plasma 原理及设备介绍PPT课件

1、日语翻译： Room1017，花宝plaza no.3065红心rd，迷你地方， 上海飞机201101 tel :5179331 fix :51101.等离子清洗技术介绍第四代等离子体蚀刻-第四代等离子体蚀刻-第二代等离子体蚀刻-第四代等离子体蚀刻1618页4.4塑料， 玻璃和瓷混合双打的表面活性化和清洁-1920 page4. 5等离子体涂层- 2127 page8.双芯片plasmacleaningsystemvsp 88h- - 简化了Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District、上海菜单201101 tel :517

2、93931 fix 333661络离子化过程如果有效的表面处理对提高产品的可靠性和工艺效率很重要，那么等离子体技术也许是最适合你的技术。 通过表面活性化、蚀刻、表面沉积，等离子体技术可以改善大部分物质的性能：清洁级、亲水性、防水性、粘接性、比例性、润滑性、耐磨耗性。3、Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District、shahichina 201101 tel :51793931 fix 333661等离子体清洗的原理是，对一组电极射频波电压电极间形成射频波交变电场，区域内的瓦斯气体在交变电场的激变下形成等离子体，活性等离子体对

3、被清洗物起物理冲击和化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气体物质。 将被清洗物的表面物质变成粒子和气体物质，抽真空排出，达到清洗目的。、4、Room1017、保罗plaza no.3065 hongxinrd、小型分区、上海市场201101 tel :51793931 fix 33661 plasma是生成自然状态的也就是说，需要几十万度和几百万度的高温，但如果加上高电极，即使在低温状态下也能使原子和分子络离子化。 电子(e-)、5、Room1017、保罗plaza no.3065红心rd、迷你地方、上海市场201101 tel :51793931 fix 336051793933

4、Room1017， huabao plaza no.3065 hongxinrd Shanghai China 201101 tel :51793931 fix :51793933 home page :由于压力高，粒子一多，平均行程距离(mean frr 因此，需要适当的压力、500V、10-3，为了使Plasma容易产生络离子化，需要适当的压力和适当的电压。 30660上海飞机201101 tel :51793931 fix :51793933主页： 8，Room1017， 花宝plaza no.3065红心红上海菜单201101 tel 336051793931 fix 33605179

5、3933主页：是阿拉gon， O2和H2 Plasma的清洗原理。Argon Plasma用于物理去除表面污染物。H2 Plasma与表面的O2反应生成H20，O2 Plasma与c反应生成CO2以去除污染物。 高能源、高能源、高能源、高能源、高能源、高能源、高能源、 h c、o、o、o、Ar、Ar、9、Room1017、黄金标签号3065红心rd、迷你地方、上海城市201101 tel :51793931 fix 336051 Room1017， huabao plaza no.3065 hongxinrd shunghai China 201101 tel :51793931 fix :5

6、1793933家庭页：利用Plasma清洗技术是主要围绕半导体的金属，plastast 用于清洗及活性化.Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District、shaichina 201101 tel :51793931 fix 336051793933 home page 3360 溢出的树脂、残留的感光剂、溶液残渣以及其它有机污染物暴露于等离子区，易于快速去除。 PCB厂家通过等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻，带走钻头中的绝缘材料。12、Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District

7、、Shanghai China 201101 tel :51793931 fix 33331一，在金属表面的脱油及清洗金属表面含有油脂， 多有油污等有机物和氧化层，在进行溅射、涂膜剂、粘接、合身、焊接、铜焊接以及PVD、CVD涂层之前，必须通过等离子处理来得到完全的清洗和没有氧化层的表面。 在这种情况下的等离子体处理中，1.1灰化表面的有机层表面受到化学冲击(氧下图)，在真空和瞬时的高温状态下，污染物部分的蒸发污染物被高能量络离子的冲击粉碎，被带出真空的紫外辐射破坏污染物的等离子体处理只能透过每秒毫微米的厚度，因此污染层指纹也适用。13、Room1017、保罗plaza no.3065红心rd

8、、迷你分散、上海菜单201101 tel :51793931 fix 33331有时采用两个处理过程第一工序用氧氧化表面，第二工序用氢和氩的混合物除去氧化层。云同步可以用多个瓦斯气体进行处理。14、Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District、shai China 201101 tel :51793931 fix 333331焊接完成后，不要用等离子体去除这些个的化学物质1.4结合的结合多被电镀、粘结、焊接作业时的残留物削弱，这些个残留物可以通过等离子体法选择性除去。 在云同步上氧化层对接合的质量也有害，还需要等离子体清洗。

9、15、Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin Rd、Minhang District、shai China 201101 tel :51793931 fix 333331处理瓦斯气体和基材被真空泵抽出蚀刻的部分不希望用材料复盖(例如，半导体行业作为复盖铬的材料)。 等离子体法也可用于蚀刻塑料表面，通过氧瓦斯气体灰化填充混合物的同时可得到分布分析。 蚀刻方法在塑料印刷或粘接时作为预处理手段是重要的，例如有POM、聚苯硫醚纤维、PTFE等。 等离子体处理可以大大增加粘合润湿面积。16、Room1017、Huabao Plaza No.3065 Hongxin R

10、d、Minhang District、shai China 201101 tel :51793931 fix 333331使用活跃的碱金属提高了粘合力使用等离子体的方法不仅保护环境，还能得到更好的效果。 (下图)、17、Room1017、黄金标签号3065红心rd、迷你地方、上海市场201101 tel :5179330、18、Room1017， 华宝乐园no.3065红心rd、微处理分散液、上海菜单201101 tel :51793931 fix 33331，处理瓦斯气体也可以是氧、氢、氩。 适用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和甲基乙烯。19、Room1017、华宝标号3065红心rd、迷你盘、上海菜单201101 tel :51793931 fix 33331四、塑料、玻璃和陶瓷陶瓷和多晶甲基乙烯、PTFE一样没有极性，所以这些个材料必须在印刷、粘接、油漆作之前进行处理。 另外，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子法清洗。 等离子体处理与烧成处理相比，不损伤样品。 在云同步上，可以对整个表面进行均匀的一盏茶处理，不产生有毒烟雾，也可以处理中空和有间隙的样品。 所有不需要溶剂预处理的塑料，都可以简单用水检验占用