CN119509339A Mems振镜的测量方法和装置 （北京一径科技有限公司）

本申请提供了一种MEMS振镜的测量方法和进行轮廓扫描，以得到MEMS振镜的第二位置信电压为第一电压值时的预期偏转角。根据本申2在所述MEMS振镜的偏置电压为第一电压值时，对所述MEM转角是所述MEMS振镜在所述偏置电压为所述第一电压值时的预期偏基于所述第一位置信息和所述第二位置信息，确定所述MEMS振镜的将所述第一偏转角和所述第二偏转角之差确定为所述6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，在所述偏置电压为所述第一电压值的情况下，对所述MEMS振镜进行轮转角是所述MEMS振镜在所述偏置电压为所述第一电压值时的预期偏34[0002]微机电系统(micro_electro_mechanicalsystem，MEMS)振镜是一种利用半导体工艺制作的微型光学器件。MEMS振镜中的反射镜能够在控制信号的作用下进行角度偏转。[0004]在一些场景下，MEMS振镜的角度精度的确定可以通过高[0005]在一些场景下，MEMS振镜的角度精度的确定也可以通过光电式位置探测器在MEMS振镜的偏置电压为第一电压值时，对MEMS振镜的第一表面进行轮廓扫描，以得到56[0034]三维形貌仪11可以位于载物台14的上方。三维形貌仪11的探测部111可以朝向载以对MEMS振镜2的上表面的各个位置点的深度进行测量，以实现对MEMS振镜2的轮廓扫描。可以理解的是，MEMS振镜2的上表面的每个位置点的深度是该位置点与位于该位置点正上移可以通过三维形貌仪11的位移机构和载物台14的位移[0036]驱动器12可以与放置在载物台14上的MEMS振镜2电连接或电耦合，以实现对MEMS动器12可以位于MEMS工装3和/或载物台147圈23中可以有电流流动。在磁体22的磁场中，线圈23中的电流根据弗来明右手定则例的MEMS振镜2的测量方法包括步骤S410至[0043]可以理解的是，在步骤S410至步骤S440之前，需要将MEMS振镜2放置在载物台148[0048]第一位置信息包括MEMS振镜2的第一表面上的至少一个位置点与三维形貌仪11的形貌仪11的探测部111的高度为基准的情况下，该距离值也可以被理解为是对应的位置点的振镜21的各个位置点对应的多个距离值可置电压的最小间隔可以由MEMS振镜2的最大偏置电压以及驱动器12的数模转换器9[0058]在偏置电压为第一电压值的情况下，三维形貌仪11可以对MEMS振镜2的第一表面[0059]第二位置信息包括MEMS振镜2的第一表面上的至少一个位置点与三维形貌仪11的探测部111之间沿竖直方向(即与第一表面垂直的方向)上[0061]在步骤S430中，基于第一位置信息和第二位置信息，确定MEMS振镜2的第一偏转[0063]在一实施例中，计算装置13可以对第一位置信息和/或第二位置信息进行数据处例中的MEMS振镜的深度值的三维分布图。图6为本申请实施例中的MEMS振镜的深度值的二边缘与其垂直投射到偏置电压为0的情况下振镜21所在平面上的投影边缘之间的距离的最轴偏置电压的情况下，最大移动距离可以是振镜21的边缘位于Y轴上的位置点在竖直方向[0076]具体地，在获得第一前转角和第二偏转角之后，计算装置13可以通过计算得到申请实施例中的计算装置的结构示意图。参见图9所示，该计算装置13可以包括获取模块取第一位置信息和第二位置信息，其中，第一位置信息是在MEMS振镜的偏置电压为0时对