洁净室室系统介绍2

1、洁净室系统介绍，洁净室系统介绍，2。洁净室的定义和分类，洁净室的分类，洁净室的主要控制参数，洁净室的能耗和节能介绍，洁净室的定义和分类，3.1。洁净室的定义是指去除一定空间内空气中的颗粒、有害空气和细菌等污染物，并去除室内温度和湿度、洁净度、室内压力、气流速度和分布、噪声振动和照明。无论外部空气带如何变化，其内部都可以具有保持洁净度、温度、湿度和压力等原设定要求的特性。洁净室的定义和分类。洁净室的分类在世界各国都有自己的规定。现在只介绍两种常用的分类方法，国际标准化组织14644-1和美国联邦209E对照表以1ft3(立方英尺)为单位空间，以直径0.5um的尘粒为比较标准，即洁净室的定义和分类

2、。美国联邦政府209E以1M3为单位空间，以直径为0.5 m的尘粒为比较标准，即洁净室水平以前缀“m”表示，如M1、M1.5、M2.5、M3等，字母m后的阿拉伯数字以每立方米0.5 m尘粒数的10次方表示，并取其指数。如果将尘粒描述在前一个和后一个之间，则表示为1.5、2.5和3.5，包括洁净室的定义和分类，6，洁净室的定义和分类，7，ISO14644-1(国际标准)，8，各国洁净度等级的近似对照表，洁净室的分类，以及9，洁净室的分类通常有三个基础，即运行状态、气流组织和使用。静态、动态、单向流、湍流、混合流、矢量流、工业洁净室、生物洁净室、一般生物洁净室、生物安全洁净室、水平单向流、垂直单向

3、流、洁净室分类，10，1。根据运行状态对已建成并可在空状态下投入使用的洁净室(设施)进行分类。它拥有所有相关的服务和功能。然而，设施中没有由操作员操作的设备。静态洁净室(设施)，功能齐全，设置和安装适当，可根据设置使用或正在使用，但设施内没有操作人员。洁净室正常使用，具有完善的服务功能、设备和人员；如果有必要，你可以做正常的工作。洁净室分类，11，2。单向流动洁净室根据气流组织进行分类，也称为层流、塞流等。气流成一条均匀的直线，空气通过覆盖率为100%的过滤器进入房间，并通过高架地板或两侧的隔板返回空气。这种形式适用于洁净室等级要求高的环境，一般洁净室等级为1100级。它可分为两种形式，即a

4、.水平单向流动：水平空气从过滤器中单向吹出，由对面墙壁的回风系统返回，灰尘随风排出房间。总的来说，下游的污染很严重。优点：结构简单，术后短时间内稳定。缺点：建设成本高，室内空间不容易扩大。洁净室分类，12。垂直单向流动：房间的天花板完全被ULPA过滤器覆盖，空气从上到下吹，可以获得更高的洁净度。工艺或工人产生的粉尘可以快速排放到室外，而不会影响其他工作区域。优点：易于管理，运行后可在短时间内达到稳定状态，不易受运行状态或操作人员的影响。缺点：建设成本高，难以灵活应用空间，相当大的空间占用吊顶衣架，以及麻烦的维护和更换过滤器。洁净室分类，13。湍流洁净室：空气从空调箱通过洁净室的风道和过滤器(H

5、EPA)进入洁净室，从洁净室两侧的隔断墙板或高架地板返回。气流以非线性方式运动，并且处于不规则湍流或涡流状态。这种形式适用于洁净室等级1000-100000。优点：结构简单，系统建设成本低，洁净室易于扩展，无尘工作台可用于一些特殊场合，提高洁净度水平。缺点：湍流产生的细颗粒在室内漂浮时难以排出，容易污染工艺产品。此外，如果系统停止运行并重新激活，将需要很长时间才能达到所需的清洁度。洁净室分类，14。自洁时间：指洁净室按照设计换气次数开始送风，直至洁净室的粉尘浓度达到所涉及的净化水平的时间。换气次数=房间风量/房间容积，单位为次数/小时。换气次数不仅与空调房间的性质有关，还与房间容积、高度、位置

6、、送风方式和室内空气劣化程度等诸多因素有关，是一个经验系数。15、混合式洁净室的分类，也称为混合流洁净室，可以通过结合或利用湍流和层流来提供局部超洁净空气。答：清洁隧道：使用HEPA或ULPA过滤器100%覆盖工艺区或工作区，清洁度可提高到10以上，可节省安装和运行费用。在这种形式下，操作人员的工作区域应与产品和机器维护隔离开来，以避免在机器维护期间影响工作和质量。这种形式通常用于ULSI工艺。干净的隧道还有另外两个优点：一、灵活扩展容易；设备可以在维修区维修。清洁管道：围绕和净化产品流通过的自动生产线，将清洁度提高到100以上。由于产品与操作人员和多尘环境隔离，少量的空气供应可以获得良好的清

