营业入测单：元） 17表4比司值况 18天准科技：AI×精密光机电，工业AI装备平台AIAIAIAI2005年，AIPCB图1天准的核心产品为工业AI装备，包括AI量检测装备、AI制程装备及具身大脑方案天准科技2026年半年度报告、天准科技官网26H1受益于AIAI202620268.8720252020-20229.6415.89202316.48202416.092.4%2025AI装备驱动AI17.9202621.046223.75亿元，同比增长49.6%，为全年业绩增长奠定坚实基础。2020-202320247,00020252452026年0.980.940.1图2公司2020-2026H1营收规及同变情况 图3公司2020-2026H1归母及非归净润情况200,000180,000160,000140,000120,000100,00080,00060,00040,00020,000

总营收/万元 营收同增长率

90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%

25,00020,00015,00010,0005,0000

2020 2021 2022 2023 2024 2025

900%800%700%600%500%400%300%200%100%0%-10002020 2021 2022 2023 2024 2025

-10%

归母公司利润/万元 扣非归母利润/万元 归母净润同比 扣非归净利同比Wind Wind近年来天准科技营收结构持续迭代，由消费电子量检测业务为主导，逐步演变为“量检测业务为基本盘，制程装备与具身智能业务双轮拓展”的平台化布局。2025AI2026新为AIAI3.753.551.5842%40%AI光伏业务逐步出清，资源配置效率得到释放。行业周期下行背景下，光2022-20243.633.842.9323%、23%、18%20250.63图4天准科业结收占比 图5光伏业由前重增长转变业拖累项4%48%25%26%6%36%33%25%6%33%4%48%25%26%6%36%33%25%6%33%37%30%10%60%40%18%42%47%34%29,38229,2875,70229,38229,2875,7026,30016%23%4%16%23%2021 2022 2023 2024 2025 2026H1AI制程设备具身大脑方案AI量检测设备2020 20212022202320242025测量类设备视觉检测设备Wind注：原披露口径下的视觉制程设备、智能驾驶方案业务分别归入新口径下的AI制程设备、具身大脑方案

Wind、天准科技可转债募集说明书、中证鹏元天准科技债券评级报告20252638.9%2.3pct25.9%，8.5pct2026年36.1%20251.3pct20254.3%3.5pct2026图6天准科毛率母净率水平 图7天准科主业毛利水平42.5%42.5%40.5%41.7%42.5%42.5%40.5%41.7%41.2%38.9%36.1%11.1%10.6%13.1%9.6%11.1%7.8%4.3%48.4%45.3% 46.1%45.7%48.2%47.0%32.9%33.3%29.6%32.1%25.9%21.4%29.6%25.8%21.0%5.6%16.7%12.7%45%40%35%30%25%20%15%10%

2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026H1毛利率 归母净率Wind

50%40%20%10%

2021 2022 2023 2024 2025 2026H1量检测设备 制程设具身大方案Wind注：AI量检测设备2021-2024年的毛利率数据基于原业务分类口径下测量类设备与视觉检测设备合并测算得到AI量检测装备：光通信与半导体前道打开增量空间CPOAI量检（先后经历2023（、24‑22520263.75亿元，同比提升28.9%2025达1,7562025图8量检测备2021-2026H1营收及同变化 图9量检测备2021-2025年总销量平单价140,000120,000100,00080,00060,00040,00020,000

40.0%37.2%28.9%37.2%28.9%-4.4%-1.6%-10.0%20.0%10.0%0.0%-10.0%02021 2022 2023 2024 2025

