CN119493338A 一种镜头角度调节方法及调节装置 (源卓微纳科技(苏州)股份有限公司)_第1页
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文档简介

装法兰的圆弧形外缘与所述转动件之间产生滚兰的圆弧形外缘相切,确定镜头的旋转中心位26.根据权利要求5所述的镜头角度调节装置,其特征在于:所述推抵件包括推抵安装7.根据权利要求6所述的镜头角度调节装置,其特征在于:所述调节件包括调节安装9.根据权利要求7或8所述的镜头角度调节装置,其3[0002]激光直写系统又称影像直接投射系统,可应用于半导体和PCB以及平面成像领域光到产品上,能够节省成本和提高效率。所述图形发生器可以采用数字微镜器件(DMD,于存在加工和安装误差等原因,曝光镜头角度调节过程中经常会导致镜头旋转中心移动,4节装置2均安装于基座。所述镜头包括安装法兰10,通过所述安装法兰10将镜头固定于基5630和调节件31,所述限位件30采用至少两个转动件紧靠镜头的安装法兰的圆弧形外缘32,所述调节件31位于所述限位件的相对侧。所述调节件31包括调节安装件310和推动件311,78

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