JN单晶生长炉技术资料(95)

1、技 术 文 件 目 录设 备 技 术 说 明 书2一、设备名称2二、设备的功能概述2三、设备的主要技术参数3四、设备的规格书5五、设备的制造工艺流程。12六、设备的检验验收标准13七、设备部件构成表23八、设备相关图纸资料241、设备总图242、设备地基图253、电控柜图26九、主要进口部件清单表27十、 售后服务计划28十一、 设计、制造标准31十二、 通用制造工艺、检验及验收简介33十三、 设备的特殊工艺36十四、 质量控制及质量保证38十五、 操作界面示意39十六、 直流电源技术参数40设 备 技 术 说 明 书一、设备名称名称：TDR-JN系列单晶硅炉 二、设备的功能概述TDR-JN系

2、列全自动晶体生长炉具有自主知识产权，是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。该设备集机械、电气控制、仪表、真空密封、高温压力容器等领域技术于一体，综合了国内外同类产品之优点，结构合理，配置了美国Rockwell Automation公司分布式PAC数字SCADA控制系统及高像素CCD影像视觉采集技术。抗干扰性好，可靠性高，维修方便。自主研发的全自动控制技术填补了国内技术空白，技术水平处于国际先进水平。设备采用电脑控制系统和触摸式屏幕显示的直观形象的界面控制，系统运行平稳，可靠性高，拉晶工艺全过程直观显示，能实现从抽真空、检漏、炉压控制、熔料、稳定、溶接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉全过程的

3、自动控制。适用于20/22/24英寸热场，拉制612英寸无错位、等径度好的高质量单晶棒。单晶成晶率达80%以上。本设备配制高，关键件从美国及日本等引进，使用寿命长，维修率低，因此运行成本也低。TDR-JN系列全自动晶体生长炉主要由主机、加热电源、计算机控制系统三大部分组成。1.主机部分：机架，立柱。双层水冷式结构炉体。水冷式阀座。晶体提升及旋转机构。坩埚提升及旋转机构。籽晶提拉和坩埚提升装置的水平调整装置。氩气系统及配套件采用高品质的进口件。高品质的真空系统，自动真空检漏及炉压控制。水冷系统及过热保警装置。炉压异常报警系统。2.加热器电源：全水冷电源装置采用最新专利电源技术和/或原装进口IGB

4、T及超快恢复二极管等功率器件，配以特效高频变压器，构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关（ZVS）及CPU独立控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置，是传统晶闸管整流电源的更新换代产品。比传统电源节电20%。3.单晶炉计算机控制系统；计算机控制系统（包括触摸屏人机界面操作显示控制软件与PAC数字SCADA晶体生长过程控制软件）。CCD测径系统ADC。就地柜（包括分布式PLC、直流伺服电机调速器、传感器接口及加热器电源控制接口等硬件系统）。控制柜（主PAC和触摸屏工业平板PC机，双显示屏，SCADA监控系统等）。三、设备的主要技术参数功 能 FunctionTDR85-JNTD

5、R95-JNTDR105-JN拉制晶棒直径 ingot Diameter6/ 86.5/108/12最大装料量 Maximum Charge Amount95kg120kg150kg可拉晶棒最大长度 Maximum Crystal length2000mm2000mm1700mm可用坩格规格 Recommended Crucible 2020/ 2222/ 24晶体升降行程 Total Seed Travel3400mm3500mm3700mm晶体提升速度（低） Seed Slow Lift Speed0.210.5mm/min晶体提升速度（高） Seed High Lift Speed500

6、mm/min晶体旋转速度 Seed Rotating Speed240rpm坩埚升降行程 Total Crucible Travel400mm坩埚升降速度（低） Crucible Slow Lift Speed0.040.63mm/min坩埚升降速度（高） Crucible High Lift Speed150mm/min功 能 FunctionTDR85-JNTDR95-JNTDR105-JN坩埚旋转速度 Crucible Rotating Speed0.520rpm中炉筒内径 Furnace dimension850mm950mm1050mm冷炉极限真空度 Vacuum Requireme

7、nt3Pa最大泄漏率 Permissible leakagerate0.6mTorr/min称重传感器 Load cell无 No * *快 速 拉 晶 High-speed grow无 No * *直 径 控 制 Diameter controlCCD+PLCCCD/2CCD*+PLCCCD/2CCD*+PLC炉体最大高度 Furnace Height7200mm7700mm8000mm炉 体 重 量 Furnace Weight4800kg5000kg5800kg冷却水流量（含加热器） Cooling water Flow280320L/min300340L/min320350L/min冷

8、却水温度 Cooling water Temp.1525最大氩气流量 Argon Gas Flow120L/min160L/min180L/min控 制 方 式 Control modePAC+工业平板PC Industrial Tablet PC with touch-Panel display HMI and PAC知 识 产 权 Intellectual property rights 2009SR Yes电 源 Power Supply三相AC380/200V 50/60Hz 240KVA Three-phase AC380/200V 50/60Hz 240KVA* 选项 （Optio

9、nal）四、设备的规格书单 晶 硅 制 造 设 备 规 格 书U设备型号 TDR95-JN常州江南电力光伏科技有限公司第1章设备概要 【 目的 】本设备是用于生产太阳能电池级单晶硅的CZ型拉晶装置。 【 概要 】在石英坩埚内填充多晶硅原料，在炉体内抽真空并加热至高温熔解。从旋转着的受到温度控制的熔液上方降下单晶小块（以下称籽晶）与旋转坩埚内的熔硅接触后，在温度的精确控制下，通过一边旋转一边向上提拉籽晶来制造单晶硅。本设备由以下单元构成。 【 单晶硅制造装置TDR95型的构造 】）主体l 籽晶提升装置l 上炉筒 l 挡板阀 l 主炉体 l 坩埚驱动机构及台架 l 炉体升降及旋转机构 l 炉筒升降

10、及旋转机构l 直径监视控制系统 l 温度测定系统 l 控制台 l 电源供应系统 l 真空及Ar气用分流排l 冷却水用分流排 4【 手动自动的定义 】l 手动：由人工使设备运转。l 半自动：通过控制面板等，对设备施行操控。 l 自 动：由系统对条件进行判定，使设备运转 。 第2章 主要参数21【 产品规格 】1）结晶直径： 6.5102）结晶全长： 2000mm以下(Neck-Crown-Body-Tail) 3）结晶重量： 120kg以下22【 设计规格 】1） 周围温度： 15352）周围湿度： 4070%(需要保证没有结露情况的发生)3）洁净度： 一般环境4）热场(以下H/Z)规格： 22

11、”及以下5）坩埚规格： 22”及以下6）材料充填量： 120kg以下 7） 晶体生长控制方式: 自动(目标直径1mm)8） Ar流量控制方式： 自动9）真空控制方式： 自动10）炉体开启方式: 升降：半自动 旋转：半自动11）真空度: 结晶的拉制环境：2.7kPa(20Torr) 冷炉极限真空度：3Pa以下12）允许漏泄量： 45mTorr/Hr以下13） 坩埚轴的承重量： 250Kg23【 支持系统规格 】1）电源l 交流输入： 三相AC380V50/60Hzl 输入功率： 200 KVA2）冷却水（工业纯水）l 水质： 酸碱度 PH=6.08.0 硬度（CaCOB3B）150 PPM导电率

12、500S/CM氯离子（ClP-P）100PPM 硫酸根离子（SOB4PB2-P）200PPM 碳酸碱（CaCOB3B） 1560PPMl 流量： 320L/min360L/min(含电源冷却水)l 进水压力： 3kg/c3.5kg/cl 进出水压力差： 2kg/c以上l 进水温度： 15283）Ar气流量l 流量： 200L/minl 压力： 2.8kg/c4）主真空泵能力 （型号: 2H-70B）l 极限真空度： 610P-2P Pal 排气能力： 4200 L/min5） 辅助真空泵能力 （型号: 2XZ-8B）l 极限真空度： 610P-2P Pal 排气能力： 480 L/min6）安