7、洁度，从而节约能源。无人值守的自动化生产线最适合使用。适用于制药、食品和半导体行业。洁净室分类，16、安装局部清洁点：提高湍流洁净室工艺区的洁净度，洁净室等级为1000010000，生产用洁净室等级为101000以上；洁净工作台、洁净工作棚和洁净空气柜都属于这一类。洁净工作台：1100级洁净工作棚：为了在湍流洁净室中用防静电透明塑料布围起一个小空间，采用独立的HEPA或ULPA空调送风机组，形成一个101000级、高2.5m、覆盖面积小于10m2的高级洁净空间。四根立柱配有活动轮，使用灵活。17、矢量流洁净室：矢量流以相同的速度从扇形高效过滤器的中心沿着每个方向的半径送出，而使用这种气流的洁净

8、室称为矢量流洁净室。这种洁净室的理论研究很少，应用实例也很少，主要是在欧美。矢量流洁净室的净化原理不同于湍流的稀释效应和单向流的活塞效应。它依靠气流的斜推作用和不相交的流线(痕迹)将室内空气排到室外，从而达到净化的目的。国内外的研究表明，它可以达到ISO5水平，在某些场合可以替代单向流洁净室。洁净室的分类，18、洁净室的分类，不同洁净度的洁净工厂的送风量和冷能投资及电耗指标，19、洁净室的构成由以下系统组成，这些系统是系统分子中不可缺少的，否则就不会形成一个完整的、质量良好的洁净室。1.天花板系统：包括天花板杆、工字梁或工字梁、天花板格栅或天花板框架。2.空调系统：包括空气仓、过滤系统、风车等

9、。隔墙系统：包括门窗。4.地板：包括高架地板或防静电苏美地板(华夫格板)；5.照明设备：包括荧光灯、黄管等。洁净室结构，20，洁净室结构，21，洁净室的主体建筑结构一般是钢筋混凝土或骨水泥，但无论是哪种结构，都必须满足以下条件：a .不会因温度变化和振动而产生裂缝。灰尘颗粒不容易产生，并且很难附着颗粒。吸湿性小。为了保持洁净室的温度和湿度条件，隔热性应高。洁净室结构，22，1能够承受和配合其他相关系统的运行，如过滤风扇和洒水装置。用途：a .彩钢吊顶：低品位洁净室b .铝合金龙骨盲板系统b .吊顶网格系统，用于阳极氧化铝合金龙骨表面的高品位洁净室，洁净室结构，23，2。空调系统控制洁净车间的温

10、度、湿度、清洁度和压力。室外空气经空调处理后，由风机通过风道送入各个房间。MAU(新风机组)FFU(风机过滤器机组)(干式盘管)，洁净室结构，24。隔板：双层净化板特点和功能：优质钢板和特殊层钢板，内夹高密度聚氨酯。优点：节能、环保、经济美观、保温隔热性能好；整体刚度好，承载力高；连接合理简单，造价低廉。常用的材料有：彩钢夹芯板根据夹层材料的不同：A .岩棉夹芯板：耐火性好B .聚苯乙烯夹芯板：经济C .蜂窝板(铝蜂窝、纸蜂窝和陶瓷蜂窝):强度好，洁净室结构，25，4。地板：环氧树脂，聚氯乙烯地板优点：附着力强，无缝，防尘地板型环氧自流平环氧聚氯乙烯地砖高架地板A .冲孔板：开孔率17% B

11、.障碍板：40 p% C .盲板：无开孔，洁净室结构，26，5。照明：其主要功能是使工作活动清晰可见，从而形成安全、舒适、有效的工作条件，包括：一般照明、黄灯、应急照明等。洁净室照明：照明强度的简称，是一个物理术语，指每单位面积接收的可见光能量，是照明量的指示器，单位为勒克斯或勒克斯。它可以用照度计测量。眩光：指由于空间或时间上的亮度分布不合适或亮度反差过大而导致视觉不适和物体可见度降低的视觉状况，是照明质量的一个指标。从洁净室的定义可以看出，洁净室的主要控制参数如下，即洁净室的主要控制参数28，1。清洁度是指清洁空气中灰尘(包括微生物)的程度，单位为pc/m3。我们通常用洁净度来衡量洁净室的

