蚀刻速率的影响因素及操作.ppt

1、蚀刻速度影响因素，蚀刻速度增加的可能性(包括速度增加工作阶段)，蚀刻速度影响因素，蚀刻温度ORP数值自由盐酸的用量速度(不管速度如何，都会影响蚀刻时间)。)糖浆喷射压力，蚀刻原理，蚀刻反应原理：Cu2 Cu=2Cu 2 HCl=H2O cu2cl-蚀刻罐内的反应方程：H2O2 Cu HCl=CuCl2 H2O，蚀刻速度的比重影响，其比重为34Be(如果比重大于34Be，蚀刻速度将随着比重的增加而减少。当比重为34Be时，蚀刻速度为1.02mils/min，这是最快的。=144.3(144.3-Be).(a)或=144.3(144.3 Be).(b)格式中，3354表示溶液的密度(g/ml)。B

2、e溶液的波美浓度；(a)样式用于计算比水重的液体。(b)样式用于计算比水轻的液体。，当前蚀刻进程的比重设置为1.30。基于现有条件，将比率提高到1.305-1.31之间，可以提高单位时间的蚀刻速度。ORP值对蚀刻速度的影响，ORP为570mv时蚀刻速度最大。如果ORP大于580mv，则蚀刻速度不会随ORP更改而更改。在产品生产过程中保持生产线的ORP大于580mv，可以保持蚀刻的最大蚀刻速度。蚀刻温度对蚀刻速度的影响，蚀刻速度随温度的增加而增大。蚀刻温度变化的不同影响，ORP值随温度的增加而变化。(C=(F-32)*5/9)提高蚀刻温度也将增加蚀刻侧的量。温度升高，过氧化氢，盐酸的挥发度大大增

3、加，从而增加药水的损耗。目前蚀刻线的蚀刻槽为PVC，最高蚀刻温度不得超过55 。当前工艺温度为54 。提高温度，提高蚀刻速度的操作范围只有1 的操作值。玻璃盐酸对蚀刻速度的影响，玻璃酸是指坦克中以HCL形式存在的盐酸。增加游离酸的量可以促进蚀刻速度。蚀刻液再生需要一定的游离酸才能进行蚀刻液再生。0-3N的游离酸含量，蚀刻速度的增加与游离酸量成正比；3-5N的玻璃酸量会降低增长率。提高Cl-蚀刻速度的原因cuc 2Cl-=(cuc L3) 2-cl-浓度可以显着提高蚀刻速度。氯化铜生成的铜蚀刻，结果氯化铜不溶于水，在铜表面形成薄膜，防止反应，与过量的Cl-氯化铜络合，可溶络合离子(CuCl3)2

4、-，在铜表面溶解，提高蚀刻速度，自由盐酸还会引起侧蚀刻值的变化要调节侧面蚀刻值，游离酸的浓度不太高。游离酸不同浓度的影响，盐酸溶解度增加，蚀刻时间减少，但药水中游离酸浓度增加，盐酸的挥发度增加，腐蚀蚀刻装置；另外，随着游离酸浓度的增加，氯化铜的溶解度降低。蚀刻工艺的玻璃酸为1.45N。Chemcut的建议值为1-2N，在其他资料中，玻璃酸浓度基本上为2-3N。罐中的铜离子换算为180g/L，物质量在3N左右，此时6N的盐酸和4N的盐酸溶液基本上具有相同的蚀刻速度，如果想提高盐酸量，则4N的游离酸最大。氯化铜mol浓度，6N HCl溶液，4N HCl溶液，2N HCl溶液，水溶液，Chemcut

5、给出的蚀刻参数ORP 540mv to 560mv玻璃酸1N to 2N比重32be (1.28) to 34be (1.31一般情况下，在保持手动监测和数据测量、药水的分压值、相同产品、其他相关条件的前提下，2.2bar压力下为0.123mm，侧侵蚀值为15.01mm(0.015mm)，2.5bar压力下为0.128mm，侧侵蚀值为12.31um(0.0128mm)两组数据的总值相同，但2.5bar的产品间隔值大于2.2bar的产品。从以上数据可以看出，2.5bar的条件蚀刻速度大于2.2bar的蚀刻条件蚀刻速度，因此增加糖浆的压力会增加蚀刻速度。蚀刻速度可调节参数，将0.01左右的比率提高

6、到1.31，以提高时间速度。蚀刻温度目前很高，蚀刻槽的最高允许温度为55 ，最高可上升1摄氏度。ORP值提高，使药水的ORP值保持在570mv以上，蚀刻速度高。玻璃盐酸的量现在可以上升到插槽1.15N到4N，但不建议这样高的玻璃酸值，可以暂时提高到2N左右。速度(影响蚀刻时间，与速度无关。)药水分压目前为2.5bar，蚀刻槽药水压力最大2.5bar，目前设备接触输入压力无法调整。蚀刻速度增加的极限，蚀刻速度只能调整比率、游离酸浓度、温度。温度不稳定存在一些变化，由于凹槽中的材质，不建议再次更改蚀刻温度。如果改变比重，根据电子比重计、ORP探针，槽体可以自行调整，短期内返回到当前蚀刻条件。改变玻

7、璃酸的浓度，蚀刻罐暂时不能重新调整现有的饮食条件，需要人为干涉。但是比例的可调节性小，蚀刻速度影响小。游离酸浓度的调节性高，对改变蚀刻速度有很大影响。玻璃酸浓度变化：速度从4m/min提高到5m/min，提高了25%。玻璃酸浓度从大约1.15N增加到2N，以平衡蚀刻速度。蚀刻速度调节测试工作，糖浆中游离酸含量的增加，游离酸从1.15N增加到1.5n(2262 *(1.5-1.15)n=11.7 * v盐酸量，添加67.7L，盐酸3桶)，至少5米的试制(玻璃酸浓度不太高，最好控制在2N左右。)如果产品的间隙值和侧面侵蚀值在产品的允许范围内，则通过改变比例来微调间隙值，其比重可以从1.30增加到1.305左右(通过添加氯化铜粉末来改变比重)。相反，如果差异太大，可以将游离酸浓度提高到2.0N(2262*(2-1.5)N=11.7*V盐酸，添加96.7L，4.5桶36%的浓盐酸)，并尝试至少5米的生产，以监测产品的间隙值和侧蚀值。重复步骤2，直到蚀刻产品符合产品要求。如果盐酸浓度达到3N，则达不到理论要求值，该浓度是通过微调其他条件而调节蚀刻的速度。在第一、二、三阶段，蚀刻可以提高速度。可以的话，可以执行速度测试，监控测试的稳定性和可行性。实验结束后，为了不延迟生产，按照1.15N/C的目前玻璃酸量=2262/(2262 X)稀释水(X是添加水的量)，此时