-20.0%AI量检测设/万元 视觉检测备/万元视觉测量备/万元 量检测备总收同比度报告

ind、天准科技2021-2025年年度报告及2026年半年

Wind、天准科技2021-2025年年度报告、湘财证券研究所注：AI量检测设备2021-2023年的销量数据由原财报披露口径下视觉检测设备及视觉制程设备销量加总得到我们认为，上半年公司业务端最核心的边际变化，是光通信量检测业务对根据2026CPO在线AOICPONPO传统电互联方案已逐步接近物理极限，光电融合成为行业重要演进路线。Scale-out400G800G向1.6T而Scale-upNPOCPO2025年全球NPO/CPO场规模约6.2亿元，预计20302,000在线AOI（自动光学检测设备）等工序的工艺难度与设备价值将显著上行，成为量检测设备需求扩容的中长期核心驱动因素。2026年8月14Spectrum-XEthernetPhotonics正式全面量产，为AIGPU到CPO/NPOAOI图10Scale-up场景下硬件的封装形式或将转变为面向NPO/CPO应用的光引擎羲禾科技招股说明书图11全球硅光模块与NPO/CPO光引擎市场规模可光模块亿元光亿元42

4

5

22

224222 25 24

2

222 222 22 224 225 222222222羲禾科技招股说明书、弗若斯特沙利文天准半导体设备业务具备突出的战略价值，其赛道属性决定了天准科技一旦实现技术突破，将构筑比传统视觉装备领域更强的技术壁垒。飞测20252025190.9KLA70%202645200225202635.9%至60.5亿美元。中国大陆半导体检测与量测设备国产化率较低，市场由几家垄断全球市场的海外企业占据主导地位。由此可见，半导体前道检测赛道并非充分竞争的同质化价格战市场，而是具备高技术壁垒、国产替代处于初期阶段的优质赛道，率先实现技术突破的国产企业，有望持续提升市场占有率，打开利图122025年全球半导体量检测设备市场规模及竞争格局

图13中国大陆半导体量检测设备市场规模及同比变化中国大陆半导体检测与量测设备市场规模/中国大陆半导体检测与量测设备市场规模/亿美元同比60504030201002021 2022 2023 2024 2025

40%30%20%10%0%-10%中科飞测2025年年度报告、Yole、湘财证券研究所 究所

中科飞测2026年半年度报告、Yole、湘财证券研在半导体领域布局上，天准科技搭建了“MueTec量测+矽行缺陷检测”的协同互补业务体系。2026VLSI20246.3%。表1天准科技搭建的“MueTec量测+矽行缺陷检测”的协同互补业务体系项目 矽行半导体 产业链环节定位 高端晶圆缺陷检测环节 半导体前道量测环节产品功能

粒缺陷等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷

对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描DaVinci套刻误差精密量测系代表产品 晶圆明场检测设备TB系列产

统、MT3000VIS/UV/IR晶圆量测系统等主要应用方向 逻辑芯片、存储芯片 化合物半导体、功率器件、MEMS、光电子等领域天准科技可转债上市募集说明书、天准科技官网图14天准子公司MueTec的营收及净利润情况子公司MueTec营收/万元子公司MueTec净利润/万元

14,16212,69912,6998,8689,0793,9718558981,590-205

-3782021 2022 2023 2024 2025Wind从产品落地进度来看，公司矽行半导体前道检测设备已形成层次清晰的截至202640nmTB1500表2矽行半导体明场半导体缺陷检测设备的进展情况产品/节点 主要适配工艺 2024年年度报告中及进展

2025年年度报告中提及进展

2026年半年度报告中提及进展TB1000/65nm及以上TB1100

TB1000通过客户验证并-在产线使用

TB1100已交付更多客户试用TB1500 40nm

完成多家客户晶圆样片验证

线的量产质量保障

已作为在线良率控制设备用于客户量产TB2000 14-28nm 完成厂内验证 交付给头部晶圆厂试用 已交付头部晶圆厂试用天准科技2024-2025年年度报告及2026年半年度报告PCB算力与高端板材驱动的制程装备主轴AILDICO22026AI3.55亿元，同比增长2025而PCB2022-2025年间，天准PCB由0.792.3644%PCBLDI2026年PCB图15AI制程备2021-2026H1营收及比化 图16天准技在PCB域的收情况60,00050,00040,00030,00020,00010,0000