13、装场所、方法：根据设备基础、F/L及顶棚高度等具体情况另行协商决定。7）重量l 炉主体： 约2200kgl 机架： 约2700kgl 控制柜： 约200kgl 电源箱： 约2100kg 8）设备高度l 7400mm以下(自设备主体最下部起至籽晶提升装置最上部为止的高度) 在上炉筒上升情况下第3章 各部件主要参数31【具体单元情况 】1）籽晶提升装置(吊线式)l 部件概要由籽晶绳、用于缠绕籽晶绳的线辊、驱动其整体运动的轴和电机构成。通过滑线环向转动部位供电。用编码器控制行程限位及检测仔晶的位置。l 部件规格籽晶轴行程： 约3,500mm提升速度： 低0.210.5mm/min 高500mm/mi

14、n旋转速度(CW)： 240rpm籽晶吊绳的材质： 钨合金 直径： 2.5可拉制晶体重量： 120kg以下 观察窗： 一处2）上炉筒l 部件概要用于收纳拉制好的晶体由炉顶部分和上炉筒构成炉体开启方式: 升降：半自动 旋转：半自动l 部件规格最大可收纳晶体长度： 2,000mm (Neck-Crown-Body-Tail)内 径： 320mm观察窗： 一处3）档板阀:l 部件概要作为上炉体与炉盖之间的隔离阀l 部件规格构造： 为双层水冷却结构,正前方设有一道圆门,阀芯为翻板式内径： 320mm观察窗： 一处4）主炉体l 部件概要由炉盖、炉筒、炉底盘构成l 部件规格炉 盖 高： 370mm 活动炉

15、筒高度： 850 mm固定炉筒高度： 400 mm测温口高度： 一个是：700 mm，另一个是： 740 mm 内 径： 950mm观察窗：直径监视相机： 一处 目测用： 一处 炉底盘: 炉底板设计成平板式，具有双层结构，厚层在上薄层在下，中间通水冷却，在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰。电极材料为无氧铜，由水冷却。 电极中心距： 一对是：430 mm，另一对是：480 mm 5）坩埚驱动机构l 部件概要由坩埚旋转轴、机座、电机、编码器及其他构成，坩埚提升上、下行程编码器及行程开关双保险。部件规格：旋转速度(CCW)： 0.520rpm 升降轴行程： 450mm 升降速度 低：0.0

16、40.63mmmin 高：150mmmin 调整机构 平行：有 位置：有6）炉体升降机构 l 部件概要使上炉筒或炉盖以上的部件进行升降及旋转动作。l 部件规格升降驱动方式： 半自动旋转驱动方式： 半自动旋 转 范 围 ： 120以内(向面朝设备正面时的左侧旋转)构 造： 电动机、丝杆，减速箱、齿轮。 确定位置的机构 ：为使升降时保持稳定，在原点位置上设计导向装置 旋转机构采用直流电机，减速机，齿轮传动，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作。7）炉筒升降机构l 部件概要使炉筒进行升降及旋转动作。l 部件规格升降驱动方式： 半自动旋转驱动方式： 半自动旋 转 范 围

17、 ： 180 (向面朝设备正面时的右侧旋转)构 造： 电动机、丝杆，减速箱、齿轮。 确定位置的机构 ：为使升降时保持稳定，在原点位置上设计导向装置 旋转机构采用直流电机，减速机，齿轮传动，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭。 只有在0(原点)和120(旋转后的位置)时才可驱动升降轴8）CCD传感器系统8-1晶体直径测定系统l 部件概要由直径测定监视器部件与目视测定部件构成l 部件规格测定精度(监视相机200万相素)0.1mm9）温度测定系统l 部件概要通过辐射温度计对加热器外面的温度进行测定并对加热器进行控制。10）控制面板及操作柜l 部件概要作为人机界面及对设备的控制。11）电源l 部

