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文档简介

1、,第三章电容传感器、电容传感器的定义将电容作为敏感组件,将测试的非电容量的变化转换为电容变化的传感器。电容式传感器测量位移、振动、压力、加速度、液面、成分含量等。电容传感器的类型包括可变极点类型、可变区域类型和可变介质类型。第三章电容式传感器,3.1电容式传感器工作原理和结构3.2电容式传感器等效电路3.3电容式传感器测量电路3.4电容式传感器测量电路应用,电容式极板间介质的介电常数,0为真空介电常数,r极板间介质的相对介电常数;a被两块平行板覆盖的面积;d两个平行板之间的距离。无论边缘效应如何,由两个平行金属板组成的平面电容器,1,基本工作原理,3.1电容传感器工作原理和结构,测试参数变化a

2、,d或发生变化时,功率容量c也发生变化。仅变更一个参数。此参数可以转换为电气容量变更,并且可以测量电路并转换为电气输出。可变螺距、可变面积和可变遗传常数。一、基本工作原理、3.1电容式传感器工作原理和结构、电容器板之间的距离从初始值d0减少到 d、电容增加到 c时,二、可变范围容量传感器、3.1电容式传感器工作原理和结构、 d/d01、1-( d)可变螺距电容传感器只有在 d/d0时间很短的情况下才有近似的线性关系。1,基本输出特性,电容的相对变化量为2,可变螺距电容传感器,3.1电容传感器工作原理和结构,| d/d0 | 1,串联扩展,输出电容的相对变化量与输入位移之间的非线性关系。传感器的

3、相对非线性误差:2,非线性特性,电容传感器的灵敏度,2,变极距离电容传感器,3.1电容传感器的工作原理和结构,3,灵敏度,单位输入位移引起的输出电容的相对变化大小与d0成反比。近似线性关系,| d/d0 | 1,2,非线性特性,要提高灵敏度,必须减小起始间隔d0,但是非线性误差随着d0的减小而增加。普通变压器之间的距离电容传感器的起始电容在20100pF之间,板之间的距离在25200m的范围内。最大位移必须小于间距的1/10。变极距离电容式传感器在微位移测量中应用最广。当差动平板电容器中的移动板位移 d时,电容器C1的间隙D1变为d0- d,电容器C2的间隙D2变为d0-d,2,可变螺距电容传

4、感器,3.1电容传感器的工作原理和结构在实际应用中减少非线性误差,从而提高灵敏度。4,微分结构,电容值的相对变化量为2,变螺距电容传感器,3.1电容传感器工作原理和结构,略高项, c/c0和 d/d0近似线性关系,电容值的总变化量为4,微分结构,差动传感器的灵敏度为2,变极距离电容传感器第三,可变面积电容式传感器,3.1电容式传感器工作原理和结构,传感器的功率容量和水平位移具有线性关系。测量了移动板移动引起的两个面板的有效覆盖变化引起电能容量的变化。相对于参考板,移动板转换 x时,电容的相对变化量为1,平行平板线位移型,初始电容C0为3,可变面积电容传感器,3.1电容传感器工作原理和结构,传感

5、器的电容与内部圆柱位移呈线性关系。coverage长度变更时,电量也会变更。如果内筒向上移动到a,则内筒和外筒之间电容的相对变化为2,同轴圆筒导线位移,初始电容C0为3,可变面积电容传感器,3.1电容传感器的工作原理和结构,传感器的电气容量和角度位移为线性关系。如果移动板具有角度位移,则与基准板的有效覆盖面积发生变化,从而改变两个板之间的电容。电容的相对变化量为3,角位移,固定板长度为a,宽度为b,两个板之间的距离为d;被测量物体的厚度和介电常数分别为dx和时,4,可变介质电容传感器,3.1电容传感器的工作原理和结构,传感器的电容与被测量物体的厚度和介电常数有关。在介电常数恒定的情况下,通过传

