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1、Silvaco TCAD -Atlas,.,2,目录,Silvaco TCAD-Atlas简介 Atlas器件仿真步骤 实例操作演示,.,3,Silvaco TCADAtlas简介,Silvaco TCAD软件用来模拟半导体器件电学性能，进行半导体工艺流程仿真，还可以与其它EDA工具组合起来使用(比如spice)，进行系统级电学模拟(Sentaurus和ISE也具备这些功能)。 SivacoTCAD为图形用户界面，直接从界面选择输入程序语句，非常易于操作，其例子教程直接调用装载并运行，是例子库最丰富的TCAD软件之一，你做的任何设计基本都能找到相似的例子程序供调用。 Silvaco TCAD平

2、台包括工艺仿真(ATHENA)，器件仿真(ATLAS)和快速器件仿真系统(Mercury)，尤其适合喜欢在全图形界面操作软件的用户。,.,4,Atlas简介,ATLAS器件仿真系统使得器件技术工程师可以模拟半导体器件的电气、光学和热力的行为。ATLAS提供一个基于物理，使用简便的模块化的可扩展平台，用以分析所有2D和3D模式下半导体技术的的直流，交流和时域响应。ATLAS器件仿真系统： 无需昂贵的分批作业试验，即可精确地特性表征基于物理的器件的电气、光学和热力性能； 解决成品率和工艺制作过程变异的问题，使其达到速度、功率、密度、击穿、泄漏电流、发光度和可靠性的最佳结合； 完全与ATHENA工艺

3、仿真软件整合，具有完善的可视化软件包，大量的实例数据库和简单的器件输入； 最多选择的硅模型，III-V、II-VI、IV-IV或聚合/有机科技，包括CMOS、双极、高压功率器件、VCSEL、TFT、光电子、激光、LED、CCD、传感器、熔丝、NVM、铁电材料、SOI、Fin-FET、HEMT和HBT； 分支机构遍布世界各地，有专门的物理学博士提供TCAD支持； 与专精稳定和有远见的行业领导者合作，在新技术强化上有活跃的发展计划； 直接把ATLAS结果输入到UTMOST进行SPICE参数提取，将TCAD技术应用到整个流片(Tapeout)过程。,.,5,用Atlas语法直接进行器件描述，然后进行

4、器件性能仿真。,.,6,Atlas器件仿真步骤,启动Atlas软件 网格的定义 材料区域的定义 电极、掺杂、材料特性和模型特性等的定义 器件输出特性（I-V曲线）的仿真 用tonyplot输出仿真结果,.,7,启动Atlas软件,在LINUX系统下， 输入deckbuild as& 进入Atlas操作界面。 Go atlas开始运行。,.,8,网格的定义,.,9,网格的定义,x、y坐标的起始位置、终止位置以及网格空间间隔。,网格的疏密决定仿真结果的精确程度。,.,10,材料区域的定义,.,11,材料区域的定义,定义各个区域材料，并用polarization calc.strain等申明极化效应，并对极化效应大小及极化电荷密度进行计算。,.,12,电极、掺杂、材料特性和物理模型等的定义,定义电极,.,13,定义掺杂,.,14,定义材料特性,.,15,选定物理模型,.,16,定义接触类型,.,