18、件概要加热器用电源及其他电源供给部件，采用最新专利电源或IGBT供电方式。l 部件规格额定电力输出： 55V3000A165KW供给电压: 380V AC12）真空及Ar气用分流排l 部件概要将真空及气体从购入厂家既有的设施向各部件处分配l 部件规格真空管道的孔径： 80 mm控制阀： 真空： 手动Ar气：自动 接口位置： 真空：下炉筒的两边(主真空泵)，隔离阀的后部(辅助真空泵) Ar气：上炉筒的上部，炉盖的颈部13）冷却水分流排l 部件概要从冷却水主配管向各部件分配水流的装置。温度开关：各炉腔及重要水道处。 压力表 ： 装置入口32【 控制方式 】1 ) 控制器构成美国Rockwell A

19、utomation公司主从分布式PLC和工业平板PC机，配备大屏幕触摸式HMI（人机界面）和CCD测径ADC控制系统。晶体生长软件具有自主知识产权。2） 工艺控制方式 真空 手动/自动 检漏手动/自动 化料手动/自动 稳定 手动/自动 缩颈手动/自动 放肩手动/自动 收肩手动/自动 等径手动/自动 收尾手动/自动 冷却手动/自动 在熔料稳定阶段、具备功率温度控制的切换功能。3）多种全数字PID-e和Fuzzy-PID复合控制算法。4）联网功能： 具有以太网口和数据交换机，可实现多台机器联网监控和数据共享，远程故障诊断。33【 取出晶体的办法 】通过炉体开启/升降机构将炉筒升起来后，旋转120取

20、出晶体。第四章 其他在未得到本公司认可的情况下严禁将本规格书进行复制或向第三方公开。本规格书仅供参考，具体参数有更新可能。五、设备的制造工艺流程。作业部门研发中心生产管理部外协加工机加工车间制造车间机加工车间、检验科仓库机加工车间、制造车间相关文件BOM生产计划公司作业指示车铣磨钳喷漆热处理钣金焊接铸造镗磨表面处理加工中心公司作业指示刨铣车检验出库至装配现场入半成品仓库 出厂装配作业指示 生产计划零件加工明细表加工工艺检验规范装配工艺卡六、设备的检验验收标准TDR-JN系列晶体生长炉检验标准（一）安装调试检验标准客 户 机 器 编 号U 调 试 人 员U U客 户 确 认U U日 期U U序号

21、检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实测值1提升机构行程手动操作按钮提升炉盖至上极限位置，用直尺测量炉盖法兰面与中炉筒法兰面距离。350mm手动操作按钮提升中炉筒至上极限位置，用直尺测量中炉筒下法兰面与下炉筒上法兰面距离650mm2坩锅行程安装22”热场，手动操作按扭使坩埚上升到上极限位置，测量坩埚上平面与加热器上平面距离2405mm安装22”热场，手动操作按扭使坩埚下降到下极限位置，测量坩埚上平面与加热器上平面距离1002mm3坩埚回转精度分别设置2rpm,5rpm,10rpm用秒表测量实际转速5%4坩埚升降精度分别设置上升速度0.1mm/min,0.2mm/min、0.3mm/

22、min，用秒表测量实际速度5%序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值35籽晶绳上极限手动操作按扭，籽晶绳上升，在上极限位置时，目测籽晶夹头下端偏离观察窗口的距离,重复操作测量三次取其最大值20mm46籽晶绳下极限手动操作按扭，使籽晶绳下降，在下极限位置时，测量籽晶夹头上端面偏离炉盖法兰面的距离,重复操作测量三次取其最大值。20 mm77籽晶回转精度分别设置2rpm,10rpm,20rpm用秒表测量实际转速5%8籽晶升降精度分别设置上升速度0.5、1.0、2mm/min，用秒表测量实际速度5%59籽晶绳的对中在籽晶夹头上装上锥形对中工具，籽晶绳下降接近刻度盘（不能碰到），

23、籽晶绳转速10rpm、12rpm时，目测锥形工具头部偏离刻度盘中心的刻度刻度盘5mm序号检查 项目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值10到达真空度打开主泵阀门抽真空，再打开手动阀，抽真空待真空压力传感器读数稳定时，是否小于6Pa，再关闭主阀1小时看压力读数上升值。45mTorr11保压试验45mTorr /Hr12上炉腔压力打开主泵抽真空，打开炉盖上的Ar阀门控制炉腔内压力在20Torr左右，关闭隔离阀，打开上炉腔Ar阀门，充Ar气到内腔压力为760Torr，关闭上炉腔Ar气，打开辅泵抽真空，确认其内腔最小压力，按上述要求重复测量三次其最大值作为测量值。 5 Torr序号检 查 项

24、目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值13空烧时炉腔外侧温度调整阀门的大小保证冷却水总流量小于320L/min，进出水管压差在 0.2MPa以上，进水压力在0.3-0.35MPa之间，进水温度小于25的条件下，按照功率从30KW到120KW逐步加热，按图示测量点，用红外线温度计测量各处的温度。压力表Water in754621385014炉体表面温度上升35序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值15Ar气流量打开Ar气阀门调节其压力在0.2MPa左右，点操作界面上Ar GAS设定Ar流量分别为40、100、120SLM，计算显示器上Ar流量的读数与其设定流量的最

25、大差值。MFC 3SLM（二）空烧检验标准客 户 机 器 编 号U调 试 人 员UU客 户 确 认UU日 期U检查项目检 查 事 项检查判定备 注真空检查到达真空度45mTorr以下保压试验45mTorr/Hr以下阀门关闭后保压试验45mTorr/Hr阀门关闭后上炉腔辅泵抽真空极限压力小于5Torr合 否合 否合 否合 否冷却水检查进水压力0.30.35MPaIN-OUT压差：0.20mpa以上进 水 温 度：1525进出水管的阀门应全部打开各水管接头连接牢固不渗水或漏水提升机构上升、旋转120度范围内水管无干涉炉腔内外壁无渗水或漏水合 否合 否合 否合 否合 否合 否合 否Ar气检查Ar流量

26、计设定流量、实际流量的读数正常 Ar压力表：0.2MPa以下上炉体、炉盖Ar气接通检查Ar管路接头是否拧紧合 否合 否合 否合 否籽晶头部件提升速度低速：0.210.5mm/min高速： 500 mm/min回转速度（CW）:220rpm籽晶绳对中 静态: 在1.0mm以内动态:转速12rpm,在5.0mm以内籽晶绳上限位 籽晶绳下限位真空状态下调整籽晶旋转部件水平合 否合 否合 否合 否合 否合 否合 否合 否坩埚升降轴机构坩埚轴旋转速度（CCW）：0.520rpm行程大于(标准热场)： 260mm (热场不同行程应相应调整)升降速度 低速：0.040.625mm/min高速：150 mm/

27、min坩锅升降轴上限位 坩锅升降轴下限位中炉筒上下限位坩锅升降轴水平合 否合 否合 否合 否合 否合 否合 否合 否提升机构上炉筒上升行程大于200mm炉盖上升行程大于40mm中炉筒上升行程大于600mm提升机构上炉盖提升试验灵活无卡滞旋转范围:0120以内灵活无卡滞 、干涉 合 否合 否合 否合 否合 否辅 泵辅泵动作正常合 否电气检查拉晶程序的自动运行拉速控制温度控制相机功能合 否合 否合 否合 否（三）试拉检验标准客 户 机 器 编 号 U 调 试 人 员UU客 户 确 认UU日 期U 序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允许值实 测 值11Ingot外径差用游标卡尺测量各个截面直

28、径，取最大差值(测量截面距两端30mm)32mm22Ingot扭曲用直尺测量如图所示等晶线扭曲3mm33DF率有效长度部分占实际长度部分的百分比。成品率=3.*半径*半径*等径长度*2.33/投料重量）6.5寸半径按照82.5计算，8寸半径按照100计算。注: 由于材料或非设备本身原因所造成的不达标，不属于上述范围实际长度有效长度80%七、设备部件构成表序号件号/型号名称数量备注1JN85B-03-000籽晶旋转提升装置1套2JN85B-02-000籽晶夹头1套3JN85B-06-000炉体升降机构1套4JN85B-01-002上炉筒1件5水冷电缆2PCS6JN85B-01-007中炉筒1件7

29、JN85B-01-003上炉盖1件8JN85B-04-000隔离阀1套9JN85B-07-001机架1件10JN85B-05-000坩埚升降机构1套11JN85B-01-005炉底盘1件12JN85B-01-004下炉筒1件13JN85B-17-000中炉筒升降偏转机构1套14JN85B-11-000主真空管路1套15JN85B-12-000电器操作控制箱1件16JN85B-01-010镀金石英玻璃1件17JN85B-01-013镀金石英玻璃1件18工业PC1台19IGBT电源箱1台八、设备相关图纸资料1、 设备总图2、设备地基图3、电控柜图九、主要进口部件清单表设备名称型号规格数量国别/产地

30、备 注PLCCompactLogix1美国Allen-Bradley变频器POWERFX系列1美国Allen-Bradley冷却水管Horizon 2001批美国 Good Year压力变送器MKS系列2美国CCD相机INSIGHT1日本基恩斯氩气管1以色列编码器BBMV2德国 Baumer电气件1批日本富士、IDEC电动机BX系列4日本东方籽晶绳Z250W(Z)L=51001日本DMC籽晶滑杆40A+4151日本THK轴承1批日本NTN微型电磁离合器AMC802日本小倉密封圈1批日本电磁阀2日本SMC十、 售后服务计划培训服务1、操作培训1. 江南提供单晶炉的设备和软件的操作说明做为操作人员

31、的培训依据.2. 江南培训人员将在每批次设备到达贵司工厂后，在安装调试期间，以实物设备对贵司人员进行维修，操作等方面的培训。具体的培训时间表和计划表，根据双方以现场实际情况协商安排。a) 单晶炉的构造b) 单晶炉的操作和软件控制系统.c) 江南的员工指导贵司的员工在单晶炉上进行实际拉晶操作.d) 单晶炉操作时针对操作员工的注意事项及要求.3. 在单晶炉预终验收期间,贵司的单晶操作员工将在单晶炉上进行独立操作,江南的相关人员做为技术支撑。2、维护培训1. 江南在单晶炉进行安装调试的同时.贵司将安排相关维修人员(电气工程师,机械工程师)参加单晶炉的安装调试的全过程，.2. 江南提供下列的培训资料:

32、- 单晶炉机械部分的说明和装配示意图- 单晶炉电气部分的说明和可以用于检修的电气图- 单晶炉的机械及电气的校准手册.- 单晶炉的寻障排障指南.3. 单晶炉交付贵司后,如得到贵司公司的培训需求申请，在双方协商确定具体时间和计划表后，江南将按时到贵司工厂或贵司公司派员到江南公司进行免费培训。3、技术服务：T1、电话技术支持 对于产品的技术及质量问题，贵方可以拨打我公司电话技术支持热线 寻求技术支持，我司会全天候为客户服务 我公司的电话技术支持人员将接听所有贵方的服务请求电话，诊断故障原因，并且尽一切可能通过电话排除故障。在故障无法通过电话解决的情况下，我公司电话技术支持人员会将问题详情提交给我公司

33、服务工程师，并协调确保在规定的时间内，我公司服务工程师到达贵方工厂所在地。T2、联线技术支持T T贵方可以通过与我公司网址的连接，获得我公司提供的全天二十四小时的联线技术支持T3、T电子邮件技术支持T除上述电话技术支持和联线技术支持外，贵方还可通过向我公司因特网上服务和支持的电子邮件地址发送电子邮件寻求技术支持，我公司将指派专门人员接收并处理贵方的电子邮件。T4、售后服务内容.人员情况：我司经过多年的发展与努力，建立了一套完善的服务体系，拥有一批技术熟练、工作认真负责、思想品德优良的安装调试人员，其中现场工程师6人，专职调试人员30名，拉晶工多名，可为用户提供及时、优质的服务。.设备安装、调试