2021 2022 2023 2024 2025 AI制程设/万元 营同比

80.0%68.0%47.3%68.0%47.3%29.6%0-15.1%.4%60.0%50.0%40.0%30.0%20.0%10.0%0.0%-10.0%-20.0%

23,59923,59916,80411,2987,9452022 2023 2024 2025PCB相关业务营收/万元Wind 天准科技关于可转债发行审核问询函的回复、天准科技2025年年度报告生成式AI的快速普及推动算力需求快速增长，AI服务器渗透率持续提升，带动PCB需求稳步扩容。据全球PCB行业权威机构Prismark于2026AIPCB852203012332020307.7AICCB202591203027324.6%。AIPCBAIAIPCBPCBPrismark2025-2030PCBHDI8%9.2%10.9%图17全球PCB市场模 图18全球AIServer及HPC相关PCB市规模全球PCB市场规模/亿美元

1233.48

AIServer/HPCPCB及载

273957.8957.8817.4851.52695.17735.65板市场规模/亿美元板市场规模/亿美rismark Prismark对PCB其中，PCBLDIPCBPCB20255720309310.1%。图19全球直写光刻设备行业市场规模（单位：十亿元人民币）其他领域其他领域先进封装PCB7.46.91.41.31.51.91.62.51.83.10.13.20.13.65.50.80.13.55.50.40.23.81.30.90.70.24.60.90.59.35.76.97.88.38.950.75.40.75.788.59.510.425201510502020 2021 2022 2023 2024 2025 2026E 2027E 2028E 2029E 2030E芯碁微装港股上市招股说明书、SEMI、IEA、Prismark、Yole、灼识咨询发布NexT系列LDIHDIIC2026年8NexT系列LDI±4μm，层间对准精度最高可达μ44μ20PCB向更高精度的HDIIC4μmPCB图20天准NexT系列LDI助力PCB高精度线路成像天准公司微信公众号具身大脑：从无人物流车到人形机器人的全栈进化AIL4202511.7875%；202615841.63.15亿元，同比增长约230%。据2026图21具身脑务2021-2026H1营收同比化 图22具身脑务2021-2025年销量平单价20,00018,00016,00012,00010,0008,0006,0004,0002,0000