12、空气质量，同时洁净度也是洁净室分类的基础。洁净室主要控制参数，粉尘粒径示意图，29，洁净室粉尘来源，洁净室主要控制参数，30，洁净室粉尘的去除通过过滤器的多级过滤实现，末端过滤器决定洁净室的洁净度。末端过滤器(Hepa、Upa)的过滤等级越高，满布率越大，洁净室的洁净度等级越大，反之亦然。其他低等级过滤器主要是为了保证和延长末端过滤器的使用寿命而设置的。洁净室主要控制参数，31。不同过滤器的过滤效率、过滤粒径和初始阻力的比较，洁净室的主要控制参数，32。空气过滤器过滤水平的比较，洁净室的主要控制参数，33。2.温度和湿度洁净室的温度和湿度主要根据工艺要求来确定，在满足工艺要求的情况下也要满足人

13、员的舒适度。温度对生产过程的影响主要从产品精度和合格率两方面考虑。，洁净室的主要控制参数，湿度有很多影响，如：a .湿度高，冷却水管壁容易凝结，水滴会引起各种事故；b .湿度高，难以清除物体表面的灰尘；湿度低于30%时，静电力会使粒子吸附在物体表面，而半导体器件会分解。洁净室热源，34，1)温度控制原理a .温升：空气加热器或电加热器常用来处理空气。在处理过程中，空气温度升高，但水分含量不变，这也称为干加热或等湿加热。冷却干式冷却：用表面温度低于空气温度但高于空气露点温度的空气冷却器处理空气的过程。由于处理过程中没有冷凝水，因此在此过程中通常采用干盘管实现除湿冷却：在用温度低于空气露点温度的空

14、冷器处理空气的过程中，空气中的水蒸气凝结成水，温度降低，相对湿度增加，绝对湿度降低，这是洁净室的主要控制参数。 35，2)湿度控制原理A .除湿处理过程见“除湿冷却”B .加湿，洁净室的主要控制参数，等焓加湿：当循环水处理空气被喷水室喷射时，水吸收空气的热量，蒸发成水蒸气，使空气失去显热，增加潜热，焓值基本保持不变，类似等焓过程。 我公司采用这种加湿方式，36，洁净室的主要控制参数，等温加湿：它是通过向空气中喷射蒸汽来实现的。焓和含水量随着空气中蒸汽的增加而增加。当蒸汽温度为100时，接近等温。37，洁净室主要控制参数，温度、湿度和洁净度控制示意图，38，3。压力对于大多数洁净室来说，为了防止

15、外界污染的侵入，有必要保持室内压力(静压)高于外界压力(静压)。压力的维持一般应遵循以下原则：洁净空间的压力高于非洁净空间的压力；高洁净度空间的压力高于低洁净度空间的压力；洁净室之间的门应向高洁净度的房间敞开；根据洁净厂房设计规范，不同级别洁净室与洁净区和非洁净区之间的压差不应小于4.9帕，洁净区与室外之间的静压差不应小于9.8帕，洁净室主要控制参数39，4。静电危害：产生的电磁场会穿透电子和微电子产品，导致废品静电放电，导致电子仪器误操作，火花会暴露感光材料，引发火灾和爆炸。影响洁净室的安全2)静电产生的原因：接触带电、感应带电、流动带电、电晕带电、洁净室的主要控制参数，40、3)洁净室维护

16、的静电消除和防静电：即洁净室的维护(墙壁、屋顶和地板)采用高导电材料建造。接地应由电阻值为104106的静电导电材料或电阻值为106109的抗静电材料制成。良好的接地墙和屋顶应采用铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制成，表面电阻值为106109，良好的接地人员应防静电：洁净室操作人员应穿防静电、干净的工作服，并在服装和编织中加入金属纤维、碳纤维等导电材料。如有必要，手腕应配有接地腕带。如果生产过程允许，可以通过增加洁净室的相对湿度来消除静电。洁净室的主要控制参数，41，5。气流1)气流的重要性洁净室的洁净度通常受气流的影响，换句话说，人、机器间隔和建筑结构产生的灰尘的运动和扩散受气流控制。一旦这些灰尘扩散，就不可能保持一个干净的空间，因此，产生的灰尘必须通过人工智能迅速排放到室外2)气流控制洁净室气流控制主要从两个方面来实现，即a .气流速度：风速越高，气流抗干扰能力越强。然而，随着流速增加，运行成本也增加。因此，考虑到经济性和适用性，气流速度一般在0.250.5之间，洁净室的主要控制参数为42。气流均匀性如果气流均匀性不能保持，这意味着风速。3)影响因素洁净室的影响因素很多，如工艺设备、人员、洁净室装配材料、照明器具等。同