34、：设备运抵需方后接到需方安装、调试通知，供方立即派人员至需方工地现场对设备进行安装、调试。.人员培训：当安装调试人员在安装调试过程中，会对需方操作人员就设备各部件的工作原理、操作过程、拆装步骤、维护保养及注意事项等方面进行讲解，并进行现场操作示范。使 其掌握设备的基本知识、结构与性能特点，熟练操作，并能简单处理设备运行过程中可能遇到的问题，达到对设备有序管理及日常维护的技术水平。掌握利用设备理论和实践经验，生产出合格的单晶产品。.质保期内服务响应时间：在接到报修电话后2小时内作出响应, 并在24小时内赶到现场对设备进行检修。.维修服务收费标准: 在设备质保期内，如因设备本身质量问题所引起的维修

35、服务，由供方负责, 供方免费提供零配件(易损件除外)。如因使用厂家人为因素所引起的设备维修服务，供方收取零配件的成本价。设备保修期后，终身提供服务，以成本价提供零配件，免收服务费。.售后服务零配件库存保证：供方备有充足的备品备件，按用户需要8小时内特快发出。.技术服务：在使用中遇到的技术问题，供方免费提供技术咨询。. 服务联络资料具体如下：公司网址： HTUUH服务邮箱： HTU电 话： 0519-35传 真： 0510-5、技术服务表序号项 目1车间集成化网络控制系统2设备外围冷却水及真空系统3热场加热器设计支持4新厂房布置5员工培

36、训及设备定点回访服务6软件免费升级服务7设备现场安装及调试8提供相关的技术资料及技术服务9优惠提供所有备品备件解决设备出现的各种技术问题。十一、 设计、制造标准卖方所提供设备，按照下列标准进行设计、制造和验收。产品按照规定程序批准的图样及技术文件进行加工制造。所选用材料，采购的标准件、配套件应具有检验合格证明，并符合国家标准的规定。执行的通用标准如下：序号标准号标准名称备注1JB/T 10439-2004TDR系列直拉法单晶炉2GB4457-GB4460机械制图采用中国国家标准（GB）进行设计；对于供货来自引进的则采用相应国家的标准；提供的设计、图纸、规格说明及其它技术文件均采用公制。3GB1

37、31-834GB1801-79公差与配合5JB/ZG400焊接、锻件、铸件技术要求6GB117/GB5118碳钢焊条/低合金钢焊条7Q/TX3378-2008不锈钢板8GB3181-82涂漆标准9YB/T036.19-92涂装10GB699-88优质碳素结构钢的化学成分和力学性能11JB/ZQ4287-8612JB4728-2000不锈钢锻件标准13YBT036.10-92锻钢件超声波探伤方法1级14JB/T5000.3-1998焊接件15JB/T5000.9-1998切削加工件16GB3223-89钢焊缝手工超声波探伤方法和探伤标准1级17ZBJ74003-88压力容器用钢板超声波探伤1级1

38、8GB3323-87锅炉和钢制压力容器对接焊缝射线探伤1级19JB/T4709-2000压力容器焊接规程20JB3965-88磁粉探伤1级21GB/T 14549-1993电能质量 公用电网谐波设计部分除按照国家的规定外还要遵守的要求，防锈及涂漆的质量要求按批准的BZQ(GJ)0011-89钢结构涂装工程及验收规程的有关规定执行。本招标书包含的所有设备其外表的涂装要求为：立邦、关西工业油漆，罐体外表面涂底漆W61-400耐高温防腐涂料二道，每道厚度0.03mm；面漆二道，每道厚度0.025mm，设备面漆的色标按工程要求。罐体内表面不涂漆。十二、 通用制造工艺、检验及验收简介1 备料、采购原材料

39、的采购至关重要，我公司有技术部门严格按照图纸开出工料分析单，采购部按照工料分析单内容，采购齐全所有材料和外购件。备齐满足设备图纸及规范、标准要求的原材料、外购件、外协件后,按质量证明书及标准进行检验及验收。做到标识清晰、正确，资料清晰齐全有效。材质有异议的，要做复检，保证材质的正确性。所有材料、外购件等经质检部检验合格后，书面通知仓库入库，所有原材料资料归档备用。资料不全或实物不合格，立即通知采购部，按照退货程序处理。仓库将合格的材料类别分类摆放，严禁混淆放置。库管员做好内部标识，专料专用。钢材入钢材库后做好防锈、防潮处理。电气元件、外购件入五金库，上架分类摆放。焊材入一级库，以待二级库随时领

