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文档简介

,第五章 电子与物质的相互作用,5.1电子与固体试样的交互作用,一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、 阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。,一束电子射到试样上，电子与物质相互作用，当电子的运动方向被改变，称为散射。,散射,弹性散射,非弹性散射,电子只改变运动方向而电子的 能量不发生变化,电子的运动方向和能量都发生变化,

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