已阅读5页，还剩12页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
2根据所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移的情况，获取第度差的绝对值是否在预设范围内判断所述三维轮设范围内判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移：若所述长度差的绝对值未在预设范围7.如权利要求6所述的图形修正方法，其特征在于，所述预设值范围为特征尺寸的2%~7％。8.如权利要求6所述的图形修正方法，其特征在于，所述第一预设比例为80所述第34[0004]为了修正光学邻近效应，便产生了光学邻近修正(OPC：OpticalProximityCorrection)。光学邻近修正的核心思想就是基于抵消光学邻近效应的考虑建立光学邻近56再根据三维轮廓的侧壁是否发生偏移的情况，从待修正图形中获取需要修正的第二图形，[0046]根据所述长度差的绝对值是否在预设范围内判断所述三维轮廓的侧壁是否发生7[0047]请参考图5至图7，图5至图7是光刻图形的三维轮廓侧壁不同形光刻图形位于晶圆100上，图5中光刻图形101的三维轮廓侧壁之间的若干等位线L1中最长轮廓侧壁之间的若干等位线L2中最长等位线L2和最短等位线L2之间的长度差的绝对值未[0056]步骤S603：根据三维轮廓预设区域内的边缘放置误差是否在预判断三维轮廓预设区域对应的第二图形区域8[0065]步骤S6014：获取若干线段与对应的第二修正图形轮廓线之间的若干边缘放置误9
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 加工设备风险应急预案(3篇)
- 双十一熏香营销方案(3篇)
- 2026年甘肃省天水市甘谷县礼辛镇中心卫生院招聘医学检验师笔试参考题库及答案解析
- 大屏应急预案交互(3篇)
- 2026之江泛集成电路发展（绍兴）有限公司招聘1人笔试参考题库及答案解析
- 2026年甘肃省陇南市徽县补招司法协理员考试参考题库及答案解析
- 2026年发电机及发电机组制造行业渠道布局研究报告及未来五至十年IPO与并购退出路径
- 2026年黄颡鱼养殖行业洞察报告及未来五至十年发展趋势报告
- 2026年广州医药集团有限公司人员招聘考试模拟试题及答案
- 珠宝活动策划方案怎么写好(3篇)
- 2026年继续教育公需课考试试题及答案
- 2026年浙江省嘉兴市国家职业技能鉴定考评员试卷含参考答案
- 2026-2030中国羧甲基纤维素市场供需调查及竞争格局研究报告
- 7.1 集体生活成就我课件(共27张)+内嵌视频
- 骆驼基因组解析：探索其癌症相关基因的奥秘与启示
- 2026-2030中国咖啡生豆行业竞争格局及消费趋势预测报告
- 铁路集团综合管理岗社会招聘笔试参考题库 含答案
- 2026年江西中考物理试题【含答案解析】
- 2026年河北工人技师考评(环境噪声监测工)自测试题及答案
- 宠物毛发护理技巧
- DB32-T 5388-2026 电动车充电基础设施建设技术规程 第2部分：电动汽车
评论
0/150
提交评论