PECVD特气.ppt

1、PECVD的特气,硅烷SiH4,氨气NH3,四氟化碳,CF4,氮N2,制作人段文博,硅烷SiH4,危险性概述 爆炸危险：易燃， 暴露在空气中能自燃。 健康危害：吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗，严重者面色苍白，脉搏微弱， 陷入半昏迷状态。脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，必要时进行人工呼吸，就医。,消防措施 危险特性：易燃，遇明火、高热极易燃烧，暴露在空气中能自燃，与氟、氯等发生剧烈的化学反应。 灭火方法：切断气源，若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体，喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 灭火剂：二氧化碳。,硅烷SiH4,泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染

2、区，人员至上风处，并隔离至气体散去，切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般消防护服，切断气源，喷洒雾状水稀释、抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内，漏气容器不能再用，且要经过技术处理，以除去可能剩下的气体。,硅烷SiH4,爆炸危险：易燃，能与空气混合形成爆炸性气体，遇明火及高热会燃烧、爆炸。 健康危害：低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死。 急性中毒：轻度者出现眼泪、咽痛、声音嘶哑、咳嗽、咯痰等，眼结膜、鼻粘膜、咽部充血、水肿、胸部X线症象符合支气管炎或支气管周围炎。中度中毒：上述症状加重，出现呼吸困难、紫

3、绀、胸部X线症象符合肺炎或间质性肺炎，严重者可发生中毒性肺水肿，或有呼吸道窘迫综合症，患者剧烈咳嗽，咯大量粉红色泡沫痰，呼吸窘迫，谵意、昏迷、休克，可发生喉头水肿或支气管粘膜坏死脱落窒息，高浓度NH3可引起反射性呼吸停止。浓氨或高浓度氨可致眼灼伤，浓氨可致皮肤灼伤。,氨气NH3,环境危害：对环境有严重危害，应特别注意对地表水、土壤、大气和饮用水的污染。 皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，应用2%硼酸液或大量清水冲洗，就医。 眼睛接触： 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底清洗，至少15分钟，就医。 吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，如呼吸困难，给输氧；如呼吸停止，立即进行人

4、工呼吸，就医。 危险特性：易燃，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧、爆炸，与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应，若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。,氨气NH3,灭火方法: 消防人员必须穿戴全身防火防毒服，切断气源，若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体，喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 灭火剂： 雾状水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土.,氨气NH3,泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区，人员至上风向，并立即隔离150米，严格限制出入，切断火源，建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服，尽可能切断泄漏源，合理通风，加速扩散，高浓度泄漏区，喷含HCl的喷

5、雾水中和、稀释、溶解，构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如可能将残余气或漏出气体用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。储罐区最好设稀酸喷洒设施。漏气容器要妥善处理，修复，检验后再用。,氨气NH3,四氟化碳 CF4,特性： 无色无臭气体。不燃。若遇高热，容器内压增大，有 开裂和爆炸的危险。 危害： 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 急救措施： 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通 畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行 人工呼吸。就医。,个人防护措施： 呼吸系统防护： 一般不需特殊防护。高浓度接触时 可佩戴自吸 过滤式防毒面具(半面罩)。 眼睛防护： 一般不需特殊防

6、护。 身体防护： 穿一般作业工作服。 手防护： 戴一般作业防护手套。其它：避免高浓度吸 入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作 业，须有人监护。,四氟化碳 CF4,四氟化碳 CF4,泄漏应急处理 : 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 灭火方法： 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。,个人防护措施： 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。眼睛防护：一般

7、不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴一般作业防护手套。其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。,氮N2,泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 灭火方法：本品不燃。用雾状水保持火场中容器冷却 急救措施 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。,氮N2,防护措施 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。当作业场所

8、空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。眼睛防护：一般不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴一般作业防护手套。其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。,氮N2,氧O2,健康危害 侵入途径：吸入。健康危害：常压下，当氧的浓度超过40%时，有可能发生氧中毒。吸入40%-60%的氧时，出现胸骨后不适感、轻咳，进而胸闷、胸骨后烧灼感和呼吸困难，咳嗽加剧；严重时可发生肺水肿，甚至出现呼吸窘迫综合征。吸入氧浓度在80%以上时，出现面部肌肉抽动、面色苍白、眩晕、心动过速、虚脱，继而全身强直性抽搐、昏迷、呼吸衰竭而死亡。长期处于氧分压为60-100kPa(相当于吸入氧浓度40%左右)的条件下可发生眼损害严重者可失明。,氧O2,泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。避免与可燃物或易燃物接触。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 防护措施 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。眼睛防护：一般不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴一