CN119511638A 光栅干涉曝光系统及方法 （深圳光峰科技股份有限公司）

道学府路63号高新区联合总部大厦本申请公开了一种光栅干涉曝光系统及方过第一干涉曝光组件和第二干涉曝光组件额外2其中，所述相干光产生组件用于产生至少两束相干光，部分所述相干光经过所述第一干涉曝光组件和所述第二干涉曝光组件汇聚于所述参所述控制组件与所述相干光产生组件、所述机械运动组件及所述位姿校正组件均连所述控制组件还用于控制所述位姿校正组件基于所述参考光栅干涉条纹校正所述干其中，所述第一干涉曝光子组件的扩束器、第一准直器及第二第二准直器沿所述第一光路依次分布，所述第四干涉曝光子组件的第一光纤准直耦合器、与所述第二相干光束在所述第四分束器上形成的锁相干涉条纹并发送至所述控制所述控制组件用于基于锁相干涉条纹计算相位漂移，并基于所述相位漂移向所述第一3所述第一主动器件用于基于接收到的所述第一控制信号所述第五干涉曝光子组件的分束器位于第一光路和第三光路的交汇处所述第六干涉曝光子组件的分束器位于第二光路和第四光路的交汇处入射至参考光栅上的所述部分第一相干光束与所述部分第二相干光束干涉形成参考所述控制组件用于基于参考光栅条纹计算条纹偏差，并基于所述条纹偏所述第二主动器件用于基于接收到的所述第二控制信号校正所述干涉曝光场与所述涉曝光区域均与至少一个其余所述第二干涉曝光区域覆盖同所述第二曝光组件入射所述参考光栅产生参考光栅控制所述相位锁定组件基于至少两束所述相干光补偿所述控制所述机械运动组件运动，在对所述基片上的多个第一干涉曝在所述干涉曝光场对所述基片上的多个所述第一干涉曝光区4控制所述位姿校正组件基于所述参考光栅实时干涉条纹和所述参考光栅基准干涉条5经过所述第一干涉曝光组件和所述第二干涉曝光组件汇聚于所述参考光栅上形成参考光纹校正所述干涉曝光场与所述机械运动组件的位姿误件基于所述参考光栅干涉条纹校正所述干涉曝光场与所述机械运动系统的6[0012]图3示出了根据本申请一个实施例提出的一种机械运动组件、基片及参考光栅的[0013]图4示出了根据本申请一个实施例提出的一种相干光与参考光栅形成参考光栅干[0017]图8示出了根据本申请一个实施例提出的光栅干涉曝光系统使用另一种第一干涉[0019]图10示出了根据本申请一个实施例提出的一种干涉曝光过程中基片与参考光栅[0020]图11示出了根据本申请一个实施例提出的另一种干涉曝光过程中基片与参考光7例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施光大幅面光栅的全部区域，一般采取使用机械移动装置控制光栅基板移动的方式来实现，生的部分相干光在参考光栅上形成的参考光栅干涉条纹校正干涉曝光场与机械运动组件生组件用于产生至少两束相干光，部分至少两束相干光经过第一干涉曝光组件120汇聚于102和参考光栅101进行XY平面内的平移运动和绕Z轴的旋转运动，从而使干涉曝光场能够8组件发出的第一相干光束a和第二相干光束b汇聚于基片102上后，可以发生稳定的干涉而考光栅101使各相干光的至少某一级次衍射光产生可探测的干涉条纹，从而使第一相干光衍射光，同时参考光栅101能使第一相干光束a的M级衍射光与第二相干光束b的N级衍射光射向基片102，部分继续沿第三光路L3经第二干涉曝光组件130传播后射向所述参考光栅a与第二相干光束b射向参考光栅101的部分光束在参考光栅上产生可探测的参考光栅干涉[0032]示例性地，所述第一干涉曝光组件120可以包括第一干涉曝光子组件和第二干涉一干涉曝光子组件的扩束器121、第一准直器122及第二反射器123沿所述第一光路L1依次产生组件110射向所述基片102，第二相干光束b通过第二干涉曝光子组件沿第二光路L2由[0033]示例性地，所述第二干涉曝光组件130可以包括第五干涉曝光子组件和第六干涉曝光子组件，第五干涉曝光子组件和第六干涉曝光子组件均包括分束器131和反射镜132，第五干涉曝光子组件的分束器131位于第一光路L1和第三光路L3的交汇处，用于将部分第涉曝光子组件的分束器131位于第二光路L2和第四光路L4的交汇处，用于将部分第二相干相干光束与部分第二相干光束在参考光栅101上形成参考9光组件120出射后，经第二分束器151和第三分束器152分别引出并汇聚于第四分束器153，所述锁相干涉条纹由第一相干光束a与第二相干光束b在第四分束器153上发生干涉形成，同样地，干涉曝光场也为第一相干光束a与第二相干光束b在基片102上发生干涉形成，因第一主动器件155与控制组件及第一干涉曝光组件120连接，用于接收控制组件170的第一纹的条纹漂移使第一干涉曝光组件120产生一定的位移以调制锁相干涉条纹的相位，从而的第二反射器123连接，第一主动器件155可以驱动第二反射器123在镜面法向方向上产生件基于参考光栅干涉条纹103解算机械运动系统140与干涉曝光场之间的位姿误差数据并获取第二控制信号，第二主动器件162用于接收控制组件发送的第二控制信号来补偿上述动组件140与干涉曝光场的位姿误差数据，基于误差数据发送第二控制信号至第二主动器产生位移也即使干涉曝光场产生位移来补偿位器件162可以为微动制动器，并连接至第一干涉曝光组件120的扩束器121。当第二传感器161解算出机械运动组件140与干涉曝光场存在绕Y轴旋转的位姿波动导致的位姿误差，通姿误差；当第二传感器161解算出机械运动组件140与干涉曝光场存在绕Z轴旋转的位姿波改变机械运动组件的位移来调制机械运动系统140与干涉曝光场的相对位姿，以补偿位姿由所述相干光产生组件110射向所述基片102，第二相干光束b通过第四干涉曝光子组件沿述第一干涉曝光子组件的第一光纤准直耦合器124并经过光纤125传输后从第二光纤准直(DigitalSignalProcessing，DSP)、现场可编程门阵列(Field－ProgrammableGate个所述第二干涉曝光区域均与至少一个其余所述第二干涉曝光区域覆盖同一个所述参考所述参考光栅干涉条纹校正所述干涉曝光场与所述机械运动系统的位姿误差的方法可以当前机械运动与干涉曝光场的相对位姿误差同时控制第二主动器件使扩束器或机械运动参考光栅1012形成的参考光栅干涉条纹，并将上述条纹记录为第二参考光栅基准干涉条参考光栅1013形成的参考光栅干涉条纹，并将上述条纹记录为第三参考光栅基准干涉条射向参考光栅即无法产生参考光栅干涉条纹的问题，突破了传统拼接曝光一维拼接的限