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文档简介
1、基本概念问题:第一章半导体电子国家1.1半导体通常,它是一种导电能力介于导体和绝缘体之间的材料。它的导带在绝对零度时是完全空的,它的价带是完全满的,它的禁带宽度比绝缘体的要小得多。1.2能带在晶体中,电子的能量是不连续的,能级分布在某些能级区间是准连续的,在某些能级区间没有能量和分布。这些间隔在能级图中是带状的,称为能带。1.2能带理论是半导体物理学的理论基础。尝试简要解释能带理论采用的理论方法。回答:基于以下两个重要的近似,能带理论给出了晶体的势场分布,然后给出了电子的薛定谔方程。通过方程和周期边界条件最终给出了E-k关系,从而系统地建立了该理论。单电子近似:根据概率分布,晶体中其他电子与某
2、一电子的库仑相互作用被同等考虑,因此求解晶体中电子波函数的复杂多体问题可以简化为单体问题。绝热近似:一般认为晶格系统和电子系统之间没有能量交换,实际的交换被视为微扰。1.2用克罗尼克-彭纳模型解释能带现象的理论方法回答:克朗代克-彭纳模型是一个一维晶体的势场分布模型,用来分析晶体中电子运动状态和电子k的关系,如下图所示VX克罗尼克-潘纳模型的势场分布利用这个势场模型,可以给出一维晶体中电子所遵循的薛定谔方程的具体表达式,进而可以确定波函数并给出E-k关系。这样得到的能量分布是K空间中的一个周期函数,在某些能量区间中的能级是准连续的(称为允许带),而在其他区间中的能级没有电子能级(称为禁止带)。
3、因此,能带现象是用量子力学的方法来解释的,所以这个模型具有重要的物理意义。1.2导带和价带1.3有效质量有效质量是描述晶体中载流子运动时引入的物理量。总结了周期性势场对载体运动的影响,从而使外力与加速度的关系符合牛顿定律。它的大小是由晶体本身的E-k关系决定的。1.4本征半导体无杂质和缺陷的理想半导体材料。1.4空隙空穴是一个用来处理价带电子传导问题的概念。假设价带中的每个空电子态都有一个正的基本电荷,并赋予它一个与电子符号相反的有效质量和相等的大小,从而引入一个称为空穴的虚粒子。它产生的虚电流正好等于价带中的电子电流。1.4空穴是如何被引入的,其导电性的本质是什么?回答:空穴是一个用来处理价
4、带电子传导问题的概念。假设价带中的每个空电子态都有一个正的基本电荷,并赋予它一个与电子符号相反的有效质量和相等的大小,从而引入一个称为空穴的虚粒子。由此引入的空穴产生的电流正好等于能带中其他电子的电流。因此,空穴传导的本质是能带中其他电子的传导,但事实上这样的粒子并不存在。1.5半导体的回旋共振现象是如何发生的(以N型半导体为例)回答:首先,将半导体置于均匀磁场中。一般来说,N型半导体中的大多数导带电子位于导带底部附近。对于一个特定的能量谷,这些电子的有效质量是相似的,所以不管这些电子的热运动速度如何,它们在磁场作用下的回旋运动频率大致相等。当用电磁波照射半导体时,如果频率等于电子的回旋运动频
5、率,则半导体对电磁波的吸收非常显著,可以观察到共振吸收峰如果晶体材料的导带底部和价带顶部在k空间中的相同位置,则本征跃迁是直接跃迁,这种材料称为直接带隙材料。1.6间接带隙材料如果半导体导带的底部和价带的顶部在k空间中的不同位置,当电子吸收的能量刚刚到达导带的底部时,价带顶部的准动量需要改变。第二章半导体杂质和缺陷的能级2.1施主杂质受主杂质当杂质取代半导体晶格原子并与周围原子形成饱和键结构时,如果仍然有一个额外的价电子,并且该电子被杂质弱结合并且具有非常小的电离能,则该杂质非常容易提供导电电子,因此该杂质被称为施主杂质。相反,如果一个电子在形成饱和键时丢失,杂质很容易接受价带中的电子并提供导
6、电空穴,所以它被称为受体杂质。2.1替代杂质杂质原子进入半导体硅后,取代晶格原子并位于晶格点,称为替代杂质。替代杂质的形成条件:杂质原子的大小与晶格原子的大小相似2.1间隙杂质杂质原子进入半导体硅后,位于晶格原子之间的间隙位置,称为间隙杂质。形成间隙杂质的条件:(1)杂质原子尺寸相对较小(2)晶格中有很大的间隙间隙杂质形成的原因除了晶格原子之外,在半导体单元中还存在大量的空隙,这些空隙中可能存在间隙杂质。2.1杂质对半导体的影响杂质的出现会在半导体中产生局部附加势场,破坏严格的周期性势场。从能带的角度来看,杂质会导致导带、价带或禁带中能级的产生,而这些能级原本是不存在的。2.1杂质补偿当半导体
7、中既有施主又有受主时,施主能级上的电子首先跃迁到受主能级,因为它们的能量高于受主能级,因此抵消了它们提供载流子的能力。这种效应就是杂质补偿。2.1杂质的电离能杂质的电离能是杂质电离所需的最小能量。施主杂质的电离能等于导带底和杂质能级之差,受主杂质的电离能等于杂质能级和价带顶之差。2.1供体能级及其特征当施主未电离时,除了饱和共价键之外,还有另一个电子被施主杂质束缚,对应于这种束缚态的能级称为施主能级E(D)。特点:(1)施主杂质电离,出现在导带中施主提供的导电电子;(2)电子浓度大于空穴浓度,N p。2.1受体水平及其特征电离后被受体杂质接收的电子被束缚到初始的空态,与束缚态相对应的能级被称为
8、受体能级E(A)。特点:(1)受体杂质的电离发生在价带中受体提供的导电孔;(2)空穴浓度大于电子浓度,注意。浅层能量杂质的影响;(1)改变半导体的电阻率(2)确定半导体的导电类型。深层杂质的特性和功能;(1)不易电离,对载流子浓度影响不大。(2)通常,将产生多个能级,甚至施主能级和受主能级。(3)它可以作为复合中心,减少少数载流子的寿命。(4)深能级杂质电离后成为带电中心,对载流子起散射作用。载流子迁移率降低,电导率降低。第三章半导体载流子的分布3.1。如果半导体导带底部附近的等势面是一个以K空间原点为中心的球面,则证明了导带底部的状态密度函数表达式为回答:在k空间中,量子态的密度是2V,因此
9、量子态之间的数量证明了对于非退化半导体传导,由于(3分)将分布函数和状态密度函数的表达式代入上述公式,得到因此,电子浓度的微分表达式是(3分)然后由于导带顶部的电子分布的概率可以近似为零,并且上述积分的上限可以被认为是无穷大,所以可以获得积分(4分)3.2费米能级费米能级不一定是系统中的真实能级。它是费米分布函数中的一个参数,有一个能量单位,所以它被称为费米能级。它标志着系统的电子填充水平,其大小等于电子系统自由能的变化量。3.2以施主杂质的90%电离作为强电离的标准,计算了掺砷N型硅在300K强电离区的掺杂浓度上限。(,)解决方案:随着掺杂浓度的增加,杂质的电离度降低。因此,对应于90%电离
10、的掺杂浓度是强电离区中掺杂浓度的上限。此时此刻从这一解决方案来看,电流效率=0.075电子伏,电流效率=0.049电子伏,因此电流效率=0.124电子伏,那么因此,强电离区的掺杂浓度上限为。3.2以受主杂质的90%电离为强电离标准,计算了掺硼P型硅在300K强电离区的掺杂浓度上限。(,)解决方案:随着掺杂浓度的增加,杂质的电离度降低。因此,对应于90%电离的掺杂浓度是强电离区中掺杂浓度的上限。此时此刻根据这一解决方案,电动汽车-电动汽车=0.075电动汽车,电动汽车-电动汽车=0.045电动汽车,因此电动汽车-电动汽车=0.12电动汽车,然后因此,强电离区的掺杂浓度上限为。3.6退化半导体当费
11、米能级位于禁带且远离价带顶部和导带底部时,电子和空穴浓度不是很高。在处理它们的分配问题时,不能考虑包利原则的约束。因此,玻尔兹曼分布可以代替费米分布来处理载流子浓度问题。这种半导体被称为非退化半导体。另一方面,只有费米分布可以用来处理载流子浓度问题。这种半导体是退化的半导体。第四章半导体的导电性4.1漂移运动:外电场作用下载流子的定向运动。4.1移动性单位电场下载流子的平均漂移率。4.2散射当在晶体中运动的载流子遇到或接近周期性势场被破坏的区域时,它们的状态会随机地发生不同程度的变化。这种现象被称为散射。4.2散射概率当在晶体中运动的载流子遇到或接近周期性势场被破坏的区域时,它们的状态会随机地
12、发生不同程度的变化。这种现象被称为散射。散射强度用单位时间内载流子散射的次数来表示,称为散射概率。4.2平均自由范围两次散射之间的载波自由运动路径的平均值。4.2平均空闲时间:两次连续散射之间自由运动的平均运动时间4.3。迁移率与杂质浓度和温度的关系回答:一般认为,半导体中载流子的迁移率主要由声波散射和功率杂质散射决定,因此迁移率k与电离杂质浓度n和温度之间的关系可以表示如下其中a和b是常数。由此可见(1)当杂质浓度较小时,钾随着温度的升高而降低;(2)当杂质浓度较高时,低温下电离杂质散射是主要因素,上述公式中的B项起主要作用,所以K随T的增加而增加;高温下声波散射是主要因素,A项起主要作用,
13、K随T的增加而减少;(3)当温度不变时,K随杂质浓度的增加而降低。4.3以N型硅为例,简要说明迁移率与杂质浓度和温度的关系。杂质浓度增加,散射增加,迁移率降低。在某些杂质浓度条件下:在低温下4.4以N型半导体为例,说明电阻率与温度的关系。回答:在低温下,载流子浓度随着温度的升高呈指数增加,电离杂质的散射以密集函数的形式减小,因此电阻率随着温度的升高而降低。当半导体处于强电离状态时,载流子浓度基本不变,晶格振动散射逐渐取代电离杂质散射成为主要的散射机制,因此电阻率随着温度的升高而逐渐由降低变为升高。在高温下,尽管晶格振动增加了电阻率,但半导体逐渐进入本征状态,导致电阻率随着温度的升高而迅速降低,
14、最终整体性能下降。4.4在室温下,将浓度为1015cm-3的硼杂质掺杂到本征硅单晶中,然后将浓度为31015cm-3的磷杂质掺杂到本征硅单晶中。尝试找到:(1)载流子浓度和电导率。(2)费米能级的位置。(注:当电离杂质的浓度分别为1015厘米-3、31015厘米-3、41015厘米-3时,电子迁移率分别为1300、1130和1000厘米2/秒,空穴迁移率为500、445和400厘米2/秒;分别;在300K、)09回答:在室温下,半导体处于强电离区,并具有多个亚浓度少数载流子浓度;(电导率(2分)(2)根据可获得性所以费米能级比禁带中心高0.31伏特。4.6强电场效应实验表明,当电场增加到一定程
15、度时,半导体的电流密度不再与电场强度成正比,偏离了欧姆定律。当场强进一步增加时,平均漂移速度趋于饱和。这种由强电场引起的现象称为强电场效应。4.6载体有效温度:当有电场时,载流子的平均动能高于热平衡时的平均动能,这相当于载流子在较高温度下的平均动能。这个温度叫做载流子的有效温度。4.6热载体:在强电场条件下,载流子从电场中获得大量能量,载流子的平均能量大于晶格系统。这种不再处于热平衡的载流子称为热载流子。第五章不平衡承运人5.1不平衡载流子注入:产生非平衡载流子的过程称为非平衡载流子注入。5.1非平衡载流子的复合:复合是一个过程,在这个过程中,导带中的电子发射能量并转换回价带,导致导带电子和价带空穴成对消失。非平衡载流子的逐渐消失称为非平衡载流子的复合,这是由热激发补偿的净
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