CN119509378A 光学检测方法及系统、设备及存储介质 （深圳中科飞测科技股份有限公司）

一种光学检测方法及系统、设备及存储介趣区域，第一感兴趣区域包括特征部的图像信根据第二感兴趣区域获得基准部的第二检测信2获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域，所述根据所述第一感兴趣区域获得所述特征部的第一检测信息，根据所述根据所述第一检测信息和所述第二检测信息获得所述特征部和所述基准部之间的测根据所述光参数值分布获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感过探测器采集所述信号光获取所述入射光斑相对获取所述检测图像的光参数值分布，包括：沿第一方向对所述根据所述光参数值分布获取所述第一感兴趣区域和第二感兴趣向的边界位于所述第一峰值位置的两侧；根据所述第二峰值位置获取所述第二感兴趣区获取所述检测图像的光参数值分布，还包括：将多个所述检沿所述第一方向对所述数据矩阵进行一维投影，获得第二根据所述光参数值分布获取所述第一感兴趣区域和第二感兴趣3所述第一方向为垂直于所述检测扫描的扫描方向，所述第二方向为所述检根据所述第二峰值位置，获取与所述第二峰值位置连续且投影值不为0的点对应的第根据所述第一位置区域，获得沿所述第二方向覆盖所述第一位置区根据所述第二位置区域，获得沿所述第二方向覆盖所述第二位置区根据所述第一检测信息和第二检测信息获得特征部和基准部之间的测量高度差，包根据所述第一感兴趣区域获得所述特征部的顶部质心位置，根据所述根据多个所述检测图像的第一感兴趣区域获取所述特征部的根据多个所述检测图像的第二感兴趣区域获取所述基准部的在所述质心位置点云图中获取所述特征部的位置处第一设定区4将所述第一设定区域内的点对应的质心位置点云数据作为顶部测将所述第二设定区域内的点对应的灰度和值作为顶部测根据所述顶部测算点云数据、以及所述顶部测算灰度和值，获得心位置的图像位置差，获得特征部和基准部之间沿垂直于所述待测物表面的测量高度差，感兴趣区域获取模块，用于获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域，检测信息获取模块，用于根据所述第一感兴趣区域获得所述特征部的第一检测信息，测量高度差获取模块，用于根据所述第一检测信息和条或多条计算机指令用于实现如权利要求1_105[0002]随着集成电路制造技术的快速发展，2.5第二检测信息，根据第一检测信息和第二检测信息获得特征部和基准部之间的测量高度6[0018]由背景技术可知，光学检测方法是一种常用的对待测物上的特征部的检测技二感兴趣区域包括基准部的图像信息；根据第一感兴趣区域获得特征部的第一检测信息，7[0035]本实施例中，光学检测适于通过入射光在具有采样点的待测物100表面形成入射[0043]本实施例通过对采样点进行光学检测，能够获得特征部8[0050]入射光经过待测物100表面发生镜面反射，入射光的入射角与信号光的反射角相现对所有线形的入射光斑800s对待测物100的完全覆盖，同时能够充分利用每个线形的入括沿光路传输方向(如图2和图3中虚线上的箭头方向9[0067]本实施例中，第一狭缝元件400中的狭缝开口长度方向垂直于所述入射光的光路[0068]第一镜组500用于将线形入射光聚焦至待测物上以产生线形光斑的同时，还用于[0082]图像信息能够表征靶面80上各个位置对应的光参数值的情况，通过探测器810采[0088]本实施例中，分束器700沿多个不同光路方向传输的信号光分别投射至第一探测[0102]将多个检测图像对应的第一投影数据沿第一方向拼接，能够获得对待测物100全[0106]第二投影列向量1*n为对待测物100全部扫描后，根据待测物100的图像灰度值分位置获取第一感兴趣区域，第一感兴趣区域沿第二方向的边界位于第一峰值位置的两侧；[0127]本实施例中，根据多个检测图像的第一感兴趣区域获取特征根据多个检测图像的第二感兴趣区域获取基准部的的质心位置点云图及灰度和值点云图，质心位置点云图为待测物100表面的不同位置与质[0129]质心位置点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置灰度和值点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置与灰度和值的对应[0130]质心位置点云图和灰度和值点云图用于作为计算顶部质心位置和底部质心位置[0131]本实施例中，根据多个检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域获100取待第二感兴趣区域中灰度和值与多个子图像信息列的[0134]第一点云行向量表示第一感兴趣区域中光斑质心位置与多个子图像信息列的对对应位置关系，从而能够根据第一点云行向量和第二点云行向量获得对应于待测物100全[0135]第三点云行向量表示第一感兴趣区域中灰度和值与多个子图像信息列的对应位关系，从而能够根据第三点云行向量和第四点云行向量获得对应于待测物100全局的灰度取第二点云行向量中对应位置的光斑质心位置作为质心位置点[0139]第一点云行向量为特征部的光斑质心位置，从而以第一点云行向量作为首位选获得表征待测物100全局采样点质心位置情况的质[0147]总灰度和值点云图用于作为获得特征部位置的参考，以及获得基准部位置的参征待测物100全局特征部灰度和值情况的总灰度[0160]质心位置点云图表征各个点在待测物100上的位置对应的质心位置，通过质心位置点云图中质心位置的分布能够确定特征部在待测[0164]特征部的位置周围第一设定区域的点指的是特征部的位置周围用于对特征部进质心位置点云图和第一灰度和值点云图中，获取特征部的位置周围相同第一设定区域的值，作为质心位置点云图的第一设定区域对应位置的第一点的顶部测算点云数据的权重，因待测物100自身不平整而引起的检测误差，从而有利于较为精准的获得特征部的测量高像信息之后，根据多个图像信息获取特征部的顶部质心位置和基准部的底部质心位置之[0189]中值滤波对椒盐噪声(即脉冲噪声)具有较好的滤除作用，而且在滤除噪声的同像信息之后，根据多个图像信息获取特征部的顶部质心位置和基准部的底部质心位置之[0191]每个图像信息具有的采样点的采样光斑不尽相同，则进[0198]本实施例中，光学检测适于通过入射光在具有采样点的待测物表面形成入射光[0205]本发明实施例还提供一种设备，该设备可以通过装载程[0208]本发明实施例还提供一种存储介质，所述存储介质存储有一条或多条计算机指件配