2021 2022 2023 2024 2025

160.0%141.6%75.0%141.6%75.0%61.9%13.9%10.9%120.0%100.0%80.0%60.0%40.0%20.0%0.0%

14,00010,0008,0006,0004,0002,0000

2021 2022 2023 2024

2.52.02.12.02.11.81.60.41.51.00.50.0具身智能案/万元 营收同比ind、天准科技2021-2025年年度及2026年半年度报告

具身大脑案总量/台 具身大脑案平单价/万元Wind、天准科技2021-2025年年度报告、湘财证券研究所公司在具身智能领域的能力，本质上是对智能驾驶域控制器业务既有积公司于201820202022依托控制器硬件产品线，天准星智进一步向上拓展软件与平台能力，推动公司业务从硬件向软硬一体化基础设施延伸。AI‑SL星辰S，LMRobotaxi、Robotruck等的星光H/U。公司正在从“控制器硬件供应商”向“基础设施平台供应商”升级。2026图23星智物理AI基础设施以端侧AI计算单元为硬件载体，融合星座物理AI工具链与星云物理AI垂域模型天准公司微信公众号，湘财证券研究所202520252025年无人城配车全国销量约2.2有量达3AI2030150350万图24预计2030年中国无人城配车销量有望接近150万辆108.662.7260.2108.662.7260.20.52.28.9中国无人城配车销量/万辆中国无人城配车销量/万辆2023 2024 2025 2026E 2027E 2028E 2029E 艾瑞咨询《2025年中国无人城配车行业白皮书》盈利预测与投资建议盈利预测我们针对公司各业务的营收进行专项预测，部分关键假定：AI20263.7529%，800G1.6T等并取得工业富联CPOAOICPO/NPO晰，面向40nm的TB1500已作为在线良率控制设备用于客户量产，面向14-28nm的TB20002026-2028年AI长15%、10%、7%2026-202849%AIAIHPC用PCB的新增设备需求。公司PCBNexT系列LDI，能够为高端PCB假定2026-2028年AI40%30%、25%2026业务新签订单实现大幅增长，为后续业绩持续兑现奠定坚实基础。假定2026-2028100%75%40%22%表3公司2026年-2028年营业收入预测（单位：万元）指标项202420252026E2027E2028EAI量检测装备营业收入109,517107,818123,991136,390145,937同比-4.4%-1.6%15.0%10.0%7.0%业务占比68.1%60.2%52.9%46.1%41.2%AI制程装备营业收入41,19053,36674,71397,127121,409同比0.4%29.6%40.0%30.0%25.0%业务占比25.6%29.8%31.9%32.8%34.2%具身大脑方案营业收入10,16817,79635,59162,28587,199同比10.9%75.0%100.0%75.0%40.0%业务占比6.3%9.9%15.2%21.1%24.6%营业总收入160,874178,980234,295295,802354,545同比-2.4%11.3%30.9%26.3%19.9%综合毛利率41.2%38.9%38.9%37.0%35.9%Wind

2026-2028年营收分别为23.4329.5835.4530.9%26.3%19.9%，1.832.573.27139.8%40.9%及27.2%。投资建议“AI×”双核驱动AIAI的know-howAIAICPOAIAI“评级。表4可比公司估值情况公司名称股票代码市值/亿元归母公司净利润/亿元PE2026E2027E2028E2026E2027E2028E凌云光688400.SH2265.213.865.0743.358.444.5精测电子300567.SZ5893.045.368.38194.2110.070.3日联科技688531.SH2453.174.886.9377.550.335.4平均-----105.072.950.1天准科技688003.SH1611.832.573.2788.362.749.3Wind除天准科技外其余公司盈利数据为Wind一致性预测值（截至2026年9月23日）风险提示下游需求不及预期风险：公司产品覆盖半导体、AI算力基础设施、智能终端及具身机器人等领域，若相关行业资本开支下行或客户导入进度放缓，将对公司订单获取及收入确认节奏形成负面影响。具身大脑方案2026年PCB存货规模较高带来的减值风险：装备业务扩张阶段往往伴随较高的原材料备货与在制品资金占用；若订单落地或项目验收进度不及预期，存货可能存在周转或减值风险。业绩敏感性分析：若公司在光通信、PCB、具身等领域业务拓展进度不20267494.1%。附表财务报表预测和估值数据汇总（单位：百万元，%）资产负债表（百万元）202420252026E2027E2028E利润表（百万元）202420252026E2027E2028E现金及现金等价物4991,1961,1951,2811,433营业收入1,6091,7902,3432,9583,545应收款项719788861907921营业成本9461,0941,4311,8642,273存货净额8841,1901,6662,0002,300营业税金及附加1613212629其他流动资产154265209237223销售费用167216281351421流动资产合计2,2553,4393,9314,4244,877管理费用351390420457496固定资产及在建工程596564595567537财务费用611111111长期股权投资927272727其他费用/（-收入）1823131617无形资产343396431459482营业利润10542166234298其他非流动资产414486426446444营业外净收支11(1)(1)(1)非流动资产合计1,3611,4741,4801,4991,490利润总额10643166233297资产总计3,6164,9135,4115,9236,366所得税费用(18)(32)(17)(23)(30)短期借款9710499100101净利润12576182257327应付款项1,0561,7222,1412,5232,793少数股东损益(0)(1)(0)(0)(0)其他流动负债812131112归属于母公司净