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文档简介
13I本文件主要起草人：贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、1电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第84从业人员个体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等2表1石英砂杂质元素含量单位为微克位置铝钙镁钡铬铜叫铁镍锰锂钠钾K错钛锗磷P硼B内层一一一一一外层注1:内层锂、钠、钾3种元素之和≤2.0。37.1.1上料成型利用65～100转/分的离心力和成型装置，将石英砂原料在旋转的石墨模具、球磨铸铁模具内形表2尺寸公差外径公差高度公差厚度公差234坩埚端口朝下放置于作业平台，利用研磨设备或各类喷砂设备去除坩埚外表面未完全熔融的石利用切边倒棱设备的对中装置对坩埚进行校正后，按高度要求用切断装置对坩埚进行切断，再7.4.2自动清洗将坩埚放置于自动进料传输平台，按相应工艺参数对设备进行设置，然后对坩埚内、外表面及7.6涂层8环境要求
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