半导体制造专业英语术语

1、a1st级包装第一级包2nd level packaging辅助软件包安倍晋三主教/色差吸收absorption加速柱加速管(acceleration column acceleration tube)acceptor注释accumulate v .累计，累计acid酸acoustic streaming音响流active region游乐园活动活动激活activated dopant激活杂质active component活动设备adsorption吸附aerosol悬浮粒子air ionizer空气电离装置显示alignment mark排序对齐alignment芦荟合金alternate

2、 adj交替，交替，备用v .交替，交替，交替氧化铝铝铝酸浸过程中的铝蚀刻工艺。环境光环境。阿米尼亚(nh3)氨砂仁氟醚(nh4f)氟化氨砂仁羟基(nh4oh)氢氧化氨无定形，无定形analog模拟信号安斯特龙阿尼昂负离子anisotropic etch profile各向异性蚀刻截面anneal退火锑(sb)锑antirelective coating(arc)防反射涂层apcvd常压化学气体沉积专用于应用程序特定asic)的集成电路aqueous解决方案水溶液area array面阵列氩(ar) n. 化学氩arsenic(as)砷arsine(ash3)砷、砷灰灰色，去除粘合剂aspec

3、t ratio垂直比例，画面宽高比与最适独立工程(arde)蚀刻相关的深度长宽比阿帕西亚nt窒息剂assay number验证计数atmosphericadj。大气亚原子压力大气压力(成语)气相预应力cvd(apcvd)大气压化学气体沉积自动力显微镜(afm)原子力显微镜atomic number原子序数attempt n .努力、尝试、尝试vt。尝试，尝试自动电子光谱(aes)俄歇电子光谱仪自动掺杂自掺杂自动设备分类(adc)缺陷自动分类b生产线(beol)后端工序backgrind变薄backing film后片baffle vt .困惑，妨碍，难堪baffle assembly n .组

4、装、组装、集会、组装、组装(区块)球栅格阵列(bga)球栅格阵列ballroom layout舞厅布局，超级洁净室布局barrel reactor桶反应室barrier metal阻隔金属barrier voltage屏障电压基准基准基准，基准布局布局bay and chase layout生产区和技术夹层区beam blow-up离子束流膨胀beam current梁beam deceleration梁减速beam energy离子束能量beol(生产线)后端工艺最佳焦点最佳焦点bga球栅格阵列biasing电压拉偏置bicmos双极cmosbincode number分类代码编号框映射分类

5、图双极性junction transistor(bjt)双极电晶体双极性技术双极性技术(工艺)birds beak effect喙效果blank ket deposition都很厚blower booster泵小船boe氧化层蚀刻缓冲剂bon voyage 法再见。祝你一路顺风平安bonding pads压力点bonding wire熔接线，引线boron(b)硼硼三氯化硼(bcl3)三氯化硼硼三氟醚(bf3)三氟化硼硼磷酸盐玻璃(bpsg)硼化物扩孔玻璃硼硅酸盐玻璃(bsg)硼硅酸盐玻璃底焊反反射涂层(barc)中的防反射涂层布尔单晶锭bracket n .突出在墙上的支架、括号、支架v .

6、绑在一起breakthrough step突破性阶段，开始干蚀刻阶段brightfield detection亮场检查brush scrubbing火锅带气泡环插槽的bubbler缓冲氧化物etch(boe)氧化层腐蚀缓冲液bulk chemical distribution批量化学品发货巴克加斯大量的气体bulkhead equipment layout壁挂安装设备布局bumped chip凸面筹码buried layer埋地层预烧箱燃烧室(或箱)burn-in老化cca化学放大(粘合剂)cantilever n. 建筑悬臂cantilever paddle悬臂桨cap氧化物屏蔽氧化层容量容

7、量容量上限容量-电压测试(c-vtest)容量-电压测试被动共聚合等离子体电容器耦合等离子体的电容器电容器(capacitor contactor)碳四氟醚(cf4)四氯化碳caros acid 3号液体karier载体carrier-depletion region载波耗尽层卡里斯输送气体磁带(cassette)机架cation阳离子卡斯提尔腐蚀性cavitation超声波能量cd键尺寸cd-sem线宽扫描电子显微镜celsius adj摄氏度焦点焦点(cof)焦点平面中心慢中心慢中心中央处理器(cpu)中央处理器ceramic substrate陶瓷封装cerdip陶瓷双列直插式封装通道通

8、道通道通道长度信道长度channeling通道效果charge carrier托架chase技术夹层chelating agent螯合物制化学应用(ca)化学放大胶化学etch机械化学刻蚀机制化学机械规划(cmp)化学机械平整化学解决方案化学溶液。化学vapor deposition(cvd)化学气相沉积筹码(筹码)chip on board(cob)板筹码chipscale package(csp)筹码大小包circuit geometries电路几何图形标注class number净化级别洁净室净化室清洁女工协议净化程序。clearfield mask亮场遮罩集群工具多腔集成设备cmos互

9、补金属氧化物半导体cmp化学机械平整coater/developer track涂层/显影轨迹cobalt silicide钴硅化合物coefficient n. 计数系数热延伸成本(cte)热上升系数相干探针微镜相干检测显微镜的研究。coherent light干涉光源coil v .感冒，卷cold wall cold wall收集器收集器collimated light平行光collimated sputtering准直溅射compensate v .偿付、赔偿、支付复合半连接器化合物半导体。concentration浓度condensation浓度conductor导体恒醒。不变，经常

10、，坚持共面显微术共聚焦显微镜的conformal step coverage conformal step coverage服务范围接触接触接触(孔)接触对齐(光刻)contact angle meter接触角度器contamination污染，污染conti boat演奏线conticaster 是连铸机连续spray develop连续喷涂现象contour maps包络、等效位图、等效图形contrast对比度，对比度contribution。捐赠、贡献、贡献conventional-line photoresist一般i射线相片登录cooks theory库克理论铜cvd铜cvdcop

11、per interconnect铜互连ownership(coo)所有者总成本covalent bond共价键critical dimension主要标注克里冈航空清除冷凝浮子的清洁。cryogenic pump(cryopump)冷凝泵晶体激活crystal activation决策crystal defect决策缺陷crystal growth晶体生长crystal lattice晶格crystal orientation决策方向cte热上升系数当前驱动电流放大器电流驱动电流放大器。cvd化学气相沉积cycle time周期cz crystal puller cz池单晶设备czochral

12、ski(cz)method checklauski法ddamascene大马士革工艺darkfiled detection暗场检测darkfiled mask暗场遮罩版本dc bias直流偏置decompose v .分解，腐烂深度uv(duv)深度uvdefault n .默认值(值)、默认值(值)、食言、不履行责任、法缺勤v . tangon义务、缺勤、拖欠、默认值defects density缺陷密度defect缺陷deglaze漂白氧化层计划署(dp)平面度德黑德拉丁贝克是除湿、脱水的面包density密度deplention mode耗尽型态degree of focus焦点深度deposit n .堆、沉淀物、存款、保证金、保证金、保管物vt。储存、堆叠vi。沉淀职位沉积。deposited oxide layer沉积氧化层depth of focus焦点深度descum扫描胶片design for test(dft)测试设计desorption取消吸附检查