40、用，二级库做好相应的烘培记录、焊材发放记录和焊条头、焊丝盘等回收记录。2 下料 按图纸要求进行下料，筒体钢板、筋板、法兰等有精度要求的部件，在数控等离子切割机上进行切割成形，以保证零件外形尺寸和下料精度。管子按照图纸尺寸用带锯床下料，需要加工的部件按照工艺要求放出工艺加工余量。细小部件用反影割刀下料。余料和选用料做好标记移植工作，做到标记清晰、正确。 特殊材料的下料，详见工艺指导书要求。3 机械加工 所有零部件严格按图纸、工艺要求进行各种机械加工，对重要及特殊的零部件配备有效的工装及夹具，以保证零部件的尺寸及精度要求。对须二次加工的零部件应留合适的二次加工余量，以保证零部件的总体尺寸及精度要求

41、。根据部件的性质、要求和公司的设备加工能力等特性，合理的编排相应的加工工艺。4 焊接 工艺部门编制焊接工艺指导书或按照公司通用焊接工艺，生产部门保证所有构件的拼装焊接应按图纸、工艺的要求进行制作，应注意焊缝质量，采取消除焊接应力及焊接变形的措施。对有消除焊接应力要求的焊接件应进行焊后退火去应力处理，热处理报告有质检部归档备查。焊工在合格持证范围内施焊，不超范围焊接，焊材直接到二级库领用烘培合格的对应焊材，限时使用、放入保温桶，做好领用记录，以备检验员随时检查。焊缝外观质量：要求焊缝宽度均匀，100mm以内不超过2mm；深度超过0.5mm的咬边要求补焊后打磨光滑，无夹杂、气孔、咬边、裂纹等缺陷。

42、角焊缝：要求焊角高度满足图纸标注尺寸。焊缝坡口角度、钝边高度、间隙等要求，满足图纸标注要求，焊前清理坡口20mm范围内的油、锈、污、水等杂物。所有对接焊缝必须避开开孔位置；罐体焊缝采用手工电弧焊（或埋弧自动焊）全部焊透，所有对接焊缝进行100% UT加100% RT探伤，按JB4730-1994，（UT）级、（RT）级合格；图纸有要求的按照图纸执行。5 检验对所有零部件按图纸进行检验，检验合格后才能进行装配。检验不合格的部件，按照公司不合格品处理程序进行。所有检验记录保持完整、齐全、真实、有效，并及时做好归档工作。所有测量工器具在合格有效期范围内，超出范围的及时送技术监督局校验。检验员发现质量

43、问题及时上报，车间报检及时检验，保证不影响工期进度。6 涂装防锈及涂漆的质量要求按批准的BZQ(GJ)0011-89钢结构涂装工程及验收规程的有关规定执行，色彩要求按图纸执行。7 部件装配按图纸要求将各部件进行装配，装配结束后的部件应符合图纸要求的性能。做到各运动部件灵活。密封面平整无磕碰现象。丝杠，导轨等滑动平滑、无卡置现象、无异常声响等。隔离阀部件，籽晶部件需要配备有效的工装进行真空氦检漏试验，必须达到图纸设计的要求。8 总装将所有合格的零部件按总图要求进行总装，总装过程应保证各零部件安装的正确可靠，各运动部件应灵活，同时还应保证各个密封面的光洁度，防止出现碰伤，划伤等影响真空要求。整个设备的总装过程必须严格执行单晶炉安装调试检验标准（附表）。9 压力试验与整体真空试验按照图纸要求，各腔体部件必须进行水压试验，试验压力为设计压力的1.5倍，压力逐渐缓慢升压，第一阶段升压到50%，检查无异常现象；第二阶段继续升压10%，再次检查，如此往复直至达到要求压力，然后进行保压试验，保压8小时，以无泄漏、无可见变形、无异常声响为合格。总装完成后必须要进