6、感器电容量的变化来测量物体的厚度。1,单板厚度电容式传感器,将板宽设置为b,板间无介质2,传感器的电容,4,可变介质容量传感器,3.1电容式传感器工作原理和结构,传感器的电容和位移表示线性关系。介质2插入后的功率容量,2,单平面位移容量传感器组,1,液面高度h,转换器全高度h,内管直径d,外管直径d,转换器电容值4,可变介质容量传感器,3.1电容传感器工作原理和结构,变换器的容量增加量与测量的液位高度成正比。3,水平圆柱电容传感器测量,5章电容式传感器,3.1电容式传感器工作原理和结构3.2电容式传感器等效电路3.3电容式传感器测量电路3.4电容式传感器测量电路3.4电容传感器应用,考虑电容损

7、耗和电感效果,电容传感器的等效电路。第一,电容传感器等效电路,3.2电容传感器等效电路,根据等效电路,电容传感器一般具有数十兆赫的谐振频率。如果工作频率等于或接近谐振频率,谐振频率破坏传感器工作正常。因此,工作频率必须低于谐振频率。并行损耗电阻Rp:表示平板之间的漏电电阻和介电损耗。并联损耗低频时影响大,随着工作频率的提高,容差减小,影响减小。串联损耗电阻Rs:引线电阻、电容器支架和板电阻的损耗。电感l:电容器的电感和外部电感。第三章电容式传感器、3.1电容式传感器工作原理和结构3.2电容式传感器等效电路3.3电容式传感器测量电路3.4电容式传感器测量电路3.4电容式传感器应用,电容传感器的电

8、容值和电容变化量很小,在仪表中直接显示和记录有困难。因此,一些测量电路必须检测电容的微小变化,并转换为相应的电压、电流或频率输出。1、FM测量电路、3.3电容传感器测量电路、常用测量电路:FM电路、运算放大器电路、二极管双t型交流电桥、环形二极管充放电电路、脉宽调制电路等。调频测量电路的电容传感器是振荡频率随输入量的变化而变化的振荡器谐振电路的一部分。如果直接使用频率作为测量系统的输出量来判断测试的非电量的大小,则存在非线性、不容易修正等问题。因此,添加鉴频器后,频率变化转换为电压振幅变化并输出。调频振荡器的振荡频率可以是1,调频测量电路,3.3电容传感器测量电路,调频测量电路灵敏度高,甚至可

9、以测量0.01m级位移变化量。信号输出频率是数字仪器,易于测量,与计算机通信,抗干扰能力强,实现遥测遥控。如果测试的信号不为零,则 c 0,振荡器频率变化,振荡电路的总电容,C=C1 C2 Cx,C1是振荡电路的固有电容,C2是传感器引线的电容,CX=c0 c是传感器的电容。当正在测量的信号为0时 c=0时,振荡器的固有频率具有较大的运算放大器倍率,输入阻抗高,可以用作电容传感器的理想测量电路。、第二,运算放大器测量电路、3.3电容传感器测量电路、运算放大器电路输出电压、测量电路输出电压的相位和电源电压的倒相。将Cx设置为电容式传感器电容;Ui是交流电源电压。Uo是输出信号电压。是虚拟位置。可

10、以将运算放大器输入电流视为零,根据克希霍夫定律,如果存在平行平板电容器,则第二,运算放大器测量电路,3.3电容传感器测量电路,实际上运算放大器测量电路保持一定的非线性。为了确保仪器的准确性,运算放大器阻抗和倍率不仅必须足够大,而且电源电压的幅度和固定电容值非常稳定。运算放大器的输出电压与极点间的距离具有线性关系。运算放大器电路解决了运算放大器放大和输入阻抗的无限条件下变极电容传感器的非线性问题。在二极管双t型交流电桥电路中,e是高频电源,振幅为u的对称方波,VD1、VD2提供两个具有完全相同特性的二极管,R1、R2提供两个电阻相同的固定电阻,C1、C2提供传感器的两个差动电容器。3,二极管双t

11、型交流电桥,3.3电容式传感器测量电路,(1)无传感器输入C1=C2 e为半正弦时二极管VD1传导,VD2关闭时电容C1在很短的时间内充电为u。在前面的负半周,电容器C2以电压u充电。1,电路基本结构,2,基本工作原理,3,二极管双t型交流电桥,3.3电容传感器测量电路(1)未输入传感器时,C1=C2电源通过R1向I1放电,电容C2通过电阻R2和负载电阻RL放电,通过RL的电流通过I2流动通过RL的总电流IL是I1和I2的对数之和。2,基本工作原理,同样,当e为负伴奏时,过流电阻RL中的电流是I1和I2的代数之和。根据给定条件,在一个周期的过流电阻中平均电流I1=I2,I1=I2流动,在相反方

12、向通过RL的平均电流为0。二极管双t型交流电桥,3.3电容传感器测量电路,(2)如果传感器输入中C1C2传感器输入不为零,则C1C2、I1I2、1周期内通过RL的平均电流不为零。因此,输出电压在一个周期内为平均值,2,基本工作方式,输出电压与电源幅度和频率f相关,与电容C1和C2的差异相关。3,二极管双t型交流电桥,3.3电容传感器测量电路,(2)如果传感器有输入,C1C2 RL恒定,则引入常数m,在一个周期内输出电压平均值简单,2,基本工作原理,确定电源时输出电压是电容C1和C2的函数。(3)双t电路的特征线路简单,可以全部放置在探针上,大大减少电容引线,减少分布电容的影响;需要电源循环、振

13、幅影响灵敏度、高稳定性;输出阻抗克服了与电容无关的电容式传感器高内阻的缺点。适用于具有线性特性的单、差传感器。差分脉宽调整电路,充电传感器电容,使电路输出脉冲的宽度随传感器电容的变化而变化。通过低通滤波器测量的变化转换为直流信号输出。4,脉宽调制测量电路,3.3电容传感器测量电路,开机后,触发器q端高水平,触发器通过R1充电Cx1。2,基本工作原理,1,电路基本结构,Cx1,Cx2是差动传感器的两种电容;如果是单个集合,其中一个是固定电容,其电容值与传感器电容的初始值相同。A1,A2是Ur为参考电压的两个比较器。当f点电位UF等于参考电压Ur时,比较器A1产生反转触发器的脉冲,使q端位于较低的

14、级别。此时,电容Cx1通过二极管VD1快速放电到0,触发器通过R2充电到C2。4,脉宽调制测量电路,3.3电容传感器测量电路,2,基本工作原理,当gpoint potentialug等于基准电压Ur时,比较器A2输出脉冲翻转触发器。电容Cx2通过二极管VD2快速向0放电。这样交替鼓励。因此,电路放电的时间,即触发输出方波脉冲的宽度,由电容Cx1,Cx2调制。(1)当Cx1=Cx2时,触发器两端级别的脉冲宽度T1和T2相同,测量电路在一个周期T=T1 T2小时内将平均电压输出为零。4,脉宽调制测量电路,3.3电容传感器测量电路,2,基本工作方式,(2) Cx1Cx2,C1和C2充放电时间常数发生

15、变化,触发器两端的脉宽T1和T2不相等,测量电路在1周期T=T1 T2小时内平均(3)单周期输出平均电压与传感器电容的关系,对于差动可变极距平行板电容传感器,同样,对于可变区域电容传感器,因此,差动脉宽调制电路对于差动电容传感器具有适用的理论线性特性。 电路使用直流电源,没有高电压稳定性、稳频、波形纯度要求或相位检测和解调等。无元件线性要求;低通滤波器输出大直流电压,输出矩形波的纯度要求也不高。解决了3章电容式传感器、3.1电容式传感器工作原理和结构3.2电容式传感器等效电路3.3电容式传感器测量电路3.4电容式传感器测量电路3.4电容式传感器应用、电子技术开发、电容式传感器中存在的若干技术问

16、题,广泛应用电容式传感器。精确测量:位移、厚度、角度、振动和其他物理量;力、压力、差压、流量、成分、液面及其他参数。在自动检测和控制系统中,也经常起到位置信号发生器的作用。1,电容式压力传感器,3.4电容式传感器应用,差动电容式压力/差压传感器:如果测量压力或压差作用于膜片,产生位移,两个电容器的电容将增加一个,减少一个。电容值的变化由测量电路转换为与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。其次,有很多电容式称重传感器、3.4电容式传感器应用程序、电容式称重传感器结构等。基本原理:使用弹性敏感元件施加压力,使其变形,电容器随附加重量而变化。称重时弹性元件受力变形,移动板的位移改变传感器的电容。在弹性钢材中高度相同的地方钻一个孔,在孔内形成平行平板电容器行。电路中,每个电容是并行的,输出反映了测量误差大幅减少的平均力的变化(误差平均效果)。3,电

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