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文档简介
1、1、概述、集成电路的一般特性、超小、高可靠性、低价格、集成电路的弱点、耐热性差、抗静电能力差、2、集成电路的分类、集成电路、单片集成电路、混合集成电路、双极集成电路、金属氧化物半导体集成电路、模拟集成电路、数字集成电路、模拟集成电路、数字集成电路、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和、和研磨的目的和意义,1)去除晶片背面的氧化物,以确保芯片焊接时的良好附着力。2)消除晶片后面的扩散层,以防止寄生结的存在。(3)当使用大直径晶片制造芯片时,由于晶片的厚度,需要减薄以满足划线、压力焊接和封装工艺的要求。4)降低串联电阻并改善散热性能,同时改
2、善欧姆接触。研磨方法的分类和特点,切割的分类和特点,2。切割,7。切片方法、半自动切割方法、全自动切割方法、粘贴、切片清洗和干燥、分割、拉伸、切片装载、粘贴、切片清洗和干燥、装载、装载、8、3。加载项目,什么是加载?芯片组装是将芯片组装到外壳底座或框架上。常见的方法包括树脂粘接、共晶焊接、铅锡合金焊接等。芯片,框架,银膏,芯片,芯片安装在框架上(用银膏粘合),销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销,销芯片安装的要求是:要求芯片和框架岛(床)之间的连接具
3、有高机械强度、良好的导热性和导电性、精确的组装和定位,能够满足自动键合的需要,能够承受键合或封装期间可能出现的高温,并且能够确保器件在各种条件下使用时的良好可靠性。校正表校正芯片的角度。(4)安装头将芯片从校准台安装到框架的小岛上,安装过程结束。(2)将晶圆头浆片从晶圆上抓到校桌上。介绍了装膜过程:动作过程:(1)银膏分配器将银膏分放在框架的小岛上。为了使芯片能够与外界传输和接收信号,需要用焊线将芯片的接触电极与框架的引脚一一连接起来。这个过程叫做粘合。框架中的引线、芯片接合处的电极、焊线、13、对焊线的要求以及焊线对焊接质量有很大影响。尤其是设备的可靠性和稳定性密切相关。理想的引线材料应具有
4、以下特性:能与半导体材料形成低电阻欧姆接触,化学性质稳定,不形成有害的金属间化合物,与半导体材料结合力强。(1)金具有良好的延展性,不破坏塑料制品。(2)金化学性质稳定,抗拉强度高,易于加工成细丝。弹性小,在粘接过程中能保持一定的几何形状。可塑性好,易于粘接。(1)通过超声波能量可以降低芯片和劈刀的加热温度。(2)随着温度降低,可以减少金和铝之间金属化合物的产生,从而提高结合强度并降低接触电阻。(3)能够粘合不能承受300以上高温的器件。(4)可以降低粘合压力和超声波功率。(5)也可以用残余钝化层或轻微氧化的铝压力点进行粘合。金丝热压,热超声金丝球键合,芯片温度:330 350,切割刀温度:1
5、65,芯片温度:125 300,切割刀温度:125 165,17,键合质量评价方法,抗拉强度测试:l,l/2,18,(2)金球剥离强度测试:集成电路密封的目的是保护器件免受环境影响(外部冲击,集成电路密封要求,1。气密性要求,(1)气密性包装,焊接,熔焊,压力焊接和玻璃熔封(军用产品),(2)非气密性包装:胶粘法和塑料包装法(主要用于民用设备),20,2。加热要求,即塑料包装温度要求,3。装置的其他要求:必须能够满足筛选条件或环境试验条件的要求,例如振动、冲击、离心加速、泄漏检测压力、高温老化等。设备:的环境和经济要求,21封闭空腔:1中的主要水分来源。封装在空腔中的气体含有水分。2.外壳内部
6、材料吸收的水分。3.密封材料在密封过程中释放的水分。4。储存期间,水分通过微裂纹和密封缺陷渗入。降低密封腔内水分含量的主要方法是:1。采用合理的预干燥工艺。2.避免烘烤过的贝壳再次接触室内空气(否则会上升到1000PPM以上)。3。尽量降低保护气体的湿度。为什么塑料包装属于非气密包装?因为塑料包装材料具有一定的透水性,它们对金属界面的附着力也很差,并且它们与金属的膨胀系数不匹配。因此,塑料包装不属于全密封包装。然而,采用最佳的塑料封装工艺可以提高塑料封装器件的可靠性。塑料包装材料的要求。对设备和框架有良好的附着力。它必须由高纯度材料组成,尤其是很少的离子杂质。吸水率和透湿率较低。热膨胀系数应该高,热导率应该低。成型收缩和内部应力应该很小。6。成型、硬化时间应短,脱模较好。7。流动性好,填充性好,闪光少。使用塑料包装的原因: 1。工艺简单,易于大规模生产,成本低。2.工作温度相对较低;3.芯片预先涂有保护性钝化膜。4.塑料包装材料符合包装要求。肋骨切割的目的是:将塑封框架产品一个一个的分成集成电路,肋骨切
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