半导体厂务系统范围有多大

1、半导体工厂的服务系统的范围是多少() 5 U% J. o0 l: S% j【2007年3月4日礼拜日第1次整理】【2007年3月18日星期日第二次整理】/o_7d7f0|2-b$？a【2007年11月25日礼拜日第3次整理】【2009年2月5日星期四第4次整理，更新中】清洁机器人超净间室内装修工程：(高架地板工程、超净间隔壁系统、铝合金龙骨吊挂/ceiling grid、清洁油漆作、环氧地坪等)、差压操纵系统、ESD防静电等4 D: q(g* b7 # D1 i )b、包括循环空调系统(MAU/OAC、AHU、FFU、显示数据通道、FCU、粗、中、高、超高过滤烟嘴、化学过滤烟嘴etc .排气扇

2、、排风机etc等的部分供热和新风系统(6 q F7 W，C. m|2 c )c、中央动力、c u:Mechenical (热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产水、自来水、饮用水、一般蒸汽和清洁蒸汽等管道供给系统； 锅炉、冷冻机、冷水塔、空压机等工厂设施-有些fab将中央动力放入cleanroom，有些fab确实相反，将C/R放入机械空调，如本公司，将CU与C/R分离。 所有的这些个区分都是可能的，与是非无关。 o 8硬盘$ m6g $ y : o2p $ jd、Hook up (一次、二次管路系统)、分支晾衣架系统、FOUNDATION防振机台、粉尘监视智能系统/DMS系统、风淋室、

3、传递窗、层流罩、洁净台、洁净洗手器、洁净晾衣架、洁净自动电梯二、加斯Bulk Gas: GAS YARD瓦斯气体站，CQC(N2/H2/O2/Ar/He/天燃气)【包括普通和超纯/精制瓦斯气体】，压缩空气(CDA)-有些FAB机架也是3 _$ o3 l H K！ 。具有部分交叉说唱乐的gas系统：(1)易燃性瓦斯气体(Flammable Gas):H2、NH3、PH3、DCS、ClF3等。(2)毒性气体：否、C4F6、C5F8、NF3、CH3F等。 1 t7 t) e% R、F c. G% v(3)腐食性瓦斯气体：例如，HCl、HF、PCl3、SiF4(四氟化硅元素)、ClF3、BCL3(三氯

4、化硼) WF6、HBR、CL2 * h) 3 B# 1 F% O8 m1？ 3 L0 S |惰性瓦斯气体： c2f6(六氟乙烷)、CF4、CHF3(三氟甲烷)、C4F8(八氟丁烷)、SF6(六氟硫磺)、N2O() ！ b7 X，f！ D$ - i(5)氧化性瓦斯气体： clf 3、Cl2、NF3等。(6)低压保温瓦斯气体(HeatGas):WF6(六氟化钨)、CLF3(三氟化氯元素)、C5F8(八氟戊烷)、BCL3(三氯化硼)、SIH2CL23、水处理系统* a； w- b$ wa、高纯水供给系统、热/温纯水供给系统、一次纯水(RO水)供给系统etc.8 W、k- o5 k？ % F2 db、

5、工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc .c、办公用供排水系统：饮用水供给、自来水供给、生活污水处理、雨水排放系统etc0 4、高出% h/BC、y : a (j ) u $/ca、工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.部分FAB中还包括紧急排烟/事故排风系统0 dp) H5 g Vq r2 Zb、LOCAL SCRUBBER (一般附属于工艺机器):根据其原理大致可分为以下几类(1)电热水洗式(2)燃烧水洗式(3)填充水洗式(4)干式吸附式。5 .电力

6、供应系统定E$ F4 J1 z$ q，na、强电：高低压供电(包括中央变电所和各终端变电所)、ups电源供给系统(蓄电池组)、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS容量补偿系统等，各种配电盘、照明(包括tear drop泪滴型照明灯具、黄色灯)b、弱电：各种动力、EHS方面的自习部分(包括各种弱电盘面)、FMCS工厂的监视系统(包括各sub-scada系统)、【监视方面的瓦斯气体监视系统(GMS )、瓦斯气体检测系统(GDS )，有些工厂为GDS6、化学药品包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类因FAB产品而异： i1 O# _，N# : Y L(Fa、化学品供应系

7、统6 b4 zT1 h7 L/S) R、D* z酸性： HCL、H3PO4、HF 1%、HF 49%、hf/hno3I、hf/hno3ii、BHF(400:1 )、BHF(40:1 )碱性： DEV-1、DEV-2、NH4OH 29%。 八8z(vh5o(wx1q7c ) )有机溶剂： IPA异丙醇、STRIPPER剥离液、DEV-3、清洗液# 1。氧化腐食性： H2SO4、H2O2 etc。b、化学品回收系统：结账台resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、异丙醇、硫酸废液七、建筑结构为r2f4z ) t ) q %真- s与建筑结构相关(包括现场维护)主要分为建筑和结构两大类(部分FAB包括与EHS相关的防火门、逃生门、紧急避险口，禁烟臂，升降平台也列入这类)。8、Vaccum真空真空系统包括过程真空、真空吸尘或清扫用真空、设备真空泵送线/事件系统/泵送-排气系统。 I，h！ _0 q f: B% G克很多FAB将EHS也放入工厂，先排列“q1 9 1 x(E，j )9、EHS环境、健康与安全z1 F% V5 W2 x2 . 5 ) S L8 pEHS涉及环境保护(污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、环保认证指令等、WEEE等】)、健康