CN119517824A 一种激光干涉终点检测的自动对准方法 （上海车仪田科技有限公司）

本发明公开了一种激光干涉终点检测的自含晶圆上目标图案形成的目标图像Sg及晶圆反射的激光光斑图像L；计算所述输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和所述激光光斑图像L的质心与所述输出图像S1上的目标图像Sg的几现激光干涉终点检测过程中的激光光束与目标2接收所述晶圆表面被照亮区域形成的输出图像S1，所述输出图像S计算所述输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和所述激光光斑图像L的质心坐根据像素距离，控制所述激光光束向晶圆表面的所述目标图案在所述输出图像S1中截取局部区域H，根据所述局部区域H与所述模板根据归一化相关系数公式计算每个所述局部区域H与所述模板图像g1之间的相关系根据所述相关系数矩阵判断所述输出图像S1中的局部区域H是否与所述模板采用前向映射方法旋转初始的模板图像g1得到旋转后模板图像g2，并旋转后的所述模板图像g4中灰度值与旋转前的所述模板图像g3中在所述输出图像S1中截取局部区域H，根据所述局部区域H与所根据归一化相关系数公式计算每个所述局部区域H与所述模板库中每个所述模板图像3根据所述相关系数矩阵判断所述输出图像S1中的局部区域H是否与所述模板7.根据权利要求6所述的自动对准方法，8.根据权利要求7所述的自动对准方法，其特征在根据质心计算方法求出所述激光光斑图像L质心的横将所述激光光斑图像L的质心横轴坐标减去所述目标图像Sg的几何中心横轴坐标，得到所述激光光斑图像L的质心与所述目标图像Sg的几何中心在X轴方向的像素距离为(ms_将所述激光光斑图像L的纵轴坐标减去所述目标图像Sg的几何中心纵轴坐标，得到所像素距离除以系统光路放大倍率，得到所述激光光束10.根据权利要求3或5所述的自动对准方法，其特征在于，当所述相关系数矩阵4双向定位精度及重复定位精度不够高，镜头成像分辨率偏低导致的图像识别算法存在局标图案形成的目标图像Sg及晶圆反射的激光光计算所述输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和所述激光光斑图像L的质心5在输出图像S1上对局部区域H进行逐行扫描，使扫描的结果位置能够最贴合目标图像Sg的根据归一化相关系数公式计算每个所述局部区域H与所述模板图像g1之间的相关根据所述相关系数矩阵5u.w判断所述输出图像S1中的局部区域H是否与所述相关系数矩阵的值可以判断输出图像S1中的局部区域是否与模板图像g1相同剔除所述模板图像g3边缘因旋转造成的灰度值发生变化的部分并得到模板图像6根据归一化相关系数公式计算每个所述输出图像S1中的与所述模板库中每个所根据所述相关系数矩阵判断所述输出图像S1中的局部区域是否与所述模g1旋转后形成不同旋转角度的模板库，在输出图像S1中扫描与模板图像g4大小相同的m*n计算均值最大值对应的像素点邻域内像素灰度值衰减到其灰度值的e_2的像素坐7根据质心计算方法求出所述激光光斑图像L质心的横[0022]可选的，将所述激光光斑图像L的质心横轴坐标减去所述目标图像Sg的几何中心将所述激光光斑图像L的纵轴坐标减去所述目标图像Sg的几何中心纵轴坐标，得到所述激光光斑图像L的质心与所述目标图像Sg的几何中心在Y轴方向的像素距离为(ns_[0023]通过采用上述技术方案，当激光光斑图像L的质心坐标和目标图像Sg的几何中心1.通过计算激光光斑图像L的质心坐标和目标图像Sg的几何中8图5为本发明实施例的输出图像S1以及激光光斑图像L与目标图像Sg对准后的位图10为本发明实施例的输出图像S1以及激光光斑图像L、模板图像g4旋转后对应图11为本发明实施例的输出图像S1以及模板图像g4旋转后对应的目标图像Sg扫图12为本发明实施例的输出图像S1以及激光光斑图像L与模板图像g4旋转后对应图13为本发明实施例输出图像S1中激光光斑图像L与目标图像Sg对准前的实际位图14为本发明实施例在工艺前的输出图像S1中激光光斑图像L与目标图像Sg对准9像S1中包含晶圆上目标图案形成的目标图像Sg及晶圆反射的激光光[0035]S300，计算输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和激光光斑图像L的质心坐相机的输出图像S1中的激光光斑图像L的质心坐标，得到目标图像Sg的几何中心坐标和激的所述目标图案方向进行移动，使所述激光光斑图像L的质心与所述目标图像Sg的几何中[0047]并根据归一化相关系数公式计算每个局部区域H与模板图像g1之间的相关系数，根据相关系数矩阵判断所述输出图像S1中的局部区域H是否与所述模板[0051]式中o(s.,e为s.,和g的协方差，",,为s,yI5.yl≤1非常相似，再通过设定合理阈值来判断输出图像S1中分析出的局部区域H是否与模板图像[0062]根据归一化相关系数公式计算每个局部区域H与模板库中每个模板图像g4的相关根据相关系数矩阵判断输出图像S1中的局部区域H是否与模板图像g4相计算均值最大值对应的像素点邻域内像素灰度值衰减到其灰度值的e_2的像素坐根据质心计算方法求出所述激光光斑图像L质心的横灰度值衰减到基点灰度值e_2的像素坐标，以此满足要求范围内的像素坐标及其灰度值为具体的，将激光光斑图像L的质心横轴坐标ms将激光光斑图像L的纵轴坐标ns减去目标图像Sg的几何中心纵轴坐标Ysg+n/2，得到激光光斑图像L的质心与目标图像Sg的几何中心在Y轴方向的像素距离为(ns_(Ysg+斑图像L与目标图像Sg对准前的实际位置示意图；图14为本发明实施例在工艺前的输出图像S1中激光光斑图像L与目标图像Sg对准后的实际位置像S1中是否有局部与目标图像Sg相似或相似性比较高，此过程是用相关系数矩阵5u模板图像g4非常相似，再通过设定合理阈值来判断S中分析出的局部是否与模板图像g1或[0080]为处理不同模板图像g1具有不同旋转角度